一种半导体废料除胶方法及装置与流程

文档序号:22428900发布日期:2020-10-02 10:07阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体废料除胶方法,其特征在于,包括:

将表面带有胶体的半导体废料浸泡于质量浓度大于或等于70%的硫酸中;

利用所述质量浓度大于或等于70%的硫酸碳化所述半导体废料的表面的胶体,使得碳化后的胶体溶解在所述质量浓度大于或等于70%的硫酸中,获得除胶后的半导体废料。

2.根据权利要求1所述的半导体废料除胶方法,其特征在于,所述获得除胶后的半导体废料后,所述半导体废料除胶方法还包括:

从所述质量浓度大于或等于70%的硫酸中分离出所述半导体废料;

排放所述质量浓度大于或等于70%的硫酸。

3.根据权利要求1或2所述的半导体废料除胶方法,其特征在于,所述获得除胶后的半导体废料前,所述半导体废料除胶方法还包括:加热所述质量浓度大于或等于70%的硫酸。

4.根据权利要求3所述的半导体废料除胶方法,其特征在于,加热所述质量浓度大于或等于70%的硫酸的温度大于或等于50℃,且小于或等于所述质量浓度大于或等于70%的硫酸的沸点温度;和/或,

加热所述质量浓度大于或等于70%的硫酸的时间大于或等于20min。

5.一种半导体废料除胶装置,其特征在于,包括:

反应容器,用于容纳质量浓度大于或等于70%的硫酸,并用于在所述质量浓度大于或等于70%的硫酸中浸泡表面带有胶体的半导体废料;

检测组件,用于检测半导体废料的表面的胶体碳化程度,当所述半导体废料的表面的胶体碳化程度大于设定值时,所述检测组件还用于确定获得除胶后的半导体废料。

6.根据权利要求5所述的半导体废料除胶装置,其特征在于,所述半导体废料除胶装置还包括盖结构,所述盖结构可拆卸的设在所述反应容器上。

7.根据权利要求5所述的半导体废料除胶装置,其特征在于,所述半导体废料除胶装置还包括加热套,所述反应容器设在所述加热套内;所述加热套用于加热所述质量浓度大于或等于70%的硫酸。

8.根据权利要求7所述的半导体废料除胶装置,其特征在于,所述半导体废料除胶装置还包括壳体,所述加热套设在所述壳体内。

9.根据权利要求8所述的半导体废料除胶装置,其特征在于,所述半导体废料除胶装置还包括排放管件和排放阀,所述排放管件安装在所述反应容器上,所述排放管件穿过所述加热套从所述壳体伸出,所述排放阀设在所述排放管件上。

10.根据权利要求5所述的半导体废料除胶装置,其特征在于,所述检测组件包括:

温度传感器,用于检测所述质量浓度大于或等于70%的硫酸的温度;

计时器,用于测定表面带有胶体的半导体废料在所述质量浓度大于或等于70%的硫酸内的浸泡时间;

与所述温度传感器和所述计时器电连接的控制器,用于根据所述浸泡时间和所述质量浓度大于或等于70%的硫酸的温度确定半导体废料的表面的胶体碳化程度。


技术总结
本发明公开一种半导体废料除胶方法及装置,涉及光伏技术领域,以去除半导体废料的表面的胶体。该半导体废料除胶方法包括:将表面带有胶体的半导体废料浸泡于质量浓度大于或等于70%的硫酸中。利用质量浓度大于或等于70%的硫酸碳化半导体废料的表面的胶体,使得碳化后的胶体溶解在质量浓度大于或等于70%的硫酸中,获得除胶后的半导体废料。该半导体废料除胶装置包括反应容器和检测组件。该反应容器用于容纳用于碳化胶体的质量浓度大于或等于70%的硫酸。该检测组件用于检测半导体废料的表面的胶体碳化程度。本发明提供的半导体废料除胶方法及装置用于半导体废料除胶工艺。

技术研发人员:王雪峰;王霞;黄学宁
受保护的技术使用者:宁夏隆基硅材料有限公司
技术研发日:2020.05.20
技术公布日:2020.10.02
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