一种小型干式含氟废气过滤器的制作方法

本发明属于干法脱氟技术领域，其涉及到氟气的吸收、进出气接头的防尘防颗粒方法。尤其涉及一种小型干式含氟废气过滤器。

背景技术：
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准分子激光器属于气体激光器，其工作气体的主要成分包括氩气、氪气、氟气及其缓冲气体氖气或者氦气。氟气在工作气体中的体积含量在0.1~0.4%之间。当配好的气体经过一段工作时间后，激光能量出现下降而不能满足出光能量要求时，需要更换工作气体而形成废气。该废气中氟气体积含量小于0.4%。该废气直径排放到大气中不仅危害环境，而且直接威胁人的身体健康，因此需要过滤后经过真空泵排放到大气。限于准分子激光器体积的限制，废气中的氟气含量的微少，使用干式过滤器是最佳的选择。

技术实现要素：
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本发明目的就是为了弥补已有技术的缺陷，提供一种小型干式含氟废气过滤器，其主要功能是吸收废气中的氟气，出于对真空泵和激光器的保护，进出气体需要进行固体颗粒过滤。

本发明是通过以下技术方案实现的：

一种小型干式含氟废气过滤器，包括有筒体，其特征在于：所述筒体内填充有活性炭和氟气吸收剂，且活性炭位于筒体中部，氟气吸收剂位于活性炭的两侧，所述筒体两端部分别通过其外周的端盖安装架固定安装有筒体端盖，所述筒体端盖的中部分别设有通孔，且通孔中分别安装有进出气管接头，所述筒体端盖的内端面上分别设有凹腔，所述凹腔中安装有不锈钢过滤网片，且不锈钢过滤网片通过环形网片压板压装，所述筒体端盖与两侧的氟气吸收剂之间从内到外依次压装有不锈钢丝团或铜丝团、冲孔网板、O型圈。

所述的筒体端盖和端盖安装架通过螺钉连接，拧紧螺钉后筒体端盖和筒体通过O型圈密封，或筒体端盖直接连接在端面开有螺纹孔厚壁筒体，或筒体端盖和筒体通过焊接连接。

所述的进出气管接头和筒体端盖连接方式为标准螺钉压紧连接或内外螺纹方式连接或焊接，且采用螺钉压紧连接或内外螺纹方式连接时通过密封圈来密封。

所述的不锈钢过滤网片网孔小于氟气吸收剂粉尘颗粒直径，所述不锈钢过滤网片通过网片压板和螺钉固定在筒体端盖上。

所述的进出气管接头（1）可通过卡套螺母与其他管路连接。

所述的O型密封圈（2）用于进出气管接头（1）和筒体端盖（3）的密封。当进出气管接头和筒体端盖使用焊接连接时可以省去该O型密封圈。

所述的端盖安装架（4）由两个半圆环通过螺钉卡接在筒体（5）。用于筒体端盖（3）与筒体（5）压紧连接。当筒体端盖与筒体采用焊接时或采用厚壁筒体开螺纹孔时可省去端盖安装架（4）。

所述的O型密封圈（10）用于筒体端盖（3）与筒体（5）压紧连接时的密封。当筒体端盖与筒体采用焊接时，可省去该O型密封圈。

所述的不锈钢过滤网片（8）用于过滤固体小颗粒，可采用单层或多层过滤。

所述的网片压板（9）用于固定不锈钢过滤网片（8）在筒体端盖（3）上。

所述的冲孔网板（12）和不锈钢丝团或铜丝团（13）用于限制吸收剂颗粒位置。

所述的O型圈（11）用于压紧氟气吸收剂（6）和活性炭（7），使之充满整个筒体（5）截面。

所述的氟气吸收剂（6）和活性炭（7）用吸收废气中的氟气。氟气吸收剂的主要成分包括碱金属的氢氧化物和无机粘合剂。氟气吸收剂为直径2~5mm的柱状颗粒。该反应生成物为金属的氟化物。当氟气含量较高时，进气口处吸收剂不能完全吸收氟气，由活性炭吸收废气中氟气。当活性炭不能完全吸收氟气，由出气口处吸收剂吸收废气中氟气。

所述的筒体（5）用于存储氟气吸收剂（6）和活性炭（7）等，为保证氟气吸收完全，筒体长度不小于200mm。当长度过短时，可以采用多个过滤器串联来吸收废气中氟气。

本发明的优点是：

本发明主要应用于准分子激光器中废气除氟，经过除氟后废气直接排放到大气，其结构简单，设计合理，操作方便，成本低，保护环境，经济效益明显。

附图说明：

图1为本发明的结构示意图。

图2为进出气接头盒与筒体端盖螺钉压紧结构示意图。

图3为进出气接头盒与筒体端盖焊接结构示意图。

图4为进出气接头盒与筒体端盖螺纹连接结构示意图。

图5为带安装架的筒体与筒体端盖螺栓连接结构示意图。

图6为筒体与筒体端盖螺钉连接结构示意图。

图7为筒体与筒体端盖焊接连接结构示意图。

具体实施方式：

参见附图。

其中，1为进出气管接头、2为O型密封圈、3为筒体端盖、4为端盖安装架、5为筒体、6为氟气吸收剂、7为活性炭、8为不锈钢过滤网片、9为网片压板、10为O型密封圈、11为O型圈、12为冲孔网板、13为不锈钢丝团或铜丝团。

一种小型干式含氟废气过滤器，包括有筒体5，筒体5内填充有活性炭7和氟气吸收剂6，且活性炭7位于筒体5中部，氟气吸收剂6位于活性炭7的两侧，筒体5两端部分别通过其外周的端盖安装架4固定安装有筒体端盖3，筒体端盖3的中部分别设有通孔，且通孔中分别安装有进出气管接头1，筒体端盖3的内端面上分别设有凹腔，所述凹腔中安装有不锈钢过滤网片8，且不锈钢过滤网片8通过环形网片压板9压装，筒体端盖3与两侧的氟气吸收剂6之间从内到外依次压装有不锈钢丝团或铜丝团13、冲孔网板12、O型圈11。

所述的筒体端盖3和端盖安装架4通过螺钉连接，拧紧螺钉后筒体端盖3和筒体5通过O型圈密封10，或筒体端盖直接连接在端面开有螺纹孔厚壁筒体，或筒体端盖和筒体通过焊接连接。所述的进出气管接头1和筒体5端盖连接方式为标准螺钉压紧连接或内外螺纹方式连接或焊接，且采用螺钉压紧连接或内外螺纹方式连接时通过密封圈来密封。所述的不锈钢过滤网片8网孔小于氟气吸收剂粉尘颗粒直径，所述不锈钢过滤网片8通过网片压板和螺钉固定在筒体5端盖上。

进出气两端到中心采用对称结构。整个过滤器的安装过程如下：

①将两端的不锈钢过滤网片8通过网片压板9固定在筒体端盖3，将两端的端盖安装架4安装在筒体5；

②在筒体5其中一端内依次安装不锈钢丝团或铜丝团13、冲孔网板12 、O型密封圈11；

③将筒体端盖3和O型圈10固定在端盖安装架4上，这样筒体端盖3和筒体5形成密封；

④将筒体5另外一端口朝上，依次倒入氟气吸收剂6、活性炭7、氟气吸收剂6；

⑤接着安装不锈钢丝团或铜丝团13、冲孔网板12 、O型密封圈11；

⑥最后将筒体端盖3和O型圈10固定在端盖安装架4上。

至此，整个过滤器安装完成。

综上所述，本发明提供一种过滤器，两端进出气管接头预留光管，该光管可以通过卡套螺母与其他管路连接。两端进出气管接头使用细密的不锈钢过滤网片过滤氟气吸收剂和活性炭粉尘固体颗粒和粉尘。过滤器内部布置氟气吸收剂、活性炭、氟气吸收剂，这样在任意一端进气，废气将依次被氟气吸收剂、活性炭、氟气吸收剂吸收。氟气吸收剂的主要成分包括碱金属的氢氧化物。氢氧化物通过成型粘合剂做成直径2~5mm的柱状固体物，形成氟气吸收剂。

以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。