专利名称：晶圆传输盒上电子标签的辅助固定元件的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体制造工厂内的晶圆传输盒(Pod),具体地说，涉及 一种晶圆传输盒上用于固定电子标签的辅助固定元件。
背景技术：
目前，半导体制造工厂内，晶圆传输盒是主要的晶圓存放传输装置， 一般 可垂直存放25片晶圓。晶圆传输盒面向工作人员的一側安装有电子标签(tag) 和以及存放纸标签的塑料的标签袋。电子标签用于记录晶圆传输盒内各种信息， 包括晶圆尺寸、用途、批号以及需要执行的工序等等。 一些无法输入电子标签 中的信息，则采用手写的方式记录在标签袋中的纸标签上，以方便工作人员在 制造过程中查询信息。
晶圆传输盒在靠近底端的位置设有夹持部，其中间设有一个自上向下延伸 的狭槽。电子标签安装有一个固定件，固定件的底端是一个可插入狭槽的插入 板，插入板两側设有螺紋孔。安装时，电子标签的插入板插入固定件的狭槽内， 然后采用螺丝旋入所述螺紋孔内进一步固定。使用过程中，因为如更换电池、 修理维护等各种原因常常需要拆卸电子标签。夹持部具有一定的使用寿命，多 次拆卸很容易损坏夹持部。 一旦夹持部不能使用，整个传输盒就报废不能使用 了。晶圆传输盒的成本《艮高，在晶圓传输盒报废原因分析时发现，将近25%的 晶圆传输盒报废是因为电子标签的固定件损坏造成的。
实用新型内容
有鉴于此，本实用新型解决的技术问题是提供一种晶圆传输盒上电子标签 的辅助固定元件，其可与传输盒的夹持部共同或者代替夹持部固定电子标签。
为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种晶圆传输盒上电子标签的辅 助固定元件。所述晶圆传输盒具有顶面、安装电子标签的前端面以及i殳有前端面底部的固定电子标签的夹持部。所述辅助固定元件包括沿晶圆传输盒顶面延 伸的上固定板、沿前端面延伸的支架以及位于所述支架底部且与夹持部位置对
应的下固定板；其中所述下固定板与所述夹持部共同或者代替夹持部固定电子 标签。
本实用新型提供的晶圆传输盒上电子标签的辅助固定元件，其与传输盒本 身的夹持部一起固定电子标签，在夹持部部分损坏的情况下，也可以起到固定 电子标签的作用；另外，即使夹持部完全损坏了，只要辅助元件具有足够的强 度和硬度，也可以代替夹持部固定电子标签， 一定程度上提高了晶圓传输盒的 利用率。
图1为本实用新型实施例中的辅助固定元件的立体示意图2为图1所示辅助固定元件安装在晶圆传输盒上的立体示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的晶圆传输盒上电子标签的辅助固定元件其中 一实施例进行描述，以进一步理解本实用新型的目的、具体结构特征和优点。
请参阅图2，首先定义晶圆传输盒l用于安装电子标签2和标签袋3的端面 为前端面ll。标签袋3用于存^t纸标签31，标签袋3顶端"i殳有两个固定孔30, 分别与设于传输盒1的顶端面12的两上螺紋孔(未标示)相对应。
电子标签2的背面安装有狭长的固定板20 ，且固定板20上设有两个下螺紋 孔201。传输盒1底部两侧各设置一个夹持部13，每一个夹持部13具有一个自 上向下延伸的狭长凹槽，用于收容固定所述电子标签2的固定板20。
本实用新型提供了一种辅助夹持部13固定电子标签2的辅助固定元件4， 如图1所示。请参阅图1结合图2，该辅助固定元件4包括沿传输盒1顶端面 12延伸的上固定板41以及沿传输盒1前端面11延伸的支架，所述支架为彼此 分离向下延伸的两子支架42。所述上固定板41i殳有与传输盒l顶端面12的两 上螺紋孔位置对应的通孔410。每一子支架42的末端弯折形成下固定板43，位 置与电子标签2的夹持部13相对应。两下固定板43末端设有朝向彼此延伸的延伸部，延伸部上设有与下螺紋孔201对应的辅助螺紋孔430。
安装时，首先将辅助固定元件4安装在传输盒1上，然后安装标签袋3，采 用螺丝依次穿过固定孔30和通孔410 3走入上螺紋孔内，以将辅助固定元件4和 标签袋3的顶端固定。辅助固定元件4的下固定板43位于传输盒1的夹持部13 附近，如果夹持部13部分损坏，下固定板43可以起到进一步固定的作用。如 果夹持部13完全损坏，只要辅助固定元件4具有足够的强度和硬度，通过下螺 紋孔201和辅助螺紋孔430可以将电子标签稳定安全的固定在该位置上。
进一步地，所述辅助固定元件的两子支架42对应标签袋3底部位置处向外、 向上延伸的弹片420。晶圆运输过程中，所述弹片420将标签袋3底部夹住固定， 这样，就有效避免了在运输过程中因标签袋3摇摆产生不必要当机的状况。
需要说明的是，所述辅助固定元件4可以采用塑料材料、不锈钢，也可以 采用其他可以适合的任何材料。另外，只要辅助固定元件4具有足够的刚度和 强度，即使传输盒夹持部13完全损坏了 ，也可以达到稳定固定电子标签的作用， 提高了传输盒的利用率，有效降低了工厂的生产成本。
上述描述，仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型的任 何限定，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据上述揭示内容进行简单修 改、添加、变换，且均属于权利要求书中保护的内容。
权利要求1.一种晶圆传输盒上电子标签的辅助固定元件，所述晶圆传输盒具有顶面、安装电子标签的前端面以及设于前端面底部的固定电子标签的夹持部，其特征在于，所述辅助固定元件包括沿晶圆传输盒顶面延伸的上固定板、沿前端面延伸的支架以及位于所述支架底部且与夹持部位置对应的下固定板；其中所述下固定板与所述夹持部共同或者代替夹持部固定电子标签。
2. 如权利要求1所述的圓传输盒上电子标签的辅助固定元件，其特征在于，所 述晶圓传输盒设有存放纸标签的标签袋，所述辅助固定元件的支架上设有固定 标签袋底部的弹片。
3. 如权利要求1所述的晶圆传输盒上电子标签的辅助固定元件，其特征在于， 所述支架包括自上固定板延伸的彼此分离的两子支架。
4. 如权利要求3所述的晶圆传输盒上电子标签的辅助固定元件，其特征在于， 所述下固定板为每一子支架末端弯折形成，且设有用于固定电子标签的辅助螺 紋孔。
5. 如权利要求4所述的晶圆传输盒上电子标签的辅助固定元件，其特征在于， 所述固定板设有朝向彼此延伸的延伸部，所述辅助螺紋孔设置在延伸部上。
6. 如权利要求1所述的晶圓传输盒上电子标签的辅助固定元件，其特征在于， 所述晶圓传输盒设有自其顶面延伸的上螺紋孔，所述辅助固定元件的上固定板 设有与上螺紋孔对应的通孔；安装时，利用螺丝穿过通孔旋入对应的上螺纹孔 内以将辅助固定元件的上固定板固定。
专利摘要本实用新型公开了一种晶圆传输盒上用于固定电子标签的辅助固定元件。所述辅助固定元件包括沿晶圆传输盒顶面延伸的上固定板、沿前端面延伸的支架以及位于所述支架底部且与夹持部位置对应的下固定板；其中所述下固定板与所述夹持部共同或者代替夹持部固定电子标签。本实用新型提供的辅助固定元件可以与传输盒本身的夹持部一起固定电子标签，在夹持部部分损坏的情况下，也可以起到固定电子标签的作用；另外，即使夹持部完全损坏了，只要辅助元件具有足够的强度和硬度，也可以代替夹持部固定电子标签，一定程度上提高了晶圆传输盒的利用率。
文档编号B65D1/40GK201163612SQ20082005503
公开日2008年12月10日 申请日期2008年1月24日 优先权日2008年1月24日
发明者鹏 任, 李洪燕, 杰 程, 海 马 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司