专利名称：减压干燥装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及通过使涂敷在基板上的涂敷液减压干燥，在基板上形成涂 敷膜的减压干燥装置。
背景技术：
在液晶显示器或等离子显示器等平板显示器中，使用玻璃基板上涂敷 有抗蚀剂液的部件(称作涂敷基板)。该涂敷基板通过由涂敷装置在基板上 均匀地涂敷抗蚀剂液后、由减压干燥装置使涂敷液干燥来生产。
该减压干燥装置，例如如下述专利文献1所示，具有由可升降动作的 腔盖和载置基板的下部板形成的处理室(腔)，在腔盖下降的状态下，处理 室能够维持密闭状态。并且，在下部板上，形成有用于排出处理室内的空 气的排气口、和用于向处理室内供给N2等气体的气体供给口。由此，通过 在处理室内载置有涂敷基板的状态下从排气口排出处理室内的空气，使处 理室内减压(低压化)而使涂敷液干燥，并且如果干燥结束，则通过向处 理室内供给N2气体，能够解除减压状态。
专利文献1日本特开平10-76211号公报
这里，图5是表示以往的腔盖的图。如该图5所示，在腔盖90上通过 焊接而安装有加强肋91。即，如果为了使涂敷基板减压干燥而将处理室减 压，则腔盖90通过受大气压推压而向处理室侧稍稍变形，从而处理室内的 气流受到影响。如果产生该稍稍的气流的紊乱，则在涂敷膜上形成条纹状 的图案等，难以使涂敷液同样地干燥。因此，通过设置加强肋91，提高腔 盖90的刚性而抑制不合格基板的产生。
但是，在以往的腔盖卯的加强肋91中，存在这样的问题有可能因 其焊接部分剥离而使加强肋91不能发挥本来的功能。g卩，如果腔盖90受 大气压推压，则尽管其中央部分的弯曲变形量比端部大，但在以往的腔盖 90中，由于焊接强度较弱的加强肋91彼此交叉的部分(肋交叉部92)集
中地形成在腔盖90的中央部分上，所以在其肋交叉部92的焊接部分发生 破裂等而剥离的可能性较高。
发明内容
本发明是鉴于上述问题而完成的，目的是提供一种能够通过抑制腔盖 部的焊接部分的剥离等的产生来抑制生产不合格基板的减压干燥装置。
为了解决上述课题，本发明的减压干燥装置，具备载置基板的基板载 置部、和相对于该基板载置部可相对地接触分离的腔盖部，通过在由该基 板载置部和腔盖部形成的基板收纳部内，收纳有涂敷了涂敷液的基板的状 态下使上述基板收纳部内减压，从而使上述涂敷液干燥，其特征在于，上 述腔盖部与上述基板载置部面对，并且具有具备4个边缘部的四边形状， 在与基板载置部侧相反一侧的外表面上，接合有在与相邻的边缘部交叉的 方向上延伸的加强肋。
根据上述减压干燥装置，能够在避开腔盖部的中央部分的状态下设置 加强肋。即，由于加强肋在向与腔盖部的相邻的边缘部交叉的方向延伸的 状态下配置，所以加强肋不会设在腔盖部的中心，其结果，能够将肋交叉 部形成在离开腔盖部的中央部分的位置上。因而，与如以往那样加强肋在 向腔盖部相互面对的边缘部延伸的方向(沿着腔盖部的边缘部的方向)上 配置的情况相比，能够抑制肋交叉部的焊接部分剥离。
此外，优选的结构是，上述加强肋设置为，通过上述腔盖部的中心与 相邻的边缘部彼此交叉的角部的中点。
根据该结构，能够通过较少的加强肋平衡良好地加固腔盖部整体。
此外，也可以设计为如下结构，上述加强肋具有一方向延伸的形状， 这些加强肋配置为在上述腔盖部的外表面上形成四边形，上述加强肋彼此 交叉的肋交叉部形成在上述边缘部上。
根据该结构，由于将焊接强度较弱的肋交叉部设在弯曲变形较小的边 缘部上，所以能够抑制肋交叉部剥离的问题。此外，如果肋交叉部的数量 变多，则腔盖制造时的清洗作业等变得复杂，由此产生增加腔盖部整体的 成本的问题，而根据该结构，由于能够减少肋交叉部的数量，所以能够做 成低价的腔盖部。此外，也可以设计为如下结构，上述腔盖部具有与所载置的基板大致 平行且基板载置部侧的表面平坦地形成的平板部、和在平板部的端部向基 板载置部侧突出的收纳壁部，上述肋交叉部形成在对应于该收纳壁部的平 板部的外表面上。
根据该结构，由于平板部的厚壁部不易受到弯曲变形的影响，所以通 过在对应于该厚壁部的部分上设置肋交叉部，能够抑制肋交叉部的焊接部 分剥离。
发明的效果
根据本发明的减压干燥装置，能够抑制焊接部分的剥离等的产生从而 抑制生产不合格基板。
图1是表示本发明的一实施方式的减压干燥装置的腔盖部打开的状态
、'图2是表示上述减压干燥装置的腔盖部关闭的状态的概略图。 图3是上述腔盖部的俯视图。 图4是表示上述腔盖部的缘端附近的图。 图5是表示以往的腔盖的图。
符号说明
8 —肋交叉部；IO —腔盖部；ll一平板部；lla—边缘部；llc一外表面； 12 —收纳壁部；13 —加强肋；20 —基板载置部；21 —载置板；30 —基板收 纳部。
具体实施例方式
利用
本发明的实施方式。
图1 图4是概略地表示本发明的一实施方式的减压干燥装置的图，图 1是表示减压干燥装置的腔盖部IO打幵的状态的图，图2是表示腔盖部10 关闭的状态的图，图3是腔盖部10的俯视图，图4是将腔盖部10的缘端 附近放大的图。
如图1 图4所示，减压干燥装置是使形成在基板1上的抗蚀剂液等涂 敷膜干燥的装置，具备基板载置部20和腔盖部10。
另外，在以下的说明中，以图1中的纸面上侧为减压干燥装置的上方， 以图1中的纸面下侧为减压干燥装置的下方，来进行说明。
基板载置部20是载置基板1的部件，具有载置由涂敷装置等涂敷了抗 蚀剂液的基板1的载置板21。并且，通过该基板载置部20的载置板21和 后述的腔盖部10,如图2所示，形成收纳基板1的基板收纳部30。
在基板载置部20上，设有使基板1进行升降动作的基板升降机构，艮P， 在基板载置部20的载置板21上，在载置基板1的区域形成有多个销孔22， 在该销孔22中埋设有能够沿Z轴方向升降动作的顶升销(Lift pin) 40。并 且，在该顶升销40上连接有驱动装置41，通过驱动该驱动装置41，顶升 销40从载置板21的表面突出到规定高度位置(上升位置)。由此，在将基 板1载置在载置板21上时，在使顶升销40上升到上升位置的状态下，通 过顶升销40的前端部分保持被供给的基板1，通过从该状态使顶升销40 下降，能够将基板1载置在载置板21上。并且，在载置板21上设有产生 静电的基板保持机构(未图示)，将由该基板保持装置载置的基板保持在载 置板21上。
此外，在载置板21上，形成有在其表面上开口的多个排气口 23和气 体供给口 24。该排气口 23是用于通过排出基板收纳部30内的空气而将基 板收纳部30内减压为小于大气压的压力的排气口。具体而言，排气口 23 与真空泵5连通连接，通过使该真空泵5动作，能够排出基板收纳部30内 的空气。此外，气体供给口 24是使基板收纳部30内的减压状态解除的供 给口 。具体而言，气体供给口 24与N2气体供给源6连通连接，如果使N2 气体供给源6动作，则通过将N2气体供给到基板收纳部30内，从而基板 收纳部30返回至大气压，减压状态被解除。
腔盖部10具有覆盖载置在载置板21上的基板1的形状，具有与载置 板21面对的平板部11、和从该平板部ll的端部的边缘部lla向载置板21 侧突出的收纳壁部12。
上述平板部11形成为与基板1的形状对应的形状即四边形状。在本实 施方式中，如图3所示，形成为平板部11的相邻边缘部lla彼此正交的长
方形状。此外，平板部11以一定的厚度t形成，对置于载置板21的面(基 板载置部侧的表面llb)相对于载置板21大致平行，平坦地形成。由此， 能够抑制基板收纳部30内的气流紊乱。
此外，收纳壁部12从平板部11的4个边缘部lla分别向载置板21侧 延伸形成，形成为，使其包围所载置的基板l。并且，腔盖部10的边缘部 lla的厚度尺寸、即收纳壁部12的厚度方向尺寸T大于腔盖部10的平板 部11的厚度方向尺寸t。
该腔盖部10构成为，进行升降动作。即，在腔盖部10中设有驱动装 置7，通过驱动该驱动装置7，腔盖部10能够相对于基板载置部20的载置 板21接触分离。并且，收纳壁部12的底面12a形成为，大致与载置板21 平行，通过该收纳壁部12的底面12a与以包围基板1的方式设在载置板21 的表面上的密封部件(未图示)抵接，将基板收纳部30密闭。g卩，如果驱 动驱动装置41而使腔盖部10下降，则通过收纳壁部12的底面12a与密封 部件贴紧，基板收纳部30与其外部被密封部件隔断。由此，将基板收纳部 30密闭。
此外，如图3、图4所示，在腔盖部10的上面(外表面llc)上，安 装有加强肋13。具体而言，加强肋13通过焊接而接合在腔盖部10的外表 面llc上，在本实施方式中，以在与平板部11的相邻边缘部lla交叉的方 向上延伸的方式焊接有4根加强肋13。所谓该相邻的边缘部lla，是相对 于一个边缘部lla交叉(在本实施方式中是正交)以形成角部C的另一个 边缘部lla。
并且，加强肋13设在一个边缘部lla的中央部和与该边缘部lla相邻 的另一个边缘部lla的中央部之间，各加强肋13的长度方向缘端部13a延 伸到平板部11的边缘部lla。并且，这些加强肋13设置为，使其通过中点 M，该中点M是平板部11的中心O与平板部11的相邻的边缘部lla彼此 交叉的角部C的中点。即，在本实施方式中，安装有加强肋13，以使其通 过中点M，该中点M是平板部11的中心0与4个角部C的各自的中点， 设置为，使得在腔盖部10的外表面llc上形成菱形。
此外， 一个加强肋13的长度方向缘端部13a和另一个加强肋13的长 度方向缘端部13a接近的肋交叉部8形成在平板部11的边缘部Ila上，具
体而言，形成在对应于收纳壁部12的外表面llc上。由此，由于收纳壁部 12将其厚度方向尺寸设定为比平板部11的中央部分的厚度方向尺寸大，所 以即使在通过使基板收纳部30内减压而平板部11受到大气压带来的推压 的影响的情况下，其厚度方向的弯曲也被抑制，因此，能够有效地抑制与 其他焊接部分P相比有强度变弱的倾向的肋交叉部8的焊接部分P的剥离。 接着，关于减压干燥装置的动作进行说明。
首先，进行涂敷基板1的供给。具体而言，在使腔盖部IO上升的状态 下，通过机器手等，将涂敷有抗蚀剂液的涂敷基板1载置到在上升位置停 止的顶升销40的前端部分上。并且，通过使驱动装置41动作而使顶升销 40下降，将涂敷基板1在载置于基板载置部20的载置板21上的状态下保 持。
接着，使涂敷基板l干燥。具体而言，在使腔盖部10下降而将基板收 纳部30密闭后，使真空泵5动作而使基板收纳部30内减压，由此使基板1 上的涂敷液干燥。这里，如果使基板收纳部30内减压，则腔盖部10受大 气压推压腔。由此，腔盖部10的中央部分向基板收纳部30侧稍稍弯曲变 形，但是由于本实施方式的肋交叉部8均设在比中央部分厚度大的收纳壁 部12上，所以大气压的推压带来的弯曲变形变得比中央部分小。因而，能 够抑制由于在比其他部分焊接力弱的肋交叉部8上产生龟裂等引起肋交叉 部8的焊接部分P剥离的问题。
接着，通过将减压干燥状态维持规定时间，在使涂敷液千燥后，进行 涂敷基板1的取出。具体而言，通过从气体供给口 24将N2气体供给到基 板收纳部30中，使基板收纳部30内返回至大气压。并且，通过使腔盖部 IO上升进行涂敷基板I的取出， 一系列的减压干燥装置的动作结束。
根据如以上说明那样的减压干燥装置，由于加强肋13在向与平板部11 的相邻的边缘部lla交叉的方向延伸的状态下配置，所以能够将肋交叉部8 形成在离开腔盖部10的中央部分的位置上。并且，通过将上述加强肋13 设置为使其通过中点M就能够通过较少的加强肋13平衡良好地加固腔盖， 该中点M是腔盖部10的中心和平板部11的相邻的边缘部lla彼此交叉的 角部的中点。因而，与如以往那样将加强肋13在向平板部11的相互面对 的边缘部lla延伸的方向上配置的情况相比，能够抑制肋交叉部8的焊接
部分P剥离，能够抑制腔盖部10的成本从而做成低价的减压干燥装置。
在上述实施方式中，对于将加强肋13配置为使其形成菱形的例子进行 了说明，但也可以配置为使其形成正方形或长方形。具体而言，只要是加 强肋13延伸到平板部11的边缘部lla、肋交叉部8在平板部11的边缘部 lla上形成就可以。g口，由于大气压带来的变形的影响在边缘部lla比平板 部11的中央部分小，所以能够抑制肋交叉部8的焊接部剥离的问题。
此外，在上述实施方式中，对于在收纳壁部12上形成肋交叉部8的例 子进行了说明，但并不限于此。即，通过在比弯曲变形最大的平板部11的 中央部分靠边缘部lla侧设置肋交叉部8，能够抑制肋交叉部8的焊接部分 P的剥离。
权利要求
1、一种减压干燥装置，具备载置基板的基板载置部、和相对于该基板载置部可相对地接触分离的腔盖部，通过在由该基板载置部和腔盖部形成的基板收纳部内，收纳有涂敷了涂敷液的基板的状态下使上述基板收纳部内减压，从而使上述涂敷液干燥，其特征在于，上述腔盖部与上述基板载置部面对，并且具有具备4个边缘部的四边形状，在与基板载置部侧相反一侧的外表面上，接合有在与相邻的边缘部交叉的方向上延伸的加强肋。
2、 如权利要求1所述的减压干燥装置，其特征在于，上述加强肋设置 为，通过上述腔盖部的中心与相邻的边缘部彼此交叉的角部的中点。
3、 如权利要求1或2所述的减压干燥装置，其特征在于，上述加强肋 具有一方向延伸的形状，这些加强肋配置为在上述腔盖部的外表面上形成 四边形，上述加强肋彼此交叉的肋交叉部形成在上述边缘部上。
4、 如权利要求1 3中任一项所述的减压干燥装置，其特征在于，上 述腔盖部具有与所载置的基板大致平行且基板载置部侧的表面平坦地形成 的平板部、和在平板部的端部向基板载置部侧突出的收纳壁部，上述肋交 叉部形成在对应于该收纳壁部的平板部的外表面上。
全文摘要
本发明提供一种能够通过抑制腔盖部的焊接部分的剥离等的产生来抑制生产不合格基板的减压干燥装置。所述减压干燥装置具备相对于基板载置部可相对地接触分离的腔盖部，通过在由该基板载置部和腔盖部形成的基板收纳部内，收纳有涂敷了涂敷液的基板的状态下使上述基板收纳部内减压，从而使上述涂敷液干燥，上述腔盖部与上述基板载置部面对，并且具有具备4个边缘部的四边形状，在与基板载置部侧相反一侧的外表面上，以在与相邻边缘部交叉的方向上延伸的方式焊接加强肋。
文档编号F26B5/04GK101363681SQ200810146138
公开日2009年2月11日 申请日期2008年8月6日 优先权日2007年8月6日
发明者奥田大辅 申请人:东丽工程株式会社