调整阀口 23能够调节开度，通过设为开，第1配管Ll的胶浆 11的一部分被送回至罐17,通过开度的调节来调整送回流量。此外，调整阀口 23将开度输 出到控制器24中。
[0039] 压力计22是用于检测供给累21的入口侧的压力PA、即进入到供给累21的胶浆 11的压力的仪器。W下将供给累21的入口侧的压力称为入口侧压力。压力计22设置于分 支位置PB与供给累21之间。运样，在本实施方式中，将压力计22相比于供给累21设置于 上游的第1配管Ll上，但并不限定于该方式。例如，压力计22也可W设置于供给累21的 内部。
[0040] 控制器24是用于将入口侧压力PA控制在预先设定的一定的范围（W下，称为设 定范围）PS内的装置。控制器24具有存储部（无图示）和算出部（无图示）。存储部存 储调整阀口 23的开度和输入的上述设定范围PS。算出部基于存储部中存储的设定范围PS 和压力计22上的检测结果，算出入口侧压力PA达到设定范围PS内的调整阀口 23的开度， 调节调整阀口 23。具体而言，求出存储部中存储的设定范围PS与压力计22上的检测结果 的差量，由该差量，算出入口侧压力PA达到设定范围PS内的调整阀口 23的开度，调节调整 阀口 23。运样，控制器24基于压力计22上的检测结果，通过存储部和算出部，按照入口侧 压力PA达到设定范围PS内的方式，调节调整阀口 23的开度。
[0041] 薄膜制造装置14自上游侧起依次具备流延单元31、拉幅机32、漉干燥机33和卷 取机34。流延单元31具备W环状形成的作为流延支撑体的带40、支撑带40并使其向长度 方向移动的一对漉41、流延模28和剥取漉42。一对漉41中的至少一个沿圆周方向进行旋 转，通过其旋转，卷绕到一对漉41上的带40向长度方向进行循环移动。流延模28在该例 子中配置于一对漉41中的一个的上方，但也可W配置于一对漉41中的一个与另一个之间 的带40的上方。
[0042] 流延模28是将供给来的胶浆11从与带40对置的喷出口 28a连续地喷出的喷出 部。通过向移动中的带40上连续地喷出胶浆11，胶浆11在带40上流延，在带40上形成流 延膜43。图1中，对胶浆11与漉41接触而开始形成流延膜43的位置（W下，称为流延位 置）附上符号PC。
[0043] 一对漉41具备调节周面溫度的溫度控制器（未图示）。利用调节了周面溫度的漉 41，流延膜43经由带40而被调整了溫度。在通过对流延膜43进行加热而促进干燥来凝固 (凝胶化）的所谓干燥凝胶化方式的情况下，漉41的周面溫度设为例如10°CW上且40°CW 下的范围内。此外，在通过将流延膜43冷却来凝固的所谓冷却凝胶化方式的情况下，将漉 41的周面溫度设为-10°CW上且5°CW下的范围内。通过运种凝胶化，流延膜43W能够搬 送的程度凝固。 W44]另外，作为流延支撑体，也可W使用鼓（未图示）代替带40。运种情况下，通过在 鼓上设置驱动机构并使其沿圆周方向旋转，在周面上形成流延膜43。在使用鼓作为流延支 撑体的情况下，设定鼓具备调节周面溫度的溫度控制器（未图示），通过调节鼓的周面溫度 来调整流延膜43的溫度较佳。
[0045] 关于从流延模28至带40的胶浆11、所谓的液珠化ead)，在带40的移动方向上的 上游，设置有减压腔室（无图示）。该减压腔室对所喷出的胶浆11的上游侧区域的气氛进 行抽吸而将该区域减压。此外，也可W与带40对置地设置用于促进流延膜43的干燥的送 风机（无图示）。
[0046] 使流延膜43在带40上凝固至能够向拉幅机32搬送的程度后，在包含溶剂的状态 下从带40上剥离。剥取漉42是用于将流延膜43从带40上连续地剥取的装置。剥取漉42 将通过从带40上剥取而形成的薄膜12例如从下方支撑，将流延膜43从带40上剥离的剥 取位置PP保持恒定。剥取方法可W是将薄膜12向下游侧拉伸的方法、或使剥取漉42沿圆 周方向旋转的方法等中的任一者。
[0047] 关于从带40上的剥取，在干燥凝胶化方式的情况下，例如在流延膜43的溶剂含有 率为20质量％W上且50质量％W下的范围的期间进行。另外，本说明书中，溶剂含有率 (单位；％ )是干量基准的值，具体而言，是设溶剂的质量为X、设薄膜12的质量为y时，由 Ix/(y-x)}X100求出的百分率。
[0048] 如W上那样，流延单元31由胶浆11形成薄膜12。带40通过在流延位置PC和剥 取位置PP处循环地进行移动，反复进行胶浆11的流延和流延膜43的剥取。
[0049] 在流延单元31与拉幅机32之间的搬送路上，也可W配置用于促进薄膜12的干燥 的送风机（无图示）。剥取后形成的薄膜12被引导至拉幅机32。拉幅机32具备把持长条 的薄膜12的侧部的夹子46、一对轨道（无图示）及链条（无图示）。代替夹子46,也可W 使用W从台子的上表面立起的姿势配置有多个针（无图示）、并将各个针扎入薄膜12的侧 部来保持薄膜12的针板（无图示）。
[0050] 轨道设置于薄膜12的搬送路的侧部，一对轨道相离地配置。链条被架于主动链轮 及从动链轮（无图示）上，沿着轨道移动自如地安装。夹子46W规定的间隔安装于链条上， 通过主动链轮的旋转，夹子46沿着轨道进行循环移动。夹子46在拉幅机32的入口附近开 始对引导来的薄膜12进行保持，朝向出口进行移动，在出口附近解除保持。解除保持后的 夹子46再次移动至入口附近，保持新引导来的薄膜12。运样，夹子46将薄膜12的各侧部 把持并沿长度方向进行搬送。
[0051] 在拉幅机32中，在薄膜12的搬送路的上方设置有送风机47。在送风机47的下表 面，形成干燥气体流出的流出口（无图示），朝向经过的薄膜12吹出干燥气体。另外，也可 W在薄膜12的搬送路的下方设置具有同样结构的送风机。
[0052] 漉干燥机33具备多个漉48和空调机（无图示）。多个漉48用周面对薄膜12进 行支撑。薄膜12被卷绕于漉48上进行搬送。空调机调节漉干燥机33的内部的溫度、湿度 等。卷取机34是用于将薄膜12W卷状卷取的装置。
[0053] 关于入口侧压力PA的上述的设定范围PS，在本实施方式中，在开始薄膜12的制造 之前求出，其求法的一例如下。另外，设设定范围PS的下限值为PU设上限值为P2。目P，设 定范围PS为PlW上且P2W下的范围。
[0054] 使供给累21与过滤器25之间的第1配管Ll分支，将该分支配管（无图示）与罐 17连接。在该分支配管上，设置有用于观察在内部的流路中流动的胶浆11中是否有气泡 的窥窗。在设置有该分支配管的第1配管Ll的分支位置与过滤器25之间设置阀口（无图 示），将该阀口和调整阀口 23关闭。驱动送出累18及供给累21，在利用供给累21控制的 胶浆11的流量恒定的状态下，改变送出流量，对每个送出流量均检测入口侧压力PA。检测 中流过的胶浆11通过上述的分支配管送回至罐17。该检测中的利用供给累21控制的胶 浆11的流量只要恒定即可，例如可WW上述的供给流量恒定，也可WW与上述的供给流量 不同的流量恒定。 阳化5] 设入口侧压力PA变得过低而在上述的分支配管内流动的胶浆11中见到气泡时的 入口侧压力PA为PAL时，将PALX1. 1设定为下限值Pl。设入口侧压力PA变得过高而在供 给累21的例如齿轮部分中胶浆11发生泄漏的入口侧压力PA为PAH时，将PAHX0. 9设定 为上限值P2。运样，将逐渐减小送出流量而在胶浆11中开始确认到气泡的入口侧压力PA 即PAL乘W1. 1而得到的值设定为P1，将逐渐增大送出流量而在供给累21中胶浆11开始 发生泄漏的入口侧压力PA即PAH乘W0. 9而得到的值设定为P2。如W上那样求出设定范 围PS。另外，P1、P2由于根据所使用的胶浆11的不同而不同，所W对所使用的胶浆11进行 设定。因此，在预定切换彼此不同的多个胶浆11而供至薄膜制造装置14的情况下，对所使 用的胶浆11分别设定Pl和P2。此外，由于PUP2根据所使用的供给累的不同而不同，所 W对所使用的供给累21分别进行设定。
[0056]PS中的下限值Pl更优选设为PALX1. 15。上限值P2更优选设为PAHXO. 85。
[0057] 对上述构成的作用进行说明。预先调制而储存于罐17中的胶浆11通过送出累18 从罐17W恒定的送出流量被送出（送出步骤），在第1配管Ll中流动。送出的胶浆11在 分支位置PB被分成朝向薄膜制造装置14在第1配管Ll中被引导的胶浆、和朝向罐17在 第2配管L2中被引导（送回步骤）的胶浆。朝向流延模28在第1配管Ll中被引导的胶 浆11通过供给累21经由过滤器25向薄膜制造装置14的流延模28W恒定的流量进行供 给（供给步骤）。通过使用供给累21，与仅利用送出累18的送液相比，第I配管LI中的压 力损失得到抑制，所W胶浆11W更高精度的恒定的流量向流延模28供给。过滤器25通过 对向着流延模28的胶浆11进行过滤，从胶浆11中除去异物。
[0058] 压力计22如图2中所示的那样，检测入口侧压力PA(压力检测步骤），并将该检 测结果输出至控制器24的算出部中。控制器24的算出部将所输入的检测结果与存储于存 储部中的上述的设定范围PS进行对比，调查检测结果的入口侧压力PA是否为设定范围PS 内、即PlW上且P2W下的范围内。在入口侧压力PA为设定范围PS内的情况下，不改变并 维持送出累18及供给累21的转速和调整阀口 23的开度。
[0059] 在入口侧压力PA为设定范围PS外的情况下，控制器24调查是入口侧压力PA高于 上限值P2、还是低于下限值Pl中的哪一种情况。在入口侧压力PA高于上限值P2(PA〉P2) 的情况下，在调整阀口 23的开度不为全开的情况下，控制器24使调整阀口 23的开度比现 在大。通过调整阀口 23的开度变得更大，送回流量变大，由此流向供给累21的胶浆11的 流量变得更小，所W入口侧压力PA降低。变低的入口侧压力PA被压力计22重新检测，在 该新的检测结果为设定范围PS内的情况下，不改变并维持送出累18及供给累21的转速和 调整阀口 23的开度。另一方面，在新的检测结果高于上限值P2(PA〉P2)、且调整阀口 23的 开度不为全开的情况下，控制器24通过进一步增大调整阀口 23的开度，使供给累21的入 口侧压力PA进一步降低。运样，在入口侧压力PA高于上限值P2、且调整阀口 23的开度不 为全开的情况下，按照使调整阀口 23的开度变得更大的方式进行调节，通过反复进行运样 的利用压力计22的检测和利用控制器24的调节，使入口侧压力PA达到上限值P2W下。 W60] 在入口侧压力PA高于上限值P2的情况下，在调整阀口 23的开度为全开的情况 下，由于无法进一步增大调整阀口 23的开度，所W控制器24通过改变送出累18的转速而 使送出流量比现在小。通过送出流量变小，送回流量和流向供给累21的胶浆11的流量变 得更小。由于流向供给累21的胶浆11的流量变小，所W入口侧压力PA降低。压力计22 检测新的入口侧压力PA,在该新的检测结果为设定范围PS内的情况下，不改变并维持送出 累18及供给累21的转速和调整阀口 23的开度。另一方面，在新的检测结果依然高于上限 值P2的情况下，控制器24与上述同样地，根据调整阀口 23的开度是否为全开，进一步增大 调整