专利名称：气液分离装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及液晶显示装置的制造设备，特别涉及一种气液分离装置。
背景技术：
在液晶显示装置的制作过程中，需要在玻璃基板上涂布光刻胶。通常采用旋转涂 胶(Spin-coater)方法进行涂覆，通过高速旋转可以使得预涂覆在玻璃基板上的光刻胶达 到所需要的均一度。图1为现有技术光刻胶涂覆设备的结构示意图，如图1所示，该涂覆设备中的旋转 单元11高速旋转以使得涂覆的光刻胶达到需要的平整度，在旋转过程中难以避免会甩出 部分光刻胶，该部分甩出的光刻胶会附着在涂覆设备的外壁上并粘在上边，需要用能够稀 释光刻胶的清洗液不断地对外壁进行清洗。清洗后形成的废液将由第一出口 12和第二出 口 13的位置流出。由于清洗液是挥发性很强的化学药剂，为避免其挥发后污染空气，需要 将上述清洗后形成的混着光刻胶的废液及其挥发出来的气体分开来分别回收，于是设计了 气液分离装置设置在光刻胶涂覆设备的下方。图2为现有技术气液分离装置的结构示意图，如图2所示，该气液分离装置14设 置在光刻胶涂覆设备的下方，上述清洗后形成的废液可以经由第一出口 12和第二出口 13 的位置流出后，被收集进该气液分离装置14中。该气液分离装置14包括装置体及腔室，废 液由废液入口 15进入该气液分离装置14后，其挥发的废气通过气体出口 16被一高负压的 鼓风机(Blower)抽走而进入废气收集管道，而液体部分则通过液体出口 17进入到排液管 道中。但是，上述现有技术的气液分离装置存在以下技术缺陷由于用于抽取废气的是 一高负压的鼓风机，可能会出现废液也被吸入到废气收集管道中的情况；由于清洗液会马 上挥发掉，废液中的光刻胶就会附着在废气收集管道的内壁上，长时间累积下来就会把废 气收集管道和鼓风机的扇叶堵塞，使其不能顺利的回收废气，并对设备造成严重损害。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种气液分离装置，以解决废液可能被吸入废气收集管 道中而造成管道堵塞的情况，实现尽量减少废液的吸入量。本实用新型提供一种气液分离装置，包括装置体及其内的腔室，所述装置体上设 置有废液入口、气体出口和液体出口 ；所述腔室内设置有用于阻挡废液进入所述气体出口 的多个挡片，所述挡片固定在所述装置体上。如上所述的气液分离装置，所述挡片的数量为至少四个。如上所述的气液分离装置，所述多个挡片倾斜设置，与垂直线之间具有大于0度 小于90度的夹角。如上所述的气液分离装置，所述多个挡片与垂直线之间的夹角各不相同。如上所述的气液分离装置，所述多个挡片间隔交错设置。[0012]如上所述的气液分离装置，所述多个挡片包括用于使得废液直接落入所述装置体 底部的第一挡片以及用于阻挡所述废液向所述气体出口处运动的第二挡片；所述第一挡片 设置在所述废液入口的侧边，所述第二挡片设置在所述装置体的顶面和侧面上。如上所述的气液分离装置，所述气体出口的出口方向为水平方向。如上所述的气液分离装置，所述装置体的底面为倾斜底面，与水平面之间具有夹如上所述的气液分离装置，所述夹角为20度 90度。本实用新型的气液分离装置，通过在装置的腔室内设置角度不同的挡板，解决了 废液可能被吸入废气收集管道中而造成管道堵塞的问题，有效防止了废液进入废气收集管 道，方便了设备的维护。
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例 或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是 本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提 下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为现有技术光刻胶涂覆设备的结构示意图；图2为现有技术气液分离装置的结构示意图；图3为本实用新型气液分离装置实施例的结构示意图。附图标记说明11-旋转单元；12-第一出口； 13-第二出口；14-气液分离装置； 15-废液入口 ； 16-气体出口 ；17-液体出口 ；18-腔室；19-挡片。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新 型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描 述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施 例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属 于本实用新型保护的范围。本实用新型的主要技术方案为，在气液分离装置的腔室内设置有多个挡片，该挡 片固定在装置体上，可以阻挡废液被鼓风机吸入气体出口内。下面通过附图和具体实施例，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。图3为本实用新型气液分离装置实施例的结构示意图，如图3所示，该气液分离装 置包括装置体及其内的腔室18，该装置体上设置有废液入口 15、气体出口 16和液体出口 17。其中，清洗光刻胶形成的废液可以由废液入口 15进入腔室18内，该废液中的清洗 液挥发出的废气由气体出口 16进入废气收集管道，该废液中的包含光刻胶的液体由液体 出口 17进入排液管道中，从而实现气体和液体的分离回收。[0030]本实施例中，在腔室18内设置了多个挡片19，该挡片可以固定在装置体上，例如 可以固定在装置体的侧面和顶面上。该多个挡片19的设置可以在鼓风机吸入气体时起到 对于废液的阻挡作用，防止废液随废气一同被鼓风机吸入气体出口 16中。为更好地阻挡废 液被吸入气体出口 16，本实施例中的挡片19的数量例如可以至少设置4个，图3中的箭头 示出了其可以在废液被吸入的线路上进行设置，且设置的角度和位置应利于阻挡废液的吸 入行进。具体的，上述的多个挡片19可以倾斜设置，例如参见图3所示，与垂直线之间具有 一定夹角，该夹角可以为大于0度小于90度的夹角。本实施例通过在沿废液被吸入气体出 口 16的线路上设置至少四个挡片19，且该多个挡片19设置为大于0度小于90度之间的夹 角，可以实现对废液吸入的有效阻挡作用。此外，该多个挡片19可以相互设置的角度互不相同，相互间隔交错设置。例如，本 实施例可以设置四个挡片19，其中包括设置在废液入口 15的侧边的第一挡片，其可以垂直 设置，其作用是使得由废液入口 15流入的废液可以直接落至该气液分离装置的底部。另外 三个挡片19可以分别设置于该装置体的侧面和顶面上，且间隔交错设置，使得废液即使被 鼓风机的吸力带动向上运动，也会不断地被多个挡片19阻挡，最终不会进入气体出口 16。进一步的，本实施例中的气体出口 16的出口方向可以设置为水平方向，通过设置 为水平方向，一方面可以扩大顶面而对废液的向上运动施加阻挡力，另一方面也可以使得 气体出口 16的进入口的位置方面设置挡片19，更加有效地阻挡废液运动。本实施例中，该气液分离装置的底面可以设置为倾斜底面，其与水平面之间具有 一定夹角a。该倾斜底面的设置方式可以使得废液由废液入口 15后，更加迅速的流入至液 体出口 17的位置，进一步减小废液被鼓风机吸入的可能。例如，装置体底面的倾斜角度a 可以设置为20度 90度，该角度可以使得气液分离的效果较好。本实施例的气液分离装置，通过在装置的腔室内设置角度不同的挡板，解决了废 液可能被吸入废气收集管道中而造成管道堵塞的问题，有效防止了废液进入废气收集管 道，方便了设备的维护；并且该装置结构简单，加工方便。最后应说明的是以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制； 尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解: 其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等 同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术 方案的精神和范围。
权利要求1.一种气液分离装置，包括装置体及其内的腔室，所述装置体上设置有废液入口、气体 出口和液体出口 ；其特征在于，所述腔室内设置有用于阻挡废液进入所述气体出口的多个 挡片，所述挡片固定在所述装置体上。
2.根据权利要求1所述的气液分离装置，其特征在于，所述挡片的数量为至少四个。
3.根据权利要求1所述的气液分离装置，其特征在于，所述多个挡片倾斜设置，与垂直 线之间具有大于0度小于90度的夹角。
4.根据权利要求3所述的气液分离装置，其特征在于，所述多个挡片与垂直线之间的 夹角各不相同。
5.根据权利要求3所述的气液分离装置，其特征在于，所述多个挡片间隔交错设置。
6.根据权利要求3所述的气液分离装置，其特征在于，所述多个挡片包括用于使得废 液直接落入所述装置体底部的第一挡片以及用于阻挡所述废液向所述气体出口处运动的 第二挡片；所述第一挡片设置在所述废液入口的侧边，所述第二挡片设置在所述装置体的顶面和 侧面上。
7.根据权利要求1所述的气液分离装置，其特征在于，所述气体出口的出口方向为水 平方向。
8.根据权利要求1 7任一所述的气液分离装置，其特征在于，所述装置体的底面为倾 斜底面，与水平面之间具有夹角。
9.根据权利要求8所述的气液分离装置，其特征在于，所述夹角为20度 90度。
专利摘要本实用新型提供一种气液分离装置，包括装置体及其内的腔室，所述装置体上设置有废液入口、气体出口和液体出口；所述腔室内设置有用于阻挡废液进入所述气体出口的多个挡片，所述挡片固定在所述装置体上。本实用新型的气液分离装置，通过在装置的腔室内设置角度不同的挡板，解决了废液可能被吸入废气收集管道中而造成管道堵塞的问题，有效防止了废液进入废气收集管道，方便了设备的维护。
文档编号B01D45/08GK201823404SQ20102056796
公开日2011年5月11日 申请日期2010年10月12日 优先权日2010年10月12日
发明者宋瑞涛, 王硕 申请人:北京京东方光电科技有限公司