流体涂布装置制造方法
【专利摘要】本发明提供一种流体涂布装置，其能够相对于第一分割头及第二分割头轻松地装卸垫片且高精度地进行对位而安装。本发明的流体涂布装置在第一分割头（1）和第二分割头（2）分离移动以便插入空间（S）比垫片（3）的厚度更宽的状态下，朝向插入空间（S）插入垫片（3），由此垫片（3）的表背两面（3a、3b）不与第一分割头（1）及第二分割头（2）的对置面（1a、2a）接触而被夹入。与此同时，使被设置于垫片（3）上的第一限位器（5）与第一分割头（1）或第二分割头（2）中的任意一方或者双方接触，由此凹部（3c）向垫片（3）的插入方向被定位。并且插入垫片（3）之后，使第一分割头（1）及第二分割头（2）接近移动以便插入空间（S）与垫片（3）的厚度成为相同尺寸，由此使第一分割头（1）及第二分割头（2）的对置面（1a、2a）分别与垫片（3）的表背两面（3a、3b）密接，垫片（3）向其厚度方向被定位。
【专利说明】流体涂布装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种被用于例如将3D材料、薄膜或玻璃基板等粘结于如智能手机等显示器、半导体基板或液晶基板等时，将粘结液或抗蚀剂等涂布液沿其表面涂布成均匀膜厚的面状的流体涂布装置(涂布装置)。
【背景技术】
[0002]以往，作为这种流体涂布装置具有用于如下涂布头，即相对于沿涂布对象物的表面移动自如的涂布机构部，具备2个分割头及被夹入这2个分割头之间的垫片，在其中一个分割头上形成有涂布液的液体注入口，并且形成有用于使从液体注入口被注入的涂布液向宽度方向扩散的空腔部，垫片具有2字形的凹部，垫片被夹入2个分割头之间时，在这2个分割头之间形成狭缝状的狭槽，垫片的厚度决定狭槽间隙的大小，凹部的长度决定狭槽的长度即决定涂布液的涂布宽度(例如，参考专利文献I)。
[0003]专利文献1:日本专利公开2003-211053号公报
[0004]在这种以往的流体涂布装置中，每当涂布液的涂布宽度和狭槽的间隙随着成为涂布对象物的工件的尺寸变更等而被变更时，需要更换为具有与其对应的宽度的凹部的垫片或厚度不同的垫片。
[0005]然而，垫片被挟入2个分割头之间，通过螺栓将分割头彼此紧固，以便即使涂布液的注入压较高也不泄漏，因此更换垫片时，首先将2个分割头与垫片完全分解，并对与被分解的分割头更换的垫片分别进行高精度地对位之后，必须将它们安装为一体，存在更换作业繁琐且垫片的更换花费时间，运转率下降，生产性差的问题。
【发明内容】
[0006]本发明以解决这种问题作为课题，其目的在于相对于第一分割头及第二分割头轻松地装卸垫片且高精度地进行对位而安装等。
[0007]为了达到这种目的，本发明的特征在于，具备:第一分割头，具有涂布液的供给路；第二分割头，被设置成与所述第一分割头对置并向分离及接近的方向往复移动自如，并在与所述第一分割头之间形成有插入空间；及多种垫片，被设置成朝向所述插入空间并沿所述第一分割头及所述第二分割头的对置面取放自如，并且具有用于在所述第一分割头及所述第二分割头之间形成与所述供给路连通的所述涂布液的狭槽的凹部，在所述垫片上设置有第一限位器，该第一限位器相对于所述第一分割头或所述第二分割头中的任意一方或者双方，向所述垫片相对于所述插入空间的插入方向抵接，将所述插入空间的间隔设定为在插入所述垫片时比所述垫片的厚度更宽，并且设定为在插入所述垫片后与所述垫片的厚度成为相同尺寸。
[0008]具有前述特征的本发明，在第一分割头和第二分割头分离移动以便插入空间比垫片的厚度更宽的状态下，朝向插入空间插入垫片，由此垫片的表背两面不与第一分割头及第二分割头的对置面接触而被夹入的同时，使被设置于垫片的第一限位器与第一分割头或第二分割头中的任意一方或者双方接触，由此凹部向垫片的插入方向被定位，并且插入垫片之后，使第一分割头及第二分割头接近移动以便插入空间与垫片的厚度成为相同尺寸，由此使第一分割头及第二分割头的对置面分别与垫片的表背两面密接，垫片向其厚度方向被定位。
[0009]因此，能够相对于第一分割头及第二分割头轻松地装卸垫片且高精度地进行对位而安装。
[0010]其结果，与以往对应于成为涂布对象物的工件的尺寸变更等，更换垫片时需要对2个分割头与垫片进行分解且使被更换的垫片与分割头高精度地进行对位之后安装相比，能够大幅缩短垫片的更换时间，并能够轻松地进行伴随尺寸的变更的狭槽的间隙尺寸和涂布宽度的变更作业，还能够相应地提高运转率，生产性优异。
[0011]另外，随着垫片的更换，垫片的表背两面不与第一分割头及第二分割头的对置面接触，因此能够防止附着于垫片的涂布液等垃圾的产生，还能够减轻与此相伴的清洗作业。
【专利附图】
【附图说明】
[0012]图1是表示本发明的实施方式所涉及的流体涂布装置的整体结构的说明图，(a)是插入垫片时的局部切口主视图，(b)是插入垫片时的纵截面侧视图。
[0013]图2是分解立体图。
[0014]图3是表示插入垫片后的说明图，(a)是局部切口主视图，(b)是局部切口放大纵截面侧视图。
[0015]图4是插入垫片后的立体图。
[0016]1-第一分割头，Ia-对置面，Ib-供给路,2-第二分割头，2a_对置面,3-垫片，3c-凹部，3d、3e-宽度方向端部，3f-把手，5-第一限位器，6-第二限位器，7-弹性部件，8-保持部件，S-插入空间，T-狭槽。
【具体实施方式】
[0017]以下，根据附图对本发明的实施方式进行详细说明。
[0018]本发明的实施方式所涉及的流体涂布装置A为用于如下(狭槽)涂布装置，即相对于配设成与成为涂布对象物的工件的表面对置的装置主体(未图示)被安装为一体，并使其与所述装置主体一同与所述工件的表面相对移动，由此而用于将粘结液或抗蚀剂等涂布液涂布成均匀膜厚的面状。
[0019]若进行详细说明，如图1?图4所示，本发明的实施方式所涉及的流体涂布装置A，作为主要构成要件具备:第一分割头I，被安装成相对于所述装置主体装卸自如；第二分割头2，被设置成与第一分割头I对置并向分离及接近的方向往复移动自如；及多种垫片3，被设置成沿第一分割头I及第二分割头2的对置面la，2a取放自如。
[0020]第一分割头I形成为其宽度尺寸比与其正交的长度尺寸更长形状的大致矩形，且在其一侧面具有形成为与后述第二分割头2对置的平滑的对置面la、及涂布液(未图示)的供给路lb。
[0021]供给路Ib具有被连接于涂布液的供给源的注入口 Ibl和用于使从注入口 Ibl被供给的涂布液向第一分割头I的宽度方向扩散的空腔部lb2，空腔部lb2沿第一分割头I的对置面Ia开口。
[0022]在如图1?图4所示的例子中，涂布液的注入口 Ibl被开设在第一分割头I中与其宽度方向正交的长度方向的一端面。
[0023]第二分割头2与第一分割头I相同地形成为其宽度尺寸比与其正交的长度尺寸更长形状的大致矩形，且在其一侧面具有与第一分割头I的对置面Ia对置的平滑的对置面
2β ο
[0024]第一分割头I和第二分割头2被支承为通过引导部件4向第一分割头I及第二分割头2的厚度方向以各自的对置面la、2a相互分离及接近的方式往复移动自如。
[0025]在图1?图4所示的例子中，作为引导部件4的具体例，在第一分割头I的对置面Ia突设支承杆4a，在第二分割头2的对置面2a凹设滑动自如地与支承杆4a嵌合的凹部4b，通过支承杆4a及凹部4b的滑动往复移动自如地进行支承。
[0026]并且，作为其他例子虽未图示，但作为引导部件4，也可以在第二分割头2的对置面2a突设支承杆4a，且在第一分割头I的对置面Ia凹设凹部4b，或设置与支承杆4a及凹部4b不同结构的支承结构，或并列设置驱动器等驱动源而机械地使第一分割头I和第二分割头2向分离及接近的方向往复移动。
[0027]另外，在第一分割头I及第二分割头2的对置面la、2a之间划分形成有用于取放自如地插入后述垫片3的插入空间S。
[0028]后述垫片3的插入空间S形成为在第一分割头I及第二分割头2中遍及与它们的宽度方向正交的长度方向全长，在图1?图4所示的例子中，从开设有涂布液的注入口 Ibl的长度方向的一端侧插入后述垫片3。
[0029]垫片3形成为其宽度尺寸比第一分割头I和第二分割头2的宽度尺寸更小的矩形且具有平滑的表面3a及背面3b的板状，朝向形成于第一分割头I的对置面Ia与第二分割头2的对置面2a之间的插入空间S，向第一分割头I及第二分割头2的短边方向手动或机械地插入，由此被配置成夹入到第一分割头I及第二分割头2的对置面la、2a之间。
[0030]在垫片3中被插入插入空间S的前端侧的端部且在宽度方向中央形成有凹部3c。
[0031]凹部3c在被插入插入空间S的状态下与涂布液的供给路Ib的空腔部lb2连通，且在第一分割头I及第二分割头2的对置面la、2a之间形成狭缝状的狭槽T。
[0032]狭槽T沿在第一分割头I及第二分割头2中与它们的宽度方向正交的长度方向的另一端突出形成的锥部lc、2b而形成。
[0033]凹部3c的宽度方向长度尺寸决定狭槽T的长度即涂布液的涂布宽度。
[0034]垫片3的厚度尺寸决定后述狭槽T的间隙的大小即涂布液的涂布厚度(膜厚)。
[0035]因此，分别准备凹部3c的宽度方向长度尺寸不同的多种垫片3和厚度尺寸不同的多种垫片3。当变更成为涂布对象物的工件的尺寸等时，选出具有与涂布液的涂布宽度对应的宽度方向尺寸的凹部3c的垫片3和与涂布液的期望厚度(膜厚)对应的厚度尺寸的垫片3，并更换为该垫片，以此来满足工件尺寸的变更。
[0036]并且，这些多种垫片3与凹部3c的宽度方向长度尺寸和厚度尺寸的变化无关，所有外形形状均形成为相同尺寸。
[0037]另外，在垫片3中凹部3c的相反侧设置有相对于第一分割头I或第二分割头2中的任意一方或者第一分割头I及第二分割头2双方，向垫片3的插入方向抵接的第一限位器5。对插入空间S插入垫片3时，使第一限位器5与第一分割头I或第二分割头2中的任意一方或者双方接触，由此凹部3c向垫片3的插入方向被定位。
[0038]图1?图4所示的例子中，作为第一限位器5的具体例，在垫片3中凹部3c的相反侧端部连设有比垫片3的厚度尺寸更大的壁厚部5a，在与垫片3的表面3a之间形成有与第二分割头2的长度方向一端面对置的定位台阶部。如图3及图4所示，将垫片3插入插入空间S之后，紧接着使壁厚部5a的定位台阶部与第二分割头2的长度方向一端面接触。
[0039]并且，作为其他例子虽未图示，但作为第一限位器5，可以在壁厚部5a与垫片3的背面3b之间形成与第一分割头I的长度方向一端面接触的定位台阶部，或在壁厚部5a与垫片3的表面3a及背面3b之间形成分别与第一分割头I及第二分割头2的长度方向一端面接触的定位台阶部，或者代替图示的壁厚部5a的定位台阶部而设置突起等其他结构的定位部件。
[0040]另外，优选在第一分割头I或第二分割头2中的任意一方或者第一分割头I及第二分割头2双方，设置与垫片3的宽度方向端部3d、3e中的任意一方或双方抵接的第二限位器6，对插入空间S插入垫片3时，使垫片3的宽度方向端部3d、3e中的任意一方或双方与第二限位器6接触，由此向其宽度方向对垫片3及凹部3c进行定位。
[0041]图1?图4所示的例子中，作为第二限位器6的具体例，在第二分割头2的长度方向一端面，以分别与垫片3的壁厚部5a的宽度方向两端部抵接的方式突设定位凸部6a。如图3及图4所示，将垫片3的大部分插入插入空间S时，垫片3的壁厚部5a的宽度方向两端部分别与定位凸部6a接触。
[0042]另外，作为其他例子虽未图示，但作为第二限位器6，可以在第一分割头I的长度方向一端面以分别与垫片3的壁厚部5a的宽度方向两端部抵接的方式突设定位凸部6a,或代替垫片3的壁厚部5a的宽度方向两端部，以与垫片3的宽度方向端部3d、3e直接抵接的方式朝向插入空间S突设定位凸部6a,由此使垫片3的宽度方向端部3d、3e与定位凸部6a接触的同时插入，或以垫片3的壁厚部5a的宽度方向一端部或仅与垫片3的宽度方向端部3d、3e中的任意一方抵接的方式突设定位凸部6a，或代替图示的定位凸部6a设置其他结构的定位部件。
[0043]并且,在对插入空间S插入垫片3时和插入垫片3之后，插入空间S的间隔以相互分离及接近的方式手动或机械地移动第一分割头I或第二分割头2中的任意一方或者第一分割头I及第二分割头2双方而分别被设定成规定的尺寸。
[0044]S卩，构成为如图1 (b)及图2的双点划线所示，在插入垫片3时，将插入空间S的间隔设定成比最厚的垫片3的厚度尺寸更宽，从而使正在插入的垫片3的表背两面3a、3b与第一分割头I及第二分割头2的对置面la、2a分别不接触。
[0045]并且，构成为如图3 (b)及图4所示，在插入垫片3之后，将插入空间S的间隔设定成与垫片3的厚度尺寸成为相同尺寸，从而使所插入的垫片3的表背两面3a、3b分别与第一分割头I及第二分割头2的对置面la、2a密接。
[0046]并且，优选在第一分割头I和第二分割头2设置弹性部件7及保持部件8，所述弹性部件以插入空间S成为插入垫片3时的间隔的方式向分离方向按压，或以插入空间S成为插入垫片3之后的间隔的方式向接近方向按压，所述保持部件以插入空间S成为插入垫片3之后的间隔的方式进行保持，或以插入空间S成为插入垫片3时的间隔的方式进行保持。
[0047]在图1?图4所示的例子中，作为弹性部件7，将用于以插入空间S成为插入垫片3时的间隔的方式向分离方向按压的、由螺旋弹簧等构成的弹簧材料7a，遍及第一分割头I及第二分割头2的对置面la、2a而设置，作为保持部件8，为了以夹住垫片3的方式结合第一分割头I及第二分割头2彼此而设置连结部件8a，通过移除保持部件8的连结部件8a，从而以弹性部件7 (弹簧材料7a)的按压力使插入空间S的间隔自动地分离移动至比垫片3的厚度尺寸更宽的设定位置。作为连结部件8a使用螺栓，在第二分割头2及垫片3上开凿有螺栓所贯穿的通孔8b、8c，在第一分割头I上开凿有与螺栓的螺纹部螺合的螺孔8d。
[0048]并且，作为其他例子虽未图示，但作为连结部件8a，也可以替换为其他连结结构来代替螺栓。
[0049]另外，作为弹性部件7，设置以插入空间S成为插入垫片3之后的间隔的方式向接近方向按压的弹簧材料，作为保持部件8，设置以插入空间S成为插入垫片3时的间隔的方式保持的衬垫，也可以通过移除保持部件8的衬垫，以弹性部件(弹簧材料)7的按压力使插入空间S的间隔自动地接近移动至与垫片3的厚度尺寸成为相同尺寸的设定位置。
[0050]根据这种本发明的实施方式所涉及的流体涂布装置A，在第一分割头I和第二分割头2分离移动以便插入空间S成为比垫片3的厚度更宽的状态下，朝向插入空间S插入垫片3，由此垫片3的表背两面3a、3b不与第一分割头I及第二分割头2的对置面la、2a接触而被夹入。
[0051]与此同时，使被设置于垫片3的第一限位器5与第一分割头I或第二分割头2中的任意一方或者第一分割头I及第二分割头2双方接触，由此凹部3c向垫片3的插入方向被定位。
[0052]另外，插入垫片3之后，使第一分割头I和第二分割头2接近移动以便插入空间S与垫片3的厚度成为相同尺寸，由此第一分割头I及第二分割头2的对置面la、2a分别与垫片3的表背两面3a、3b密接,垫片3向其厚度方向被定位。
[0053]因此，能够对第一分割头I及第二分割头2轻松地装卸垫片3且高精度地进行对位而安装。
[0054]其结果，能够大幅缩短垫片3的更换时间，能够轻松地进行与尺寸变更相伴的狭槽T的间隙尺寸和涂布宽度的变更作业(换产调整作业)，运转率相应地提高，生产性优异。
[0055]另外，随着垫片3的更换，垫片3的表背两面3a、3b不与第一分割头I及第二分割头2的对置面la、2a接触，因此能够防止附着于垫片3的涂布液等垃圾的产生，还能够减轻与此相伴的清洗作业。
[0056]然而，在更换垫片3时，将非常重的第一分割头I及第二分割头2从装置主体移除并进行分解是危险的。
[0057]对此，根据本发明的实施方式所涉及的流体涂布装置A，无需从装置主体移除第一分割头I及第二分割头2就可进行垫片3的更换，能够提高更换垫片3的作业性和安全性。
[0058]尤其，在第一分割头I或第二分割头2中的任意一方或者双方设置与垫片3的宽度方向端部3d、3e抵接的第二限位器6时，在对插入空间S插入垫片3时，使垫片3的宽度方向端部3d、3e与第二限位器6接触，由此垫片3及凹部3c相对于第一分割头I和第二分割头2向其宽度方向被定位。[0059]因此，能够将垫片3对第一分割头I及第二分割头2轻松地向宽度方向高精度地进行对位而安装。
[0060]其结果，能够进一步提高安装精确度。
[0061]并且，在第一分割头I和第二分割头2设置弹性部件7及保持部件8时，通过从第一分割头I和第二分割头2移除保持部件8，从而以弹性部件7的按压力插入空间S的间隔自动地分离移动至比垫片3的厚度尺寸更宽的设定位置，或者自动地接近移动至与垫片3的厚度尺寸成为相同尺寸的设定位置，其中，所述弹性部件以插入空间S成为插入垫片3时的间隔的方式向分离方向按压，或以插入空间S成为插入垫片3之后的间隔的方式向接近方向按压；所述保持部件以插入空间S成为插入垫片3之后的间隔的方式进行保持，或以插入空间S成为插入垫片3时的间隔的方式进行保持。
[0062]因此，能够使垫片3的更换作业变得更轻松而进一步缩短垫片3的更换时间。
[0063]其结果，实现了运转率的进一步提高。
[0064]接着，根据附图对本发明的一实施例进行说明。
[0065][实施例]
[0066]如图1?图4所示，该实施例表示在垫片3中在与凹部3c相反的一侧设置把手3f，操作者持把手3f对插入空间S手动进行垫片3的取放的情况。
[0067]在图1?图4所示的例子中，在垫片3中被连设于凹部3c的相反侧端部的壁厚部5a上突设有多个把手3f。
[0068]并且，作为其他例子虽未图示，但也可以替换为在垫片3的端部一体形成把手3f等图示例以外的安装结构。
[0069]根据这种本发明的实施例1所涉及的流体涂布装置A，通过操作者持把手3f，垫片3整体不与凹部3c接触便可以相对于插入空间S进行取放。
[0070]因此，能够轻松且无污染地以手动进行垫片3的更换。
[0071]其结果，能够轻松地进行伴随基于手动的尺寸变更的狭槽T的间隙尺寸和涂布宽度的变更作业(换产调整作业)，具有运转率相应地提高，生产性优异的优点。
[0072]另外，在前示实施例中，示出了操作者持垫片3的把手3f相对于插入空间S手动进行垫片3的取放的情况，但并不限于此，也可以利用机器人等相对于插入空间S机械地进行垫片3的取放。
【权利要求】
1.一种流体涂布装置，其特征在于，具备: 第一分割头，具有涂布液的供给路； 第二分割头，被设置成与所述第一分割头对置并向分离及接近的方向往复移动自如，并在与所述第一分割头之间形成有插入空间；及 多种垫片，被设置成朝向所述插入空间并沿所述第一分割头及所述第二分割头的对置面取放自如，并且具有用于在所述第一分割头及所述第二分割头之间形成与所述供给路连通的所述涂布液的狭槽的凹部， 在所述垫片上设置有第一限位器，该第一限位器相对于所述第一分割头或所述第二分割头中的任意一方或者双方，向所述垫片相对于所述插入空间的插入方向抵接， 将所述插入空间的间隔设定为在插入所述垫片时比所述垫片的厚度更宽，并且设定为在插入所述垫片后与所述垫片的厚度成为相同尺寸。
2.根据权利要求1所述的流体涂布装置，其特征在于， 在所述第一分割头或所述第二分割头中的任意一方或者双方设置与所述垫片的宽度方向端部抵接的第二限位器。
3.根据权利要求1所述的流体涂布装置，其特征在于， 在所述第一分割头和所述第二分割头设置弹性部件和保持部件，所述弹性部件以所述插入空间成为插入所述垫片时的间隔的方式向分离方向按压，或者以所述插入空间成为插入所述垫片后的间隔的方式向接近方向按压；所述保持部件以所述插入空间成为插入所述垫片后的间隔的方式进行保持，或者以所述插入空间成为插入所述垫片时的间隔的方式进行保持。
4.根据权利要求2所述的流体涂布装置，其特征在于， 在所述第一分割头和所述第二分割头设置弹性部件和保持部件，所述弹性部件以所述插入空间成为插入所述垫片时的间隔的方式向分离方向按压，或者以所述插入空间成为插入所述垫片后的间隔的方式向接近方向按压；所述保持部件以所述插入空间成为插入所述垫片后的间隔的方式进行保持，或者以所述插入空间成为插入所述垫片时的间隔的方式进行保持。
5.根据权利要求1?4中的任一项所述的流体涂布装置，其特征在于， 在所述垫片中，在与所述凹部相反的一侧设置有把手。
【文档编号】B05C5/02GK103623972SQ201310368612
【公开日】2014年3月12日 申请日期:2013年8月22日 优先权日:2012年8月22日
【发明者】大谷义和 申请人:信越工程株式会社