一种石墨膜烧结炉的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及烧结炉技术领域，具体涉及一种石墨膜烧结炉。
【背景技术】
[0002]随着半导体技术的快速发展，以及数码产品如手机、平板电脑等对便携性能提出越来越高的要求，这使得相关厂家迫切需要提高电子产品内部空间的利用率。但是，当提高电子产品内部空间利用率时，会使得电子产品内部元件变得紧凑，导致在运行中所产生的热量不易排出。没有及时排出的热量会迅速积累形成高温，高温会降低电子产品性能和可靠性，并会缩短电子产品的寿命。
[0003]因此，当前电子行业对作为热控系统核心部件的散热材料提出越来越高的要求，并迫切需要一种能够迅速将电子产品内部热量传递出去的轻便、高效的导热材料，以保障电子设备的正常运行。传统的散热材料有铜、银、铝等高导热的金属，但是随着电子元件发热量的提高，这类金属导热材料已无法满足电子产品散热的需求。
[0004]石墨膜由于其更高的导热系数、较低的密度及良好的材料稳定性，而逐渐在电子行业里得到越来越广泛的应用。人工制造的石墨膜通常由超高温的烧结炉通过一系列工艺制备而成，而所用到的烧结炉会配备有用于抽真空和排气的排气管，但是，现有技术中烧结炉的排气管一般设置简单，排气过程不能使烧结炉内的气流均匀流动，使得烧结出来的石墨膜质量不佳。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型的目的在于:针对现有技术的不足，提供一种石墨膜烧结炉，能够提高石墨膜烧结炉内的排气效率，并使得炉内的气流均匀流动，以保证烧结出来的石墨膜的质量。
[0006]为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案:
[0007]—种石墨膜烧结炉，包括炉体、过滤箱、第一排气管以及第二排气管，所述过滤箱设置于所述炉体腔内，所述第一排气管和所述第二排气管分别与所述过滤箱连通。该石墨膜烧结炉在传统只有第一排气管的烧结炉的基础上，另外设置第二排气管，提高石墨膜烧结炉内的排气效率，加快了石墨膜烧结炉内气体流动速度，使得石墨膜能够均匀碳化结膜，以保证制备的石墨膜的质量。
[0008]作为本实用新型一种石墨膜烧结炉的改进，所述第一排气管连接在所述过滤箱的下端，所述第二排气管连接在所述过滤箱的上端。避免炉内的气体只从所述过滤箱的下端或上端流入过滤箱，防止气体流动过于集中。连接于所述过滤箱下端的第一排气管和连接于所述过滤箱上端的第二排气管同时排气，不仅提高了排气的效率，还能使得炉内的气体流动更加均匀，以保证制备出来的石墨膜均匀统一，质量稳定。
[0009]作为本实用新型一种石墨膜烧结炉的改进，所述第一排气管包括第一排气前管和第一排气后管。通过两段管的结构代替原来的斜管，使得组装容易，灵活，并易于拆卸清洁。
[0010]作为本实用新型一种石墨膜烧结炉的改进，所述第二排气管包括第二排气前管和第二排气后管。通过两段管的结构代替原来的斜管，使得组装容易，灵活，并易于拆卸清洁。
[0011]作为本实用新型一种石墨膜烧结炉的改进，所述石墨膜烧结炉还包括抗污栗和滑阀栗。所述抗污栗和滑阀栗为抽真空和排气提供动力。
[0012]作为本实用新型一种石墨膜烧结炉的改进，所述第一排气管一端与所述过滤箱连通，另一端与所述抗污栗和滑阀栗连通。
[0013]作为本实用新型一种石墨膜烧结炉的改进，所述第二排气管一端与所述过滤箱连通，另一端与所述抗污栗和滑阀栗连通。
[0014]作为本实用新型一种石墨膜烧结炉的改进，所述石墨膜烧结炉还包括控制单元。
[0015]本实用新型的有益效果在于:提供一种石墨膜烧结炉，包括炉体、过滤箱、第一排气管以及第二排气管，所述过滤箱设置于所述炉体腔内，所述第一排气管和所述第二排气管分别与所述过滤箱连通。在传统只有第一排气管的烧结炉的基础上，另外设置第二排气管，提高石墨膜烧结炉内的排气效率，加快了石墨膜烧结炉内气体流动速度，使得石墨膜能够均匀碳化结膜，以保证制备的石墨膜均匀统一，质量稳定。而且所提供的石墨膜烧结炉结构简单，易于实现，效果明显。
【附图说明】
[0016]图1为本实用新型的结构示意图。
[0017]其中，1.炉体，2.过滤箱，3.第一排气管，31.第一排气前管，32.第一排气后管，4.第二排气管，41.第二排气前管，42.第二排气后管，5.抗污栗，6.滑阀栗，7.控制单元。
【具体实施方式】
[0018]下面将结合【具体实施方式】和说明书附图对本实用新型及其有益效果作进一步详细说明，但是，本实用新型的【具体实施方式】并不局限于此。
[0019]如图1所示，一种石墨膜烧结炉，包括炉体1、过滤箱2、第一排气管3、第二排气管4、抗污栗5、滑阀栗6以及控制单元7，过滤箱2设置于炉体I腔内，第一排气管3包括第一排气前管31和第一排气后管32，第二排气管4包括第二排气前管41和第二排气后管42，第一排气管3的第一排气前管31与过滤箱2的下端连通，第一排气管3的第一排气后管32与抗污栗5和滑阀栗6连通，第二排气管4的第二排气前管41与过滤箱2上端连通，第二排气管4的第二排气后管42与抗污栗5和滑阀栗6连通。
[0020]工作时，在控制单元7的控制下，抗污栗5和滑阀栗6为烧结炉的排气提供动力，使得连接于所述过滤箱2下端的第一排气管3和连接于所述过滤箱2上端的第二排气管4同时排气，不仅提高了排气的效率，还能使得炉内的气体流动更加均匀，以保证制备出来的石墨膜均匀统一，质量稳定。
[0021]根据上述说明书的揭示和教导，本实用新型所属领域的技术人员还能够对上述实施方式进行变更和修改。因此，本实用新型并不局限于上述的【具体实施方式】，凡是本领域技术人员在本实用新型的基础上所作出的任何显而易见的改进、替换或变型均属于本实用新型的保护范围。此外，尽管本说明书中使用了一些特定的术语，但这些术语只是为了方便说明，并不对本实用新型构成任何限制。
【主权项】
1.一种石墨膜烧结炉，其特征在于:包括炉体、过滤箱、第一排气管以及第二排气管，所述过滤箱设置于所述炉体腔内，所述第一排气管和所述第二排气管分别与所述过滤箱连通。2.根据权利要求1所述的一种石墨膜烧结炉，其特征在于:所述第一排气管连接在所述过滤箱的下端，所述第二排气管连接在所述过滤箱的上端。3.根据权利要求1所述的一种石墨膜烧结炉，其特征在于:所述第一排气管包括第一排气前管和第一排气后管。4.根据权利要求1所述的一种石墨膜烧结炉，其特征在于:所述第二排气管包括第二排气前管和第二排气后管。5.根据权利要求1所述的一种石墨膜烧结炉，其特征在于:还包括抗污栗和滑阀栗。6.根据权利要求5所述的一种石墨膜烧结炉，其特征在于:所述第一排气管的一端与所述过滤箱连通，另一端与所述抗污栗和滑阀栗连通。7.根据权利要求5所述的一种石墨膜烧结炉，其特征在于:所述第二排气管的一端与所述过滤箱连通，另一端与所述抗污栗和滑阀栗连通。8.根据权利要求1所述的一种石墨膜烧结炉，其特征在于:还包括控制单元。
【专利摘要】本实用新型涉及烧结炉技术领域，具体涉及一种石墨膜烧结炉，包括炉体、过滤箱、第一排气管以及第二排气管，所述过滤箱设置于所述炉体腔内，所述第一排气管和所述第二排气管分别与所述过滤箱连通。在实用新型提供的石墨膜烧结炉在传统只有第一排气管的烧结炉的基础上，另外设置第二排气管，提高石墨膜烧结炉内的排气效率，加快了石墨膜烧结炉内气体流动速度，使得石墨膜能够均匀碳化结膜，以保证制备的石墨膜均匀统一，质量稳定。而且该石墨膜烧结炉结构简单，易于实现，效果明显。
【IPC分类】F27B5/16
【公开号】CN204757651
【申请号】CN201520417972
【发明人】朱全红, 周招团
【申请人】东莞市鸿亿导热材料有限公司
【公开日】2015年11月11日
【申请日】2015年6月17日