一种单晶炉用异形管道清理装置的制造方法
【技术领域】
[〇〇〇1]本实用新型属于单晶炉技术领域，特别涉及一种单晶炉用异形管道清理装置。
【背景技术】
[0002]单晶炉是一种在惰性气体（氩气为主）环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶直径在生长过程中可受到温度，提拉速度与转速，坩埚跟踪速度与转速，保护气体的流速等因素的影响。因此，单晶炉需保持通畅，现有技术是通过纯人工将管道分段拆卸后清理。现有的技术在清理完成后的安装过程中极易造成波纹管、密封圈等安装不到位，进而产生真空系统故障，增加了设备的检修时间。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的是开发一种单晶炉用异形管道清理装置，包括连接头、弹簧软轴、弹性刷头及硬质刷头，所述连接头一端设置成T形连接端，T形连接端设置有固定弹簧软轴的保护罩，弹簧软轴连接硬质刷头，硬质刷头上设置有弹性刷头。
[0004]进一步地，所述T形连接端连接弹簧软轴的一端设置有凸台；
[0005]进一步地，所述弹性刷头连接弹簧软轴处设置有软轴保护罩；
[0006]进一步地，所述弹性刷头与软轴保护罩为一体结构。
[0007]本实用新型无需对管道进行拆卸即可清理，其特殊之处是：使用可调速手电钻提供旋转动力，通过硬质弹簧软轴直接将刷头送至管道内部。特质的刷头分硬质和弹性两部分，硬质部分在起到定位和导向作用的同时，能有效清理硬质氧化物，而弹性部分能有效清扫波纹管的凹槽部分结构简单、使用方便；无需拆卸管道，极大的降低了清理耗时，清理效果良好。
[0008]说明书附图
[0009]图1是本实用新型的结构示意图。
【具体实施方式】
[0010]下面结合附图对本实用新型做详细说明。
[0011]参照图1，各个部件的名称为：
[0012]连接头1弹簧软轴2
[0013]弹性刷头3硬质刷头4
[0014]保护罩5软轴保护罩6
[0015]T形连接端7
[0016]—种单晶炉用异形管道清理装置，包括连接头1、弹簧软轴2、弹性刷头3及硬质刷头4,所述连接头1 一端设置成T形连接端7, T形连接端7设置有固定弹簧软轴2的保护罩5,弹簧软轴2连接硬质刷头4,硬质刷头4上设置有弹性刷头3。
[0017]进一步地，所述T形连接端7连接弹簧软轴2的一端设置有凸台；
[0018]进一步地，所述弹性刷头3连接弹簧软轴2处设置有软轴保护罩6 ;
[0019]进一步地，所述弹性刷头3与软轴保护罩6为一体结构。
[0020]使用时，连接头1在使用时与可调速手电钻连接在一起，由手电钻提供旋转动力，通过硬质弹簧软轴2将弹性刷头3送至需清理的管道内。硬质刷头4在起到定位和导向作用的同时，能有效清理硬质氧化物，而弹性刷头3能有效清扫波纹管的凹槽部分。清理速度快，效果好，且解决了拆装波纹管过程中极易造成密封圈损坏、安装不到位等问题，避免了真空系统故障隐患。
[0021]以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
【主权项】
1.一种单晶炉用异形管道清理装置，其特征在于:包括连接头(1)、弹簧软轴(2)、弹性刷头⑶及硬质刷头(4)，所述连接头⑴一端设置成T形连接端(7)，T形连接端(7)设置有固定弹簧软轴(2)的保护罩(5)，弹簧软轴(2)连接硬质刷头(4)，硬质刷头(4)上设置有弹性刷头(3)。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用异形管道清理装置，其特征在于:所述T形连接端(7)连接弹簧软轴(2)的一端设置有凸台。3.根据权利要求1所述的一种单晶炉用异形管道清理装置，其特征在于:所述弹性刷头(3)连接弹簧软轴(2)处设置有软轴保护罩(6)。4.根据权利要求1所述的一种单晶炉用异形管道清理装置，其特征在于:所述弹性刷头(3)与软轴保护罩(6)为一体结构。
【专利摘要】本实用新型的目的是开发一种单晶炉用异形管道清理装置，包括连接头、弹簧软轴、弹性刷头及硬质刷头，所述连接头一端设置成T形连接端，T形连接端设置有固定弹簧软轴保护罩，弹簧软轴连接硬质刷头，硬质刷头上设置有弹性刷头。本实用新型无需对管道进行拆卸即可清理，其特殊之处是:使用可调速手电钻提供旋转动力，通过硬质弹簧软轴直接将刷头送至管道内部。特质的刷头分硬质和弹性两部分，硬质部分在起到定位和导向作用的同时，能有效清理硬质氧化物，而弹性部分能有效清扫波纹管的凹槽部分结构简单、使用方便；无需拆卸管道，极大的降低了清理耗时，清理效果良好。
【IPC分类】B08B9/045
【公开号】CN205056578
【申请号】CN201520678185
【发明人】耿来波
【申请人】陕西西京电子科技有限公司
【公开日】2016年3月2日
【申请日】2015年9月2日