溶液供给方法及装置、溶液制膜方法_5

文档序号:9678493阅读:来源:国知局
制造单层结构的薄膜12的情况下,添加用阀口 87关闭。此外,阀口 73的第1 配管Ll中的阀打开,第1分支配管LBl侧的阀关闭,阀口 91~阀口 93关闭。通过使添加 用阀口 87、88处于上述的开闭状态,第1添加剂液77被引导至第1配管LI,但第2添加剂 液78没有被引导。向从第1分支位置PBl引导在第1配管Ll中的基准胶浆52中,添加在 第3配管L3中引导来的第1添加剂液77 (添加步骤)。
[0102] 在第I连接位置PJl合流的基准胶浆52和第I添加剂液77通过第I静止型混合 器83和第2静止型混合器84混合,得到聚合物和增塑剂被混合至均匀的状态的第1流延 胶浆75。第1流延胶浆75通过第1供给累21a经由过滤器25a供给至流延模28。另一方 面,在第2配管L2中被引导的基准胶浆52被送回至罐17。 阳1〇3] 通过压力计22检测第1供给累21a的入口侧压力PA,在该入口侧压力PA为设定 范围PS内的情况下,不改变并维持送出累18及第1供给累21a的转速和调整阀口 23的开 度。在第1供给累21a的入口侧压力PA不为设定范围PS内的情况下,与第1实施方式及 第2实施方式同样地,通过控制器24将第1供给累21a的入口侧压力PA控制在设定范围 PS内。目P,在调整阀口 23的开度不为全开的开状态的情况下,通过调整阀口 23的开度的 调节来调整基准胶浆52的送回流量,由此将第1供给累21a的入口侧压力PA控制在上述 的设定范围PS内。此外,在调整阀口 23的开度为全开的情况和关闭的情况下,通过基准胶 浆52的送出流量的调节将第1供给累21a的入口侧压力PA控制在上述的设定范围PS内。 运样,由于第1供给累21a的入口侧压力PA得到控制(压力控制步骤),所W在第1供给累 21a中不会在齿轮等中产生流延胶浆56的泄漏,此外,也不会产生气穴。
[0104] 在制造单层结构的薄膜12的情况下,通过第1供给累21a,第1流延胶浆75经由 过滤器25aW恒定的流量向流延模28供给(供给步骤)。供给来的第1流延胶浆75从流 延模28朝向移动的带40连续地喷出,与第1实施方式及第2实施方式同样地制造薄膜12。 [01化]在制造多层结构的薄膜的情况下,将添加用阀口 87、88打开,使用第1添加剂液77 和第2添加剂液78。此外,阀口 73的第1配管Ll的上游侧的阀和第1分支配管LBl侧的 阀打开,第1配管Ll的下游侧的阀关闭,阀口 91~阀口 93打开。 阳106] 通过使添加用阀口 87、88处于上述的开闭状态,第1添加剂液77和第2添加剂液 78分别被引导至第1配管Ll。向从第1分支位置PBl引导在第1配管Ll中的基准胶浆52 中,首先添加在第3配管L3中引导来的第1添加剂液77 (第1添加步骤)。在第1连接位 置PJl合流的基准胶浆52和第1添加剂液77通过第1静止型混合器83混合。该混合液 在第2分支位置PB2分支成在第1配管Ll中被引导的溶液、和在第4分支配管LB4中被引 导的溶液。
[0107] 向在第1配管Ll中被引导的上述混合物中,添加在第4配管L4中引导来的第2 添加剂液78 (第2添加步骤)。在第2连接位置PJ2合流的上述混合液和第2添加剂液78 通过第2静止型混合器84混合,得到聚合物和增塑剂和UV吸收剂被混合至均匀的状态的 第1流延胶浆75。第1流延胶浆75被引导至第1配管11、第2分支配管LB2、第3分支配 管LB3。向在第2分支配管LB2和第3分支配管LB3中流动的各第1流延胶浆75中,分别 添加在第4分支配管LB4中引导来的上述混合液,得到均匀地混合的第2流延胶浆76。在 第1配管Ll中流动的第1流延胶浆75和在第2分支配管LB2、第3分支配管LB3中分别 流动的第2流延胶浆76通过第1供给累21a~第3供给累21c经由过滤器25a~25c供 给至流延模72。另一方面,在第2配管L2中被引导的基准胶浆52被送回至罐17 (送回步 骤)。 阳108] 如W上那样,在制造单层结构的薄膜12的情况和制造多层结构的薄膜的情况下, 添加用阀口 87、添加用阀口 88、阀口 73、阀口 91~阀口 93切换开闭。由此,切换所使用的 添加剂液的种类和送液线,从而切换所制造的薄膜的种类。
[0109] 根据该方法,没有必要根据所制造的薄膜的种类分别调制胶浆进行储存。此外,在 切换所制造的薄膜的种类时,没有必要将胶浆供给装置的配管整体置换成新的胶浆,通过 第3配管L3的一部分和相比于第1连接位置PJl在下游的第1配管Ll中的置换即可。
[0110] 在通过压力计22检测的第1供给累21a~第3供给累21c的入口侧压力PA为设 定范围PS内的情况下,不改变并维持送出累18及第1供给累21a~第3供给累21c的转 速和调整阀口 23的开度。在第1供给累21a~第3供给累21c的入口侧压力PA不为设定 范围PS内的情况下,与第1实施方式及第2实施方式同样地,通过控制器24将第1供给累 21a~第3供给累21c的入口侧压力PA控制在设定范围PS内。即,在调整阀口 23的开度 不为全开的开状态的情况下,通过调整阀口 23的开度的调节来调整基准胶浆52的送回流 量,由此将第1供给累21a~第3供给累21c的入口侧压力PA控制在上述的设定范围PS 内。此外,在调整阀口 23的开度为全开的情况和关闭的情况下,通过基准胶浆52的送出流 量的调节将第1供给累21a~第3供给累21c的入口侧压力PA控制在上述的设定范围PS 内。运样,由于第1供给累21a~第3供给累21c的入口侧压力PA得到控制(压力控制步 骤),所W在第1供给累21a~第3供给累21c中不会在齿轮等中产生第1流延胶浆75、第 2流延胶浆76的泄漏,此外,也不会产生气穴。 阳111]例如,对使用齿轮累(株式会社岛津制作所制)作为供给累21、并使用下述配方 的基准胶浆52、第2添加剂液78来制造3层结构的薄膜的情况进行详细说明。通过设 PALX1. 1为P1,设PAHX0.9为P2,本实施方式中的设定范围PA被设定为0.IMPaW上且 0. 5MPaW下的范围。另外,相对于基准胶浆52的流量,第2添加剂液78在第2连接位置 PJ2处的添加流量设为10%。关于气穴的产生,通过在第1配管Ll的过滤器25a的下游、 第2分支配管LB2的过滤器2化的下游和第3分支配管LB3的过滤器25c的下游分别设置 窥窗,并从运些窥窗通过目视进行观察,确认第1流延胶浆75、第2流延胶浆76中的气泡的 有无来进行评价。此外,齿轮部分中的第1流延胶浆75、第2流延胶浆76的泄漏也通过目 视进行观察来确认。
[0112] 基准胶浆52为W下的配方。溶剂为由3种成分构成的混合物,第1成分为二氯甲 烧,第2成分为甲醇,第3成分为下醇。 阳113] TAC 100质量份 阳114](乙酷基取代度为2. 86,包含50质量份来自之前进行的薄膜制造工序的回收切 屑)
[0115] 二氯甲烧 275质量份
[0116] 甲醇 50质量份
[0117] 下醇 10质量份 阳11引第1添加剂液77为W下的配方。 阳119] 増塑剂 23质量份 二氯甲焼 的质量份 巧醇 12质量份 T醇 2质量份 阳120] 第2添加剂液78为W下的配方。
[0121] 增塑剂 22.7质量份 UV吸收剂 0.3质量份 二氯甲焼 的质量份 甲醇 12质量份 T醇 2质量份
[0122] 上述的增塑剂为乙二醇与己二酸的缩合物(数均分子量为1000、径值为 112m巧OH/g),该缩合物中的乙二醇/己二酸的摩尔比为1/1。上述的UV吸收剂为BASF Japan株式会社制Tinuvin928。
[0123] 在通过控制器24控制第1供给累21a~第3供给累21c的入口侧压力PA,使其变 成(PALX1.1)W上且(PAHX0.9)W下的情况下,在第1供给累21a~第3供给累21c中 没有在齿轮等中发生流延胶浆56的泄漏,此外,也没有产生气穴。与此相对照,在没有利用 控制器24进行控制、第1供给累21a~第3供给累21c的入口侧压力PA低于(PALX1. 1) 的情况下,在第1供给累21a~第3供给累21c中产生气穴。此外,在没有利用控制器24 进行控制、第1供给累21a~第3供给累21c的入口侧压力PA大于(PAHX0. 9)的情况下, 在第1供给累21a~第3供给累21c的齿轮部分中第1流延胶浆75、第2流延胶浆76发生 泄漏。
[0124] 与第2实施方式的情况同样地,在通过送回流量的调整或送出流量的调节、聚合 物的质量相对于第1添加剂或第2添加剂的质量低于所期望的范围的情况下,使添加用阀 口 87、88的开度比现在小。例如,在本实施方式中,通过减小添加用阀口 87、88的开度,将 第1添加剂液77、第2添加剂液78的各添加流量降低至现在的0. 05倍W上且低于1. 0的 范围内。由此,调节第1添加剂液77与基准胶浆52的流量比率、第2添加剂液78与基准 胶浆52和第1添加剂液78的混合液的流量比率,使聚合物的质量相对于增塑剂、UV吸收 剂的质量达到所期望的范围内。在运样改变第1添加剂液77、第2添加剂液78的流量的情 况下,第1流延胶浆75的流量也发生变化。但是,在该例子中,也与第1实施方式及第2实 施方式同样地,由于第1供给累21a~第3供给累21c的入口侧压力PA被检测并被控制在 设定范围PS内,所W在第1供给累21a~第3供给累21c中没有在齿轮等中发生第1流延 胶浆75、第2流延胶浆76的泄漏,此外,也没有产生气穴。
[01巧]此外,如上述那样,根据每个所制造的薄膜预先设定增塑剂、UV吸收剂等添加剂与 聚合物的质量比。本实施方式中,由于使用固体成分浓度与基准胶浆52相等的第1添加剂 液77、第2添加剂液78,所W与使用固体成分浓度比基准胶浆52高的添加剂液的W往的情 况相比,第1添加剂液77、第2添加剂液78相对于基准胶浆52的添加流量增大。即使是运 样添加流量大的情况下,由于第1供给累21a~第3供给累21c的入口侧压力PA按照不会 超过设定范围PS而变大的方式得到控制,所W在第1供给累21a~第3供给累21c的齿轮 等中也不会发生第1流延胶浆75、第2流延胶浆76的泄漏。
[01%] 进而,在切换地制造单层结构的薄膜12和多层结构的薄膜时,切换使用第2添加 剂液78,此外,第1添加剂液77和第2添加剂液78的相对于基准胶浆52的添加流量经常 彼此不同。因此,根据所制造的薄膜的切换,流向第I供给累21a的第I流延胶浆75的流 量和流向第2供给累2化、第3供给累21c的第2流延胶浆76的流量分别发生变化。但是, 根据上述的构成,由于已经对第1流延胶浆75、第2流延胶浆76分别求出设定范围PS,第1 供给累21a~第3供给累21c的入口侧压力PA被控制在该设定范围PS内,所W在第1供 给累21a~第3供给累21c中不会在齿轮等中发生第1流延胶浆75、第2流延胶浆76的泄 漏,此外,也不会产生气穴。
[0127] 在制造多层结构的薄膜的情况下,第1流延胶浆75通过第1供给累21a经由过滤 器25a向流延模72W恒定的流量供给,第2流延胶浆76通过第2供给累2化、第3供给累 21c经由过滤器25b、25c向流延模72W恒定的流量供给(供给步骤)。供给来的第1流延 胶浆75和第2流延胶浆76从流延模72朝
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