坩埚喷涂设备的制作方法

文档序号:15502409发布日期:2018-09-21 22:45阅读:566来源:国知局

本实用新型涉及硅锭生产技术领域,具体涉及一种坩埚喷涂设备。



背景技术:

在使用坩埚铸锭之前,需将坩埚放置在坩埚喷涂设备上,对坩埚进行加热并在坩埚内表面喷涂氮化硅涂层,用以隔离坩埚与硅液,便于成品硅锭脱模,坩埚喷涂设备的尺寸与坩埚的尺寸相对应。随着太阳能多晶铸锭技术不断创新发展,硅锭尺寸在不断改变,坩埚的尺寸也随之改变,现有的坩埚喷涂设备尺寸不能调整,无法满足生产需要,需采购新的设备,扩大设备存放空间,增加了成本;坩埚喷涂设备的侧板通过合页与底板连接,侧板只具有张合功能,操作过程中侧板易撞击坩埚,造成坩埚隐裂。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种移动侧板的尺寸可改变,并且移动侧板能够多方向移动的坩埚喷涂设备。

本实用新型由如下技术方案实施:坩埚喷涂设备,其包括固定机架,所述固定机架上部通过旋转支架倾斜设有底座,所述底座顶面设有坩埚加热台,所述坩埚加热台包括底板、固定侧板和三块移动侧板,所述底板、所述固定侧板以及三块所述移动侧板构成顶端开口的矩形箱体;所述底板可拆卸地设置在所述底座上,所述底板较低的一侧固定设有所述固定侧板,三个所述移动侧板分别通过至少一个液压缸固定在所述底座上,所述液压缸的伸缩端与连接杆的一端转动连接,所述液压缸的伸缩端与所述连接杆之间设有限位杆,所述连接杆的另一端与所述移动侧板的外壁固定连接,所述底板、所述固定侧板和所述移动侧板的内壁分别设有第一加热板。

进一步的,所述固定侧板的两侧分别活动设有第一加长板,与所述固定侧板相邻的两个所述移动侧板上远离所述固定侧板的一侧分别设有第二加长板,与所述固定侧板相对的所述移动侧板的两侧分别设有第三加长板,所述第一加长板和所述第三加长板的内壁分别设有第二加热板,所述第二加长板的内壁设有第三加热板。

进一步的,所述液压缸的伸缩端设有轴承,所述连接杆的一端设有转轴,所述转轴转动插接在所述轴承内。

进一步的,所述固定机架的轴线与所述底座的底面之间的夹角α为10°-30°。

本实用新型的优点:1、坩埚加热台的底座上设有液压缸,液压缸的伸缩端通过连接杆与移动侧板连接,移动侧板可以移动和转动,方便移动坩埚;2、液压缸伸缩端的移动距离可控,限位杆可以限制连接杆的转动角度,避免了移动侧板在移动过程中碰撞到坩埚,保证了坩埚的质量;3、移动侧板可连接加长板,使坩埚加热台的尺寸适应不同规格的坩埚,无需采购不同规格的坩埚加热台,降低了成本,同时也节省了坩埚加热台的存放空间。

附图说明:

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为实施例1的结构示意图;

图2为本实用新型的液压缸、连接杆和限位杆的位置关系示意图;

图3为实施例2的结构示意图。

固定机架1,底座2,底板3,固定侧板4,移动侧板5,液压缸6,连接杆7,限位杆8,第一加热板9,第一加长板10,第二加长板11,第三加长板12,第二加热板13,第三加热板14,轴承15,转轴16,侧板搭扣17,加长板搭扣18,旋转支架19,固定搭扣20。

具体实施方式:

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

实施例1:

如图1所示,坩埚喷涂设备,其包括固定机架1,固定机架1上部通过旋转支架19倾斜设有底座2,旋转支架19与固定机架1之间转动连接,旋转支架19与底座2之间固定连接,本实施例中固定机架1的轴线与底座2的底面之间的夹角α为30°,便于对坩埚加热台内的坩埚进行喷涂;底座2顶面设有坩埚加热台,坩埚加热台包括底板3、固定侧板4和三块移动侧板5,底板3、固定侧板4以及三块移动侧板5构成顶端开口的矩形箱体,底板3、固定侧板4和移动侧板5的内壁分别设有第一加热板9,固定侧板4和相邻的移动侧板5之间、移动侧板5和相邻的移动侧板5之间通过侧板搭扣17连接;底板3可拆卸地设置在底座2上,本实施例中,底座2和底板3之间通过螺栓连接,底板3较低的一侧固定设有固定侧板4,三个移动侧板5分别通过至少一个液压缸6固定在底座2上。

本实施例中底座2上与三个移动侧板5相对应的三个侧面上分别设有两个液压缸6,如图2所示,液压缸6的伸缩端设有轴承15,连接杆7的一端设有转轴16,转轴16转动插接在轴承15内;液压缸6的伸缩端与连接杆7之间设有限位杆8,限位杆8的一端与液压缸6的伸缩端铰接,限位杆8的另一端设有固定环,连接杆7上设有固定块,固定环套设在固定块上;连接杆7的另一端与移动侧板5的外壁固定连接。

工作原理:

喷涂G5坩埚时,打开移动侧板5和固定侧板4上的侧板搭扣17,启动液压缸6,使液压缸6的伸缩端伸长,移动侧板5远离底板3,液压缸6的伸缩端全部伸出后,关闭液压缸6;使限位杆8上的固定环与连接杆7上的固定块脱离,旋转连接杆7,移动侧板5转动至底板3所在平面的下方;将G5坩埚放置于底板3上,固定侧板4防止了G5坩埚向下滑动,旋转连接杆7,移动侧板5转动至底板3所在平面的上方,并与底板3垂直,将固定环套在固定块上,限位杆8限制了连接杆7的转动角度,避免了移动侧板5在移动过程中碰撞到坩埚,保证了坩埚的质量;启动液压缸6,使液压缸6的伸缩端缩回,移动侧板5向底板3靠近,移动侧板5与底板3接触时,关闭液压缸6;将移动侧板5和固定侧板4上的侧板搭扣17扣合,开始喷涂程序。

喷涂程序结束后,打开移动侧板5和固定侧板4上的侧板搭扣17,启动液压缸6,使液压缸6的伸缩端伸长,移动侧板5远离底板3,液压缸6的伸缩端全部伸出后,关闭液压缸6;使固定环与固定块脱离,旋转连接杆7,移动侧板5转动至底板3所在平面的下方,将G5坩埚从坩埚加热台中取出,液压缸6与连接配合,实现了移动侧板5的移动和转动,方便了对G5坩埚的移动。

实施例2:

如图3所示,坩埚喷涂设备,其包括固定机架1,固定机架1上部通过旋转支架19倾斜设有底座2,旋转支架19与固定机架1之间转动连接,旋转支架19与底座2之间固定连接,本实施例中固定机架1的轴线与底座2的底面之间的夹角α为25°,便于对坩埚加热台内的坩埚进行喷涂;底座2顶面设有坩埚加热台,坩埚加热台包括底板3、固定侧板4和三块移动侧板5,底板3可拆卸地设置在底座2上,本实施例中,底座2和底板3之间通过螺栓连接,底板3较低的一侧设有固定侧板4,固定侧板4的两侧分别通过加长板搭扣18连接有第一加长板10;三个移动侧板5分别通过至少一个液压缸6固定在底座2上,与固定侧板4相邻的两个移动侧板5上远离固定侧板4的一侧分别通过加长板搭扣18连接有第二加长板11,与固定侧板4相对设置的移动侧板5的两侧分别通过加长板搭扣18连接有第三加长板12;底板3、固定侧板4和移动侧板5的内壁分别设有第一加热板9,第一加长板10和第三加长板12的内壁分别设有第二加热板13,第二加长板11的内壁设有第三加热板14;第一加长板10和相邻的移动侧板5之间、第二加长板11和第三加长板12之间通过固定搭扣20连接。

本实施例中底座2上与三个移动侧板5相对应的三个侧面上分别设有两个液压缸6,如图2所示,液压缸6的伸缩端设有轴承15,连接杆7的一端设有转轴16,转轴16转动插接在轴承15内;液压缸6的伸缩端与连接杆7之间设有限位杆8,限位杆8的一端与液压缸6的伸缩端铰接,限位杆8的另一端设有固定环,连接杆7上设有固定块,固定环套设在固定块上;连接杆7的另一端与移动侧板5的外壁固定连接。

工作原理:

将喷涂坩埚的型号从G5坩埚改为G6坩埚时,需要改变坩埚加热台的尺寸。首先将底板3换成与G6坩埚尺寸对应的底板3并通过螺栓固定在底座2上;然后在固定侧板4的两侧分别通过加长板搭扣18连接第一加长板10,在与固定侧板4相邻的两个移动侧板5上远离固定侧板4的一侧分别通过加长板搭扣18连接第二加长板11,在与固定侧板4相对设置的移动侧板5的两侧分别通过加长板搭扣18连接第三加长板12;改变坩埚加热台的尺寸后,可对不同规格的坩埚进行喷涂,不需要采购多种不同规格的坩埚加热台,降低了成本,同时也节省了坩埚加热台的存放空间;

安装好坩埚加热台后,将G6坩埚放置于底板3上,固定侧板4防止了G6坩埚向下滑动,旋转连接杆7,移动侧板5转动至底板3所在平面的上方,并与底板3垂直,将固定环套在固定块上,限位杆8限制了连接杆7的转动角度,避免了移动侧板5在移动过程中碰撞到坩埚,保证了坩埚的质量;启动液压缸6,使液压缸6的伸缩端缩回,移动侧板5向底板3靠近,移动侧板5与底板3接触时,关闭液压缸6;将固定搭扣20扣合,开始喷涂程序。

喷涂程序结束后,打开固定搭扣20,启动液压缸6,使液压缸6的伸缩端伸长,移动侧板5远离底板3,液压缸6的伸缩端全部伸出后,关闭液压缸6;使固定环与固定块脱离,旋转连接杆7,移动侧板5转动至底板3所在平面的下方,将G6坩埚从坩埚加热台中取出,液压缸6与连接配合,实现了移动侧板5的移动和转动,方便了对G6坩埚的移动。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

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