抗蚀剂树脂及其制造方法与流程

文档序号:12480843阅读:来源:国知局
技术总结
本发明的目的在于提供一种在维持高耐热性的同时低温操作性优异的聚酰胺酸和聚酰亚胺。本发明的聚酰胺酸以下述通式(1)表示[式中,R1和R2分别独立地表示单键、碳原子数为1~5的亚烷基、碳原子数为2~5的亚烯基或碳原子数为6~10的亚芳基;R3和R4分别独立地表示氢原子、碳原子数为1~5的烷基、碳原子数为2~5的烯基、碳原子数为6~10的芳基或卤原子;n表示0~20的整数;Y表示除了二羧酸的羧基或二羧酸酐的酸酐基以外的残基;以及Z表示除了四羧酸的羧基或四羧酸二酐的酸酐基以外的残基]。

技术研发人员:青木畅章;六人部壮
受保护的技术使用者:长濑化成株式会社
文档号码:201580020255
技术研发日:2015.04.15
技术公布日:2016.12.21

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