本实用新型涉及一种太阳能硅片洗净机槽体管道装置，属于硅片洗净领域。
背景技术：
硅片经过切片、倒角、研磨、表面处理、抛光、外延等不同工序加工后，表面已经受到严重的沾污，清洗的目的就是为了去除硅片表面颗粒、金属离子以及有机物等污染。随着半导体工业的发展，对硅片表面洁净度的要求也越来越高，这在一定程度上促进了硅片清洗技术的发展，也促进了人们对硅片清洗工艺的研究。
硅片洗净机槽体的排水管道，作为一重要的部件，有左向和右向两种，在槽体损坏维修更换管道时，存在单一性，左向开口无法使用在右向开口的机台，影响工作效率，且制作同方向溢流口的槽体耗费成本较高。
技术实现要素：
根据以上现有技术的不足，本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种太阳能硅片洗净机槽体管道装置，其更换、维修方便，且不会妨碍设备正常运行，节省制作成本及改装费用，延长使用寿命，有效提高工作效率。
为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种太阳能硅片洗净机槽体管道装置，包括槽体、备用槽体和连接管道，其特征在于：所述连接管道的上端与洗净机槽体的排水管道连接，所述连接管道的下端与固定机台管道可拆式连接。
作为一种改进方案，所述连接管道的上端与洗净机槽体的排水管道通过法兰连接，所述连接管道的下端与固定机台管道通过法兰连接。
作为一种改进方案，所述连接管道采用不锈钢材质。
作为一种改进方案，所述备用槽体与槽体结构相同，且所述备用槽体的排水管道方向固定。
采用了上述技术方案后，本实用新型的有益效果是：
由于本实用新型一种太阳能硅片洗净机槽体管道装置，包括槽体、备用槽体和连接管道，连接管道的上端与洗净机槽体的排水管道连接，连接管道的下端与固定机台管道可拆式连接。工作时，当位于槽体左向位置的排水管道出现故障时，可将槽体前端阀门关闭，将连接管道连接到备用槽体上，左右向排水管道替换使用，节约了制作槽体或者改变溢流口的费用，更换维修方便，且不会妨碍设备正常运行。
由于连接管道的上端与洗净机槽体的排水管道通过法兰连接，连接管道的下端与固定机台管道通过法兰连接，保证了槽体无左右之分，在维修槽体或者更换槽体时可替换使用。
综上所述，本实用新型一种太阳能硅片洗净机槽体管道装置，其更换、维修方便，且不会妨碍设备正常运行，节省制作成本及改装费用，延长使用寿命，有效提高了工作效率，降低了生产成本。
附图说明
图1为本实用新型一种太阳能硅片洗净机槽体管道装置的结构示意图；
图中：1-连接管道、2-右向排水管道、3-固定机台管道、4-法兰、
5-螺栓、6-槽体、7-密封垫、8-备用槽体、9-左向排水管道。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，进一步阐述本实用新型。
如图1所示，本实用新型一种太阳能硅片洗净机槽体管道装置，包括槽体6、备用槽体8和连接管道1，连接管道1的上端与洗净机槽体6的右向排水管道2连接，连接管道1的下端与固定机台管道3可拆式连接。
如图1所示，在本实施例中，由于连接管道1为左右向可替换管道，如槽体6中右向排水管道2工作时出现故障，可通过关闭槽体6前端阀门，将右向排水管道2关闭进行维修检测，由于备用槽体8排水管道9为左向固定，调节连接管道1上下两端的法兰4和螺栓5，将连接管道1旋转180度，使连接管道1上端与备用槽体8的左向排水管道9进行连接，连接管道1下端与固定机台管道3进行连接，直接使不同向的槽体排水管道可替换使用。
工作时，如果槽体6与备用槽体8排水管道为同向，当槽体6出现故障时，可直接调节替换到备用槽体8上；如果槽体6与备用槽体8排水管道为反向，当槽体6出现故障时，将连接管道1旋转180度进行连接，从而有效节省了制作槽体或改变溢流口的费用，避免槽体在改装中造成尺寸及质量问题。
如图1所示，在本实施例中，由于连接管道1为不锈钢材质，且法兰4中间设有密封垫7，有效防止清洗过程中渗漏的问题，压力流时，洗涤水在管道中高速流动，可起到清洁管道的作用，避免管道淤积。
本实用新型一种太阳能硅片洗净机槽体管道装置，操作简单，其更换、维修方便，且不会妨碍设备正常运行，节省制作成本及改装费用，延长使用寿命，有效提高了工作效率，降低了生产成本。
上述实施例目的在于说明本实用新型的技术构思及特点，只起到示例性的作用，并不能以此作为本实用新型权利范围的限定。