51、出水口 52、微波终洗槽6、终洗槽体61、微波发生器62、终洗进水管63、终洗废液排出管64、流量计65、阀门66。
【具体实施方式】
[0015]下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述:
[0016]实施例一:参见图1所示，晶片清洗除砂装置包括工作台1、网框2与厚度为I毫米的不锈钢格网3;工作台包括台面11以及四条支撑腿12;工作台的台面四周设有高度为2毫米的挡板13，工作台台面下方设置支撑板14;工作台上安装有微波初洗槽4、清水槽5以及微波终洗槽6;微波初洗槽的边缘高出工作台台面4毫米;清洗槽边缘高出工作台台面4毫米;微波终洗槽边缘与工作台台面齐平；网框2由常规方形网框本体21以及位于网框本体上部外侧的支撑杆22组成；网框本体位于初洗槽内，利用支撑杆担载于初洗槽边缘;微波初洗槽4包括初洗槽体41与设置于初洗槽体下方的微波发生器42;微波终洗槽6包括终洗槽体61与位于终洗槽体下方的微波发生器62;微波初洗槽的微波发生器以及微波终洗槽的微波发生器都放在支撑板14上;清水槽5上方设有清水喷淋装置51，为喷淋头，底部设有出水口 52，其穿过支撑板14;微波初洗槽4上部装有初洗进水管43，侧壁设有初洗废液排出管44;初洗进水管上设有流量计45;初洗废液排出管上设有阀门46;微波终洗槽6上部装有终洗进水管63，侧壁设有终洗废液排出管64;终洗进水管上设有流量计65;终洗废液排出管上设有阀门66；不锈钢格网3安装于微波终洗槽的终洗槽体内，位于终洗废液排出管64上方。
[0017]实施例二:一种晶片清洗除砂装置包括工作台、网框与厚度为1.2毫米的不锈钢格网；工作台包括台面以及六条支撑腿;工作台的台面四周设有高度为2毫米的挡板，工作台台面下方设置支撑板;工作台上安装有微波初洗槽、清水槽以及微波终洗槽;微波初洗槽的边缘高出工作台台面3毫米;清洗槽边缘高出工作台台面4毫米;微波终洗槽边缘与工作台台面齐平；网框由常规方形网框本体以及位于网框本体上部外侧的支撑杆组成；网框本体位于初洗槽内，利用支撑杆担载于初槽边缘;微波初洗槽包括初洗槽体与设置于初洗槽体下方的微波发生器组成;微波终洗槽包括终洗槽体与位于终洗槽体下方的微波发生器组成;微波初洗槽的微波发生器以及微波终洗槽的微波发生器都放在支撑板上;清水槽上方设有清水喷淋装置喷淋头，底部设有穿过支撑板的出水口；微波初洗槽上部装有初洗进水管，侧壁设有初洗废液排出管;初洗进水管上设有流量计;初洗废液排出管上设有阀门；微波终洗槽上部装有终洗进水管，侧壁设有终洗废液排出管;终洗进水管上设有流量计;终洗废液排出管上设有阀门；不锈钢格网安装于微波终洗槽的终洗槽体内，位于终洗废液排出管上方。
[0018]实际生产时，先在微波初洗槽以及微波终洗槽内配制清洗液;然后将表层带砂的晶片放入网框中；然后将网框利用支撑杆担载于初洗槽边缘，晶片位于微波初洗槽内；开启微波初洗槽的微波发生器，砂开始被震除；一定时间后，取出网框置入清水槽中，网框利用支撑杆担载于清水槽边缘，晶片位于清水槽内；开启清水喷淋头，清水冲洗晶片后由清水槽底部的出水口流出；一段时间后，拿起网框，取出晶片置于不锈钢格网上，开启微波终洗槽的微波发生器，砂开始被完全震除；一定时间后，开启终洗废液排出管的阀门，排出清洗废液，完成晶片除砂。
【主权项】
1.一种晶片清洗除砂装置，其特征在于:所述晶片清洗除砂装置包括工作台、网框与不锈钢格网；所述工作台包括台面以及支撑腿;所述工作台的台面四周设有高度为2?3毫米的挡板;所述工作台上安装有微波初洗槽、清水槽以及微波终洗槽;所述清水槽位于微波初洗槽与微波终洗槽之间；所述微波初洗槽的边缘高出工作台台面3?4毫米;所述清洗槽边缘高出工作台台面3?4毫米;所述微波终洗槽边缘与工作台台面齐平;所述网框由网框本体以及位于网框本体上部外侧的支撑杆组成;所述网框本体位于初洗槽内，利用支撑杆担载于初洗槽边缘;所述微波初洗槽包括初洗槽体与设置于初洗槽体下方的微波发生器;所述微波终洗槽包括终洗槽体与位于终洗槽体下方的微波发生器;所述清水槽上方设有清水喷淋装置，底部设有出水口；所述微波初洗槽上部装有初洗进水管，侧壁设有初洗废液排出管;所述初洗进水管上设有流量计;所述初洗废液排出管上设有阀门；所述微波终洗槽上部装有终洗进水管，侧壁设有终洗废液排出管;所述终洗进水管上设有流量计;所述终洗废液排出管上设有阀门；所述不锈钢格网安装于微波终洗槽的终洗槽体内，位于终洗废液排出管上方。2.根据权利要求1所述晶片清洗除砂装置，其特征在于:所述微波初洗槽的微波发生器与微波终洗槽的微波发生器底面位于同一水平面。3.根据权利要求1所述晶片清洗除砂装置，其特征在于:所述工作台台面下方设置支撑板;所述支撑板与微波初洗槽的微波发生器以及微波终洗槽的微波发生器都接触。4.根据权利要求1所述晶片清洗除砂装置，其特征在于:所述支撑腿为四条。5.根据权利要求1所述晶片清洗除砂装置，其特征在于:所述不锈钢格网的厚度为I?.1.2毫米。
【专利摘要】本实用新型公开了一种晶片清洗除砂装置，包括工作台、网框与不锈钢格网；工作台的台面四周设有挡板，下方设置支撑板；工作台上安装有微波初洗槽、清水槽以及微波终洗槽；微波初洗槽、清洗槽的边缘高出工作台台面；微波终洗槽边缘与工作台台面齐平；微波洗槽都包括槽体与设置于槽体下方的微波发生器组成；槽上方装有设有流量计的进水管，侧壁设有废液排出管；清水槽上方设有清水喷淋装置喷淋头，底部设有出水口；不锈钢格网安装于微波终洗槽的终洗槽体内。本实用新型在晶片完成研磨后，依次经过高浓度微波初洗、清水喷淋以及低浓度微波洁净过程，通过三步骤紧密配合，清洗质量高，而且装置结构合理，是一种清洗效果好、操作安全的装置。
【IPC分类】B08B3/08, B08B3/02, B08B3/10
【公开号】CN205308859
【申请号】CN201620011538
【发明人】徐亮
【申请人】苏州普锐晶科技有限公司
【公开日】2016年6月15日
【申请日】2016年1月5日