一种曝光机及其传送基板的方法与流程

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种曝光机及其传送基板的方法。

背景技术：

近年来，中小尺寸液晶显示器发展迅猛，ltps(lowtemperaturepoly-silicon，中文简称：低温多晶硅)制程过程中会应用到高精度的曝光机，目前基板从上游做完涂布制程后，robot(机器人)手臂将基板送入曝光机，现有技术为，在曝光机port(端口)部设计两个uper/lowerarm(上/下臂)，两个arm(臂)将基板从port部和stage(基台)部之间相互转换进行传送片。

综上所述，现有技术的曝光机，由于采取上下臂交换夹取基板进行传送的方式，导致节拍时间的流失。故，有必要提供一种新型的曝光机及其传送基板的方法来改善这一缺陷。

技术实现要素：

本发明实施例提供一种曝光机，用于解决现有技术由于采取上下臂交换夹取基板进行传送的方式，导致节拍时间流失的技术问题。

本发明实施例提供一种曝光机，包括：基台部，包括工作台以及承片框，所述承片框位于所述工作台上，用于放置托盘，所述托盘用于盛放基板；端口部，用作所述曝光机的入料口和出料口；传送机构，包括上臂、下臂以及可移动式的托盘导轨，所述托盘导轨连接所述基台部与所述端口部；其中，所述下臂设置有挂钩，用于钩取所述托盘并将所述托盘移至所述端口部。

其中，所述端口部包括滚轮以及板式装载机。

其中，所述滚轮位于所述板式装载机的两侧，用于限定所述托盘的移动方向。

其中，所述板式装载机上设置有用于支撑所述基板的第一顶针组，以及用于支撑所述托盘的第二顶针组。

其中，所述曝光机的机架上设置有用于上臂移动的第一轨道，以及用于下臂移动的第二轨道。

其中，所述托盘导轨包括倾斜板、固定底座以及固定底座上的转轴，所述倾斜板通过所述转轴安装于所述固定底座上。

本发明实施例还提供一种使用上述曝光机的传送基板的方法，至少包括如下步骤：

s101、使用所述上臂从所述端口部取得一组载有所述基板的所述托盘放至所述工作台上的所述承片框进行曝光；

s102、曝光完成后，所述托盘导轨旋转，使得所述基台部与所述端口部处于同一平面；

s103、使用所述挂钩钩住所述托盘，将所述托盘拉取到所述端口部，完成传送。

其中，在s101中当进行曝光制程时，所述下臂位于所述端口部的两侧。

其中，在s102中当所述托盘导轨旋转时，所述下臂移动至所述基台部。

其中，在s103中当所述挂钩钩取所述托盘运动时，所述上臂夹取下一组基板至所述承片框上进行曝光制程。

有益效果：本发明实施例提供的一种曝光机及其传送基板的方法，通过采用下臂上的挂钩钩取托盘的方式将托盘直接从基台部拉取到端口部，进而传送出曝光机，与此同时，上臂夹取下一组基板进行曝光制程，减少了基板在曝光机中由于上下臂交换导致的节拍时间的流失，达到提高生产效率的技术效果。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的曝光机的结构示意图；

图2为现有的曝光机传送基板的一部分结构图；

图3为现有的曝光机传送基板的另一部分结构图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在现有技术的曝光机中，由于采取下臂夹取基板送出曝光机的方式，导致节拍时间流失，本实施例能够解决该缺陷。

如图1所示，本实施例提供的曝光机的基本结构图，从图中可以很直观地看到本发明的各组成部分，以及各组成部分之间的相对位置关系，所述曝光机由基台部101、端口部104以及传送机构三部分构成，所述基台部101至少包括工作台以及承片框，所述承片框位于所述工作台上，托盘102放置于所述承片框上，所述托盘102为吸塑盘，是采用吸塑工艺将塑料片材制成特定凹槽的塑料，将基板103置于所述凹槽内，可以起到保护所述基板103的作用；所述端口部104，用作所述曝光机的入料口和出料口；所述传送结构包括上臂107、下臂108以及可移动式的托盘导轨109，所述托盘导轨109位于所述基台部101与所述端口部104之间，可以旋转，用于连接所述基台部101与所述端口部104，其中，所述下臂108上设置有挂钩110，用于钩取所述托盘102并将所述托盘102移至所述端口部104。优选的，所述挂钩110的大小尺寸能刚好钩住所述托盘102。

在此实施例中，所述端口部104包括滚轮105以及板式装载机106，所述滚轮105位于所述板式装载机106的左右两侧，用于限定所述托盘102的移动方向，所述板式装载机106上设置有用于支撑所述基板103的第一顶针组111，以及用于支撑所述托盘102的第二顶针组112，优选的，所述第二顶针组112包含四个定位件。

在此较佳实施例中，所述曝光机的机架上设置有用于上臂移动的第一轨道，以及用于下臂移动的第二轨道，所述可移动式的托盘导轨109由两对称部分组成，任一对称部分包括倾斜板、固定底座以及固定底座上的转轴，所述倾斜板通过所述转轴安装于所述固定底座上，所述转轴可以为水平转轴或者竖直转轴，所述倾斜板相对于所述固定底座旋转，可以使得基台部与板式装载机处于同一平面，以便于所述托盘102可以通过所述可移动式的托盘导轨109，从基台部101直接滑到所述端口部104，优选的，所述端口部104的左右两侧设置的滚轮105，不仅可以用于所述托盘102运动过程中的向导，还可以起到固定所述可移动式的托盘导轨109的作用。

如图2所示，现有的曝光机传送基板的一部分结构图，当基板203从上游做完涂布制程后，机器人手臂(输入/输出臂)204将基板203送入曝光机，上臂202从端口部201取得载有基板203的托盘放到板式工作台上的承片框上进行曝光制程，所述端口部201设置有用于支撑所述基板203的第一顶针组206和用于支撑托盘的第二顶针组205。

相应的，请参考图3，现有的曝光机传送基板的另一部分结构图，曝光制程完成后，下臂302将载有基板303的托盘从承片框301取出，并搬送到端口部，此过程中由于采取上下臂交换夹取基板送出曝光机的方式，导致节拍时间流失，故有必要提供一种新型的提高曝光机制程节拍时间的方法来改善这一缺陷。

继续参考图1，本发明实施例提供的一种使用图一所述曝光机的传送基板的方法，包括：

s101、使用上臂107从端口部104取得一组载有基板103的托盘102放到工作台上的承片框进行曝光；

s102、曝光完成后，可移动式的托盘导轨109的倾斜板旋转，使得基台部101与板式装载机106处于同一平面；

s103、使用下臂108上的挂钩110钩住所述托盘102，将所述托盘102拉取到所述端口部104，完成传送。

其中，在s101中当进行曝光制程时，所述下臂位于所述端口部的两侧；在s102中当所述托盘导轨旋转时，所述下臂移动至所述基台部；在s103中当所述挂钩钩取所述托盘运动时，所述上臂夹取下一组基板至所述承片框上进行曝光制程。

综上所述，本发明实施例提供的一种曝光机及其传送基板的方法，通过采用下臂上的挂钩钩取托盘的方式将托盘直接从基台部拉取到端口部，进而传送出曝光机，与此同时，使用上臂夹取下一组基板进行曝光制程，减少了基板在曝光机中由于上下臂交换导致的节拍时间的流失，达到提高生产效率的技术效果，解决了现有技术的曝光机中，由于采取上下臂交换夹取基板的传送方式，导致节拍时间的流失，影响生产效率的技术问题。

以上对本发明实施例所提供的一种曝光机及其传送基板的方法进行了详细介绍。应理解，本文所述的示例性实施方式应仅被认为是描述性的，用于帮助理解本发明的方法及其核心思想，而并不用于限制本发明。