一种除尘装置的制造方法

文档序号:8776139阅读:240来源:国知局
一种除尘装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及表面清洁技术领域,特别是涉及一种除尘装置。
【背景技术】
[0002]多种产品制造流程过程中需要用到清洁设备对配件进行表面清理以达到相应的使用要求。其中,在生产太阳能电池板时,需要使用表面除尘设备。
[0003]近年来,对应用除尘设备对太阳能电池板芯片表面清理过程中的清洁效率和收集回收准确性等方面的要求越来越高。因此,提高表面清理的清洁效率和收集回收准确性成为设计目标。
[0004]现有技术中,非晶硅太阳能电池片在制作过程中,经常会出现CVD (ChemicalVapor Deposit1n,化学气相沉积)镀膜后的芯片半成品表面粘附娃粉的情况。芯片半成品受光面的硅粉会造成后续工艺的激光刻线不断,降低产品的功率。而芯片半成品CVD膜面的硅粉则会造成后续工艺的芯片膜面针孔,影响产品的质量和功率。因此,芯片半成品受光面和膜面表面的高效除尘对提高芯片的质量和功率十分重要。为避免芯片半成品的CVD膜面容易刮伤,目前常通过吹吸高压流体的设备进行芯片表面清理,如图1所示,清理设备的高压流体吹吸结构部件设置于芯片表面上侧,高压流体自吹出口被吹出,自吸入口被吸入,高压流体的流动过程中,芯片表面的尘埃等杂质被高压流体吹起并被带入吸入口。出于对芯片表面吹吸清理的目的,吹出口与吸入口之间设置有相应的角度以便高压流体能够流经芯片表面位置,虽吹出口和吸入口所连通的管道连接有增压设备,例如气泵等以图控制流体的流动轨迹,而流体在持续被从吹出口吹出后,其流动与吹出口的推动力、惯性和吸入口的吸入能力等因素相关,特别是高压流体裹挟着芯片表面的杂质流动时,随着吹出口的持续推动力和惯性的因素,高压流体和杂质尘埃在吸入口位置被吸入一部分,另一部分流体和杂质因惯性等因素错过吸入口而无序地流至其他位置。由于上述原因,吸入口和吹出口各自的朝向之间设置有一定角度,高压流体和杂质尘埃流至吸入口边侧的其他位置后,其再次落至芯片表面后依然影响着芯片质量,或需要再次除尘处理。
[0005]上述除尘设备使用过程中的清洁效率低和收集回收准确性差等设计缺陷是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。
【实用新型内容】
[0006]本实用新型的目的是提供一种除尘装置,通过本实用新型的应用将明显提高对太阳能电池板芯片表面的除尘清洁效率和收集回收准确性。
[0007]为解决上述技术问题,本实用新型提供一种用于对太阳能电池板芯片进行除尘清洁的除尘装置,包括:用于排出第一路流体的主吹气机构、用于排出压力小于所述第一路流体压力的第二路流体的副吹气机构、用于吸收所述第一路流体和所述第二路流体的抽气机构以及设于所述主吹气机构和所述抽气机构之间的用于集尘的密闭罩板,所述抽气机构设于所述主吹气机构和所述副吹气机构之间,所述副吹气机构无间隙地紧邻于所述抽气机构,所述主吹气机构和所述副吹气机构对向设置以实现所述第一路流体与所述第二路流体对向流动。
[0008]优选地,还包括安装于所述主吹气机构上的长条形整流盖板,所述整流盖板上设有多个用于流出所述第一路流体的通孔,多个所述通孔中,设置在靠近所述整流盖板中间区域的所述通孔的截面积之和分别小于靠近所述整流盖板两端区域的所述通孔的截面积之和以实现所述第一路流体流出后具有向中间流动的趋势。
[0009]优选地,所述抽气机构和所述副吹气机构为一体结构设置,一体结构的抽气机构和副吹气机构能够调整角度地与所述密闭罩板连接。
[0010]优选地,一体结构的所述抽气机构和所述副吹气机构与所述密闭罩板之间的调整角度范围在130度至170度之间。
[0011]优选地,所述主吹气机构能够调整角度地与所述密闭罩板连接。
[0012]优选地,所述主吹气机构与所述密闭罩板之间的调整角度范围在130度至170度之间。
[0013]在一个关于除尘装置的优选实施方式中,用于对太阳能电池板芯片进行除尘清洁的除尘装置中,包括主吹气机构、副吹气机构、抽气机构以及密闭罩板,主吹气机构吹出的第一路流体和副吹气机构吹出的第二路流体为对向流动,设置于主吹气机构和副吹气机构之间的抽气机构用于吸收第一路流体和第二路流体,同时,副吹气机构无间隙地紧邻于抽气机构,在主吹气机构和抽气机构之间设有用于集尘的密闭罩板,设置第二路流体的压力小于第一路流体。通过以上结构设置,当除尘装置安置于太阳能电池板芯片上方时,第一路流体自主吹气机构流出并在密闭罩板和太阳能电池板芯片之间流动,此过程将芯片上的尘埃的杂质吹气并带动流向抽气机构,由于第一路流体的压力大于第二路流体的压力,因此当第一路流体远离主吹气口并流动至副吹气口附近时,对向流动的第一路流体和第二路流体方达到了压力的均衡,此接近副吹气机构的压力均衡位置恰处于抽气机构的设置位置,持续被排出流动的第一路流体和第二路流体不断地在抽气口位置对向汇集,在此形成湍流,由于密闭罩板和太阳能电池板芯片的存在,汇集的流体将向抽气机构流动,同时流体中被裹挟的尘埃杂质一并被抽气机构吸收。
[0014]现有技术中的除尘装置中,由吹气机构吹出流体,流体裹挟着太阳能电池板芯片表明上的尘埃杂质流向抽气机构,而持续不断流动的流体和尘埃杂质在抽气机构位置被大部分地吸收抽走,但因流体和尘埃杂质的流动惯性的存在,一部分将流过抽气机构而散落至他处,这便降低了清洁效率,需要进而再次清理,收集回收准确性低。对比于现有技术,本实用新型的应用将明显提高对太阳能电池板芯片的表面清洁的效率和收集回收准确性。
【附图说明】
[0015]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0016]图1为本实用新型结构示意图;
[0017]图2为本实用新型中主吹气机构及整流盖板第一结构示意图;
[0018]图3为本实用新型中主吹气机构及整流盖板第二结构示意图;
[0019]图1至图3中:主吹气机构一1、整流盖板一2、通孔一21、密闭罩板一3、抽气机构一
4、副吹气机构一 5、芯片一 6。
【具体实施方式】
[0020]本实用新型的核心是提供一种除尘装置,通过本实用新型的应用将明显提高对太阳能电池板芯片表面的除尘清洁效率和收集回收准确性。
[0021 ] 下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
[0022]请参考图1至图3,以下各个具体实施例将分别依图1至图3
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