一种硅片甩干系统的制作方法
【专利摘要】一种硅片甩干系统，所述系统包括甩干桶、甩干桶内用于固定第一片架的甩干支架，其中所述第一片架用于盛放具有第一尺寸的硅片，所述甩干桶内设置有硅片固定装置，所述硅片固定装置与所述具有第一尺寸的硅片在置于第一片架中时裸露出来的边缘接触于一点以将置于所述甩干桶内的所述第一片架中的所述具有第一尺寸的硅片固定住，防止所述具有第一尺寸的硅片在置于第一片架中时滑出。相对于现有技术中固定部件至少有两点与硅片接触的甩干系统，本发明实施例的甩干系统大大减少了在甩干过程中硅片的玷污面积，进而提高了硅片的清洁度。
【专利说明】—种硅片甩干系统
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体制造【技术领域】，具体涉及一种硅片甩干系统。
【背景技术】
[0002]在硅片生产和使用过程中，需要根据工艺的需要对硅片进行清洗，清洗之后的硅片需要甩干以进入下一步工艺。硅片的甩干通常采用甩干系统完成，即将装满硅片的片架置于甩干机中，通过高速旋转将硅片甩干。现有技术中，采用这种高速旋转方式时通常在甩干桶内壁的斜上方(即在10点钟方向和14点钟方向)各设置一个固定部件，通过两个点与片架中的硅片接触，以将置于甩干桶内的片架中的硅片固定住。
[0003]但是，随着技术的不断发展，对硅片的清洁度要求越来越高，通过两个点与片架中的硅片接触的方式无疑会造成一定面积的硅片的玷污，随着工艺的进步，这种甩干系统越来越无法满足工艺需求。
【发明内容】
[0004]为保证硅片在甩干过程中的清洁度、防止硅片玷污，本发明实施例提供一种硅片甩干系统，所述系统包括甩干桶、甩干桶内用于固定第一片架的甩干支架，其中所述第一片架用于盛放具有第一尺寸的硅片，所述甩干桶内设置有硅片固定装置，所述硅片固定装置与所述具有第一尺寸的硅片在置于第一片架中时裸露出来的边缘接触于一点以将置于所述甩干桶内的所述第一片架中的所述具有第一尺寸的硅片固定住，防止所述具有第一尺寸的硅片在置于第一片架中时滑出。
[0005]优选地，所述硅片固定装置与具有第二尺寸的硅片在置于第二片架中时裸露出来的边缘接触于一点以将所述第二片架中的所述具有第二尺寸的硅片固定住，其中所述第二片架设置在所述第一片架中用来盛放所述具有第一尺寸的硅片的空间内，且所述第二片架与所述第一片架固定，所述第二片架用于盛放具有第二尺寸的硅片，所述第二尺寸小于所述第一尺寸。
[0006]优选地，所述第一片架的两端各设置有一个或者一个以上螺纹孔，所述第二片架的两端的相应位置对应设置有一个或者一个以上螺纹孔，所述第二片架通过螺栓固定于所述第一片架内。
[0007]优选地，所述第一片架包括相对设置的两个第一支撑侧板和固定在两个所述第一支撑侧板间且相对的两个第一插片侧板，所述第二片架包括相对设置的两个第二支撑侧板和固定在两个所述第二支撑侧板间且相对的两个第二插片侧板；
[0008]所述第一片架设置螺纹孔的两端为所述第一片架的所述两个第一支撑侧板，所述第二片架设置螺纹孔的两端为所述第二片架的所述两个第二支撑侧板。
[0009]优选地，所述硅片固定装置为固定在所述甩干桶内壁上的横板或者两端固定在所述甩干桶内壁上的横梁。
[0010]优选地，所述横板或横梁朝向所述第一片架的一面具有锯齿状开口，所述第一片架固定于所述甩干支架上时，所述锯齿状开口与所述第一片架的插槽的位置一一对应。
[0011]优选地，所述第二片架固定于所述第一片架内时，所述横板或横梁下方的锯齿状开口与所述第二片架的插槽的位置均一一对应。
[0012]本发明实施例提供的硅片甩干系统，通过在甩干桶内设置与所述具有第一尺寸的硅片在置于第一片架中时裸露出来的边缘接触于一点的固定装置以将所述第一片架中的所述具有第一尺寸的硅片固定住，在甩干过程中甩干系统中的固定装置仅有一点与硅片接触，相对于现有技术中固定部件至少有两点与硅片接触的甩干系统，本发明实施例的甩干系统大大减少了在甩干过程中硅片的玷污面积，进而提高了硅片的清洁度。
【专利附图】
【附图说明】
[0013]为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，图中相同的标记表示相同的部件，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在全部附图中相同的附图标记指示相同的部分。并未刻意按实际尺寸等比例缩放绘制附图，重点在于示出本发明的主
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[0014]图la、lb、lc和Id分别是本发明实施例一的立体图、主视图、图1a中硅片甩干系统的A-A向剖视图和使用过程中的结构示意图；
[0015]图2a、2b、2c和2d分别是本发明实施例二的立体图、主视图、图2a中硅片甩干系统的A-A向剖视图和使用过程中的结构示意图，图2eT2g为本发明实施例二的具体示例的结构示意图；
[0016]图3a、3b、3c和3d分别是本发明实施例三的立体图、主视图、图3a中硅片甩干系统的A-A向剖视图和使用过程中的结构示意图；
[0017]图4a、4b、4c和4d分别是本发明实施例一的立体图、主视图、图4a中硅片甩干系统的A-A向剖视图和使用过程中的结构示意图；
[0018]附图标记:
[0019]1-甩干桶，2-甩干支架，3-硅片固定装置，4-第一片架，5-第二片架，6_螺纹孔，7-具有第一尺寸的硅片，8-具有第二尺寸的硅片，9-第一片架的第一支撑侧板，10-第一片架的第一插片侧板，11-第一插片侧板的插槽，12-第一片架的底板，13-第二片架的第二支撑侧板，14-第二片架的第二插片侧板，15-第二插片侧板的插槽，16-第二片架的底板。
【具体实施方式】
[0020]为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0021]实施例一
[0022]图la、lb分别是本发明实施例一的立体图和主视图，图1c是图1a中硅片甩干系统的A-A向剖视图，为清楚起见，本发明实施例附图中的甩干系统均添加了片架(包括第一片架和/或第二片架)。一并参见图la、Ib和lc，本发明实施例一提供一种硅片甩干系统，该硅片甩干系统包括甩干桶1、甩干桶I内用于固定第一片架4的甩干支架2，以及甩干桶I内的硅片固定装置3 ;其中，第一片架4通过甩干支架2固定在甩干桶I内，第一片架4用于盛放具有第一尺寸的硅片，该具有第一尺寸的硅片可以是本领域常用的任意尺寸的硅片。本发明实施例一中的甩干支架2可以是本领域常用的结构，只要能够将第一片架4固定在甩干桶I内并且能够保证在高速旋转过程中第一片架4不会移位或者滑落即可，通常，该甩干支架2需要与第一片架4的结构相配合，以将第一片架4固定在甩干桶I内，即第一片架4的结构不同则会造成用于将第一片架4固定在甩干桶I内的甩干支架2的结构亦不同。具体地，甩干支架2可以内置在甩干桶I内壁上与甩干桶I成为一体，也可以单独通过固定连接方式与甩干桶I连接，如可以通过螺栓固定在甩干桶I的内壁上。
[0023]本发明实施例一中的甩干支架2可以采用金属材料或者非金属材料制成，具体地可以依设计要求而定。
[0024]本发明实施例一中的甩干桶I内壁上设置有硅片固定装置3，该硅片固定装置3与具有第一尺寸的硅片7接触于一点以将第一片架4中的具有第一尺寸的硅片(图1a中示
意性地仅仅示出了一个硅片7)固定住，防止在甩干过程中第一片架4中的硅片滑落或者碎
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[0025]在图1a~图1d中，该硅片固定装置3为横梁，实际上，该硅片固定装置3也可以为固定在甩干桶I内壁上的横板或者其他结构。
[0026]在本实施例中，该硅片固定装置3与硅片的正上方(即硅片7在置于第一片架4中时裸露出来的边缘的中点位置)接触从而将硅片固定，如图1d所示。实际上，硅片固定装置3只要能够与硅片7在置于第一片架4中时裸露出来的边缘上的任何一点接触均可以，都能够在甩干系统工作时防止具有第一尺寸的硅片7滑落或者碎裂，其中硅片固定装置3可以采用聚氯乙烯(Poly Vinyl Chloride, PVC)、聚偏氟乙烯(PVDF)或者聚四氟乙烯(PFA)材料本领域常用的对硅片的清洁度不会产生影响的材料制作而成。。
[0027]本发明实施例一中的硅片固定装置3可以为多种形状，只要与第一片架4中的具有第一尺寸的硅片接触于一点并能够将该硅片固定住以防止其在甩干过程中滑落或者碎裂即可。
[0028]本发明实施例一中的硅片固定装置3可以采用金属材料或者非金属材料制成，本领域技术人员可以依具体需求选择何种材料制作硅片固定装置3。
[0029]在使用过程中，本发明实施例一中的硅片甩干系统，可以将盛放具有第一尺寸的硅片7的第一片架置于甩干桶内(此时硅片固定装置3与具有第一尺寸的硅片7接触于一点并将其固定住)，然后将具有第一尺寸的硅片7甩干，如图1d所示(图1d为本发明实施例一的使用过程的示意图)。
[0030]本发明实施例提供的硅片甩干系统，通过在甩干桶内设置与具有第一尺寸的硅片在置于第一片架中时裸露出来的边缘接触于一点的固定装置以将第一片架中的具有第一尺寸的硅片固定住，在甩干过程中甩干系统中的固定装置仅有一点与硅片接触，相对于现有技术中固定部件至少有两点与硅片接触的甩干系统，本发明实施例的甩干系统大大减少了在甩干过程中硅片的玷污面积，进而提高了硅片的清洁度。
[0031]需要说明的是，在图1a~图1d中，第一片架在甩干桶内的摆放位置满足:第一片架中放入硅片后，硅片表面与甩干桶深度方向相垂直。实际上，第一片架与甩干桶的相对位置方向并不仅局限于此，但是第一片架在甩干桶固定以后，硅片固定装置均能够将放置在第一片架中的具有第一尺寸的硅片固定住。例如，如果第一片架在甩干桶内的摆放位置满足:第一片架中放入硅片后，硅片表面与甩干桶深度方向相平行，则相应的硅片固定装置的长度方向也需要进行相应调整，以便能够抵住放在第一片架内的任何一片具有第一尺寸的硅片，并与任何一片具有第一尺寸的硅片接触于一点。
[0032]实施例二
[0033]图2a、2b分别示出了本发明实施例二的立体图和主视图，图2c是图2a中硅片甩干系统的A-A向剖视图，一并参见图2a、2b、2c，其中，为了显示更加清楚，图2c中省去了硅片固定装置3，但是可以根据图2a和图2b得到该硅片固定装置3的确切结构和位置，本发明实施例二提供一种硅片甩干系统，硅片固定装置3还可以与具有第二尺寸的硅片8在置于第二片架5中时裸露出来的边缘接触于一点以将第二片架5中的具有第二尺寸的硅片8固定住，其中第二片架5设置在第一片架4中用来盛放具有第一尺寸的硅片7的空间内，且第二片架5与第一片架4固定，第二片架5用于盛放具有第二尺寸的硅片8，且第二尺寸小于所述第一尺寸，本发明实施例中的第二片架的尺寸小于第一片架的尺寸。
[0034]具体地，可以采用在第一片架4和第二片架5的两端设置螺纹孔然后通过螺栓将第二片架5固定在第一片架4内(图2a?2d中示出了螺纹孔6，第一片架4和第二片架5可以通过穿过该螺纹孔6的螺栓固定)，当然，也可以采用本领域常用的其他方式将第二片架固定在第一片架内。需要说明的是，本发明实施例二中的第一片架和第二片架采用可拆解连接方式，并非固定连接为一体。
[0035]为详细说明本发明实施例二的技术方案，以下以一个具体示例对本发明实施例二进行详细说明，需要说明的是，该具体示例仅用于解释本发明实施例二，而不用于限制本发明实施例二，不应当将该具体示例理解为是对本发明的限制。
[0036]在该具体不例中，参见图2e,第一片架4包括相对设置的两个第一支撑侧板9和固定在两个第一支撑侧板9间且相对的两个第一插片侧板10，其中第一插片侧板10上均匀分布有插槽11，且两个第一插片侧板10上的插槽11 一一对应，用于安放具有第一尺寸的硅片7 ;当然，第一片架4还可以包括底板12，该底板12位于第一片架4的正下方，且位于两个第一插片侧板10之间的中间位置，当具有第一尺寸的硅片7置于第一片架4内时，该底板12能够从底部托住硅片7 (如图2e所示)；
[0037]参见图2f，第二片架5包括相对设置的两个第二支撑侧板13和固定在两个第二支撑侧板13间且相对的两个第二插片侧板14，其中第二插片侧板14上均匀分布有插槽15，且两个第二插片侧板14上的插槽15 —一对应，用于安放具有第二尺寸的硅片8 ;当然，第二片架5还可以包括底板16，该底板16位于第二片架5的正下方，且位于两个第二插片侧板14之间的中间位置，当具有第二尺寸的硅片7置于第二片架5内时，该底板16能够从底部托住硅片8 (如图2f所示)；
[0038]图2g示出了将第二片架5固定于第一片架4时的结构示意图，其中图2g中在第二片架5中示意性地放入了一片具有第二尺寸的硅片8。
[0039]需要说明的是，上述具体示例仅是示例性的，本领域普通技术人员能够在上述示例的基础上得到多种不同的第一片架和第二片架的结构以及第一片架和第二片架的固定方式，在此不再赘述。
[0040]在使用过程中(参见图2d)，本发明实施例二中的硅片甩干系统，可以将盛放具有第一尺寸的硅片7的第一片架4置于甩干桶I内(此时硅片固定装置3将具有第一尺寸的硅片7固定住)，然后将具有第一尺寸的硅片7甩干；也可以将盛放具有第二尺寸的硅片8的第二片架5固定在第一片架4内，并将第一片架4置于甩干桶I内(此时硅片固定装置3将具有第二尺寸的硅片8固定住)，然后将具有第二尺寸的硅片8甩干。可见，本发明实施例二中的硅片甩干系统可以将不同尺寸的硅片甩干，相对于现有技术中传统硅片甩干系统只能甩干一种尺寸的硅片的情况来说，本发明实施例二中的硅片甩干系统只需增加极少的配件费用，能够大大节约晶圆厂或者实验室在人力、设备等方面的支出。
[0041]在图2a?图2g中,在第一片架4的两个第一支撑侧板9以及第二片架5的两个第二支撑侧板13上均设置了两个螺纹孔6用来进行固定，实际上，螺纹孔6的数量和排布位置均可以按实际需要进行灵活选择和调整，并不影响本发明目的的实现。
[0042]实施例三
[0043]图3a、3b分别示出了本发明实施例三的立体图和主视图，图3c是图3a中硅片甩干系统的A-A向剖视图，一并参见图3a、3b、3c，其中，为了显示更加清楚，图3d中省去了硅片固定装置3，但是可以根据图3a和图3c得到该硅片固定装置3的确切结构和位置。本发明实施例三提供一种硅片甩干系统，该硅片甩干系统包括甩干桶1、甩干支架2以及硅片固定装置3，其中该硅片固定装置3用于将盛放在第一片架4中的具有第一尺寸的硅片或者盛放在第二片架5中的具有第二尺寸的硅片固定住，其中硅片固定装置3为固定在甩干桶I内壁上的横板，第一片架4的两端各设置有两个螺纹孔6，第二片架5的相应位置也设置有两个螺纹孔6，第二片架5通过螺栓7固定在第一片架4内。
[0044]需要说明的是，本发明实施例三中的横板的下方具有锯齿状开口，当第一片架4固定于甩干支架2上时,该横板朝向第一片架4的一面具有锯齿状开口，该锯齿状开口与固定于甩干支架2上的第一片架4的插槽一一对应，这样能够保证插入第一片架4上的插槽中的硅片也能插入横板下方的锯齿状开口 ；另外，当第二片架5固定于第一片架4内时，该横板下方的锯齿状开口还与固定于第一片架4内的第二片架5的插槽一一对应，从而能够保证插入第二片架5上的插槽中的硅片也能插入横板下方的锯齿状开口(参见图3d)。优选地，第二片架5固定于第一片架4内时，第一片架4的插槽和第二片架5的插槽可以一一对应。
[0045]本发明实施例三中将横板朝向第一片架的一面设置为锯齿状开口，能够防止娃片前后滑动，能够进一步提高硅片在甩干过程中的安全性，同时不影响硅片在甩干过程中的
清洁度。
[0046]实施例四
[0047]图4a、4b分别示出了本发明实施例四的立体图和主视图，图4c是图4a中硅片甩干系统的A-A向剖视图，，其中，为了显示更加清楚，图4c中省去了硅片固定装置3，但是可以根据图4a和图4b得到该硅片固定装置3的确切结构和位置，本发明实施例四提供的硅片甩干系统与本发明实施例三提供的硅片甩干系统的结构类似，有所不同的是，本发明实施例四提供的硅片硅片甩干系统中的硅片固定装置3为两端固定在甩干桶I内壁上的横梁，且该横梁朝向第一片架4的一面具有锯齿状开口，当第一片架4固定于甩干支架2上时，该锯齿状开口与固定于甩干支架2上的第一片架4的插槽一一对应；当第二片架5固定于第一片架4内时，该锯齿状开口还与固定于第一片架4内的第二片架5的插槽一一对应。并且，第一片架4和第二片架5的两端均设置有三个螺纹孔6，这三个螺纹孔6呈正三角形结构设置，第二片架通过穿过螺纹孔6的螺栓7固定于第一片架内，此外，本发明实施例中的螺纹孔还可以为3个以上。
[0048]需要说明的是，本发明实施例中的甩干支架、第一片架、第二片架和固定装置优选采用本领域常用的对硅片的清洁度不会产生影响的材料制作而成。
[0049]以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本【技术领域】的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
【权利要求】
1.一种硅片甩干系统，所述系统包括甩干桶、甩干桶内用于固定第一片架的甩干支架，其中所述第一片架用于盛放具有第一尺寸的硅片，其特征在于，所述甩干桶内设置有硅片固定装置，所述硅片固定装置与所述具有第一尺寸的硅片在置于第一片架中时裸露出来的边缘接触于一点以将置于所述甩干桶内的所述第一片架中的所述具有第一尺寸的硅片固定住，防止所述具有第一尺寸的硅片在置于第一片架中时滑出。
2.根据权利要求1所述的硅片甩干系统，其特征在于，所述硅片固定装置与具有第二尺寸的硅片在置于第二片架中时裸露出来的边缘接触于一点以将所述第二片架中的所述具有第二尺寸的硅片固定住，其中所述第二片架设置在所述第一片架中用来盛放所述具有第一尺寸的硅片的空间内，且所述第二片架与所述第一片架固定，所述第二片架用于盛放具有第二尺寸的硅片，所述第二尺寸小于所述第一尺寸。
3.根据权利要求2所述的硅片甩干系统，其特征在于，所述第一片架的两端各设置有一个或者一个以上螺纹孔，所述第二片架的两端的相应位置对应设置有一个或者一个以上螺纹孔，所述第二片架通过螺栓固定于所述第一片架内。
4.根据权利要求3所述的硅片甩干系统，其特征在于，所述第一片架包括相对设置的两个第一支撑侧板和固定在两个所述第一支撑侧板间且相对的两个第一插片侧板，所述第二片架包括相对设置的两个第二支撑侧板和固定在两个所述第二支撑侧板间且相对的两个第二插片侧板； 所述第一片架设置螺纹孔的两端为所述第一片架的所述两个第一支撑侧板，所述第二片架设置螺纹孔的两端为所述第二片架的所述两个第二支撑侧板。
5.根据权利要求1或2所述的硅片甩干系统，其特征在于，所述硅片固定装置为固定在所述甩干桶内壁上的横板或者两端固定在所述甩干桶内壁上的横梁。
6.根据权利要求5所述的硅片甩干系统，其特征在于，所述横板或横梁朝向所述第一片架的一面具有锯齿状开口，所述第一片架固定于所述甩干支架上时，所述锯齿状开口与所述第一片架的插槽的位置一一对应。
7.根据权利要求6所述的硅片甩干系统，其特征在于，所述第二片架固定于所述第一片架内时，所述横板或横梁下方的锯齿状开口与所述第二片架的插槽的位置均一一对应。
【文档编号】F26B25/18GK103575075SQ201210260896
【公开日】2014年2月12日 申请日期:2012年7月25日 优先权日:2012年7月25日
【发明者】熊文娟, 王大海, 蒋浩杰 申请人:中国科学院微电子研究所