1.一种过热水蒸气处理装置,其特征在于,
所述过热水蒸气处理装置包括:
过热水蒸气生成部,对在内部形成有流道的、由导电性材料构成的流道形成体进行通电加热并对流过所述流道的水蒸气进行加热,由此生成过热水蒸气;以及
过热水蒸气收容部,在该过热水蒸气收容部配置有所述流道形成体的一部分或全部,由所述流道形成体生成的过热水蒸气导入该过热水蒸气收容部,
所述流道形成体由具有100℃以上的氧化开始温度的导电性材料形成,
所述过热水蒸气生成部能够以将所述流道形成体的温度切换为小于所述氧化开始温度的温度和所述氧化开始温度以上的温度的方式运转。
2.根据权利要求1所述的过热水蒸气处理装置,其特征在于,在所述过热水蒸气收容部中充满水蒸气或过热水蒸气之前,所述过热水蒸气生成部以使所述流道形成体的温度成为小于所述氧化开始温度的方式运转并将水蒸气或过热水蒸气导入所述过热水蒸气收容部,在所述过热水蒸气收容部中充满了水蒸气或过热水蒸气之后,所述过热水蒸气生成部以使所述流道形成体的温度成为所述氧化开始温度以上的方式运转并将过热水蒸气导入所述过热水蒸气收容部。
3.根据权利要求1所述的过热水蒸气处理装置,其特征在于,在从所述过热水蒸气收容部被过热水蒸气充满且所述流道形成体为所述氧化开始温度以上的状态到成为从所述过热水蒸气收容部的外部流入过热水蒸气以外的气体的状态之前,所述过热水蒸气生成部以使所述流道形成体的温度成为小于所述氧化开始温度的方式运转。
4.根据权利要求1所述的过热水蒸气处理装置,其特征在于,
所述过热水蒸气生成部的2N个作为所述流道形成体的导体管以成为彼此平行的方式配置,N是1以上的整数,
2N个所述导体管的一端部彼此电连接,在2N个所述导体管的另一端部上以与彼此相邻的另一端部连接的单相交流电源的极性不同的方式交替连接有单相交流电源的U相和V相。
5.根据权利要求1所述的过热水蒸气处理装置,其特征在于,
3N个作为所述流道形成体的导体管以成为彼此平行的方式配置,N是1以上的整数,
3N个所述导体管的一端部彼此电连接,在3N个所述导体管的另一端部上以与连续排列的三个另一端部连接的三相交流电源的极性分别不同的方式交替连接有三相交流电源的U相、V相和W相。
6.根据权利要求1所述的过热水蒸气处理装置,其特征在于,所述过热水蒸气收容部具有排出部,所述排出部将被供给的水蒸气或过热水蒸气排出。
7.根据权利要求1所述的过热水蒸气处理装置,其特征在于,在所述流道形成体或与所述流道形成体连接的流道连接部,所述过热水蒸气收容部外的部分的通电截面面积比所述过热水蒸气收容部内的部分的通电截面面积大,或者所述过热水蒸气收容部外的通电部分的电阻比所述过热水蒸气收容部内的通电部分的电阻小。
8.根据权利要求1所述的过热水蒸气处理装置,其特征在于,除了所述过热水蒸气收容部以外,另外设置有水蒸气导入部,所述流道形成体或与所述流道形成体连接的流道连接部贯穿所述水蒸气导入部,并且水蒸气导入所述水蒸气导入部。
9.根据权利要求8所述的过热水蒸气处理装置,在所述水蒸气导入部设置有过热水蒸气产生部。
10.根据权利要求1所述的过热水蒸气处理装置,其特征在于,所述流道形成体由纯铱或铱合金形成。
11.根据权利要求1所述的过热水蒸气处理装置,其特征在于,所述过热水蒸气处理装置还包括温度检测机构,所述温度检测机构根据所述流道形成体的电阻值,计算所述流道形成体的温度。
12.根据权利要求1所述的过热水蒸气处理装置,其特征在于,除了所述流道形成体以外,在所述过热水蒸气收容部内另外设置有金属体,所述金属体具有100℃以上的氧化开始温度,所述过热水蒸气处理装置还包括温度检测机构,所述温度检测机构根据所述金属体的电阻值,计算所述过热水蒸气收容部内的气氛温度。
13.根据权利要求12所述的过热水蒸气处理装置,所述金属体由纯铱或铱合金形成。
14.一种过热水蒸气处理装置,其特征在于,
所述过热水蒸气处理装置包括:
水蒸气收容部,收容水蒸气;
加热用构件,设置在所述水蒸气收容部内,由导电性材料构成;以及
感应加热部,设置在所述水蒸气收容部外,对所述加热用构件进行感应加热,
通过被所述感应加热部感应加热了的所述加热用构件,加热所述水蒸气收容部内的水蒸气,由此生成过热水蒸气,
所述加热用构件由具有100℃以上的氧化开始温度的导电性材料形成,
所述感应加热部能够以将所述加热用构件的温度切换为小于所述氧化开始温度的温度和所述氧化开始温度以上的温度的方式运转。