支撑在纳米多孔石墨烯上的选择性膜的制作方法_3

文档序号:8490915阅读:来源:国知局

[0045] 制造控制器490可以通过人工控制、通过经由一个或多个网络410的远程控制器 470、或通过例如可能见于计算机程序中的机器执行的指令来运行。与控制制造石墨烯的不 同工艺相关联的数据可以存储在数据库480中和/或从数据库480接收。此外,制造系统 400的各个元件可实现为任何以任何适合于实施本文所述操作的方式配置的适合的设备。
[0046] 例如,样本操纵器495可以是固定的,或者可以包括一个或多个移动功能,例如以 零、1个、2个或3个垂直轴平移,以1个、2个或3个垂直轴旋转,或者它们的组合。这些移 动功能可以通过电动机、直线致动器或压电致动器来提供。这种移动功能可以与用于制造 系统400的其他元件的移动功能相结合地来提供。例如,对于石墨稀在无孔衬底上的CVD 生长,样本操纵器495和CVD源492中的任一者或两者可在CVD室192中相对于彼此移动 以在无孔衬底上生长石墨烯。同样,石墨烯纳米穿孔装置496可以配置为用于任何在石墨 烯中形成纳米孔的技术。此外,样本操纵器495和聚合物膜操纵器497可配置为用于任何 将纳米多孔石墨烯层连同第一选择性膜一起从无孔支撑衬底移除的方法。而且,选择性膜 沉积装置498可以配置为用于任何将第一选择性膜沉积在纳米多孔石墨烯层的第二表面 上的方法。
[0047] 上述图4的装置元件是为了示例的目的。用于形成如本文所描述的所述复合膜的 装置可以通过具有更少或附加的元件的类似装置来实现。在一些示例中,装置元件可配置 在不同位置或按不同的次序配置装置元件。在其他一些示例中,可去除各装置元件。在另 外的示例中,各装置元件可划分成附加的装置元件,或者组合在一起成为较少的装置元件。 任何其他类似的自动化机器可以通过较少的、不同的、或附加的装置元件来实现,只要这些 类似的自动化机器形成所述的复合膜即可。
[0048] 图5是依照本文所描述的至少一些实施例布置的表示可用来控制图4的自动化机 器或类似装备实施形成所述的复合膜的示例方法的通用计算设备的示意图。在基本配置 502中,参考虚线内的组件,计算设备500通常可以包括一个或多个处理器504和系统存储 器506。存储器总线508可用于处理器504与系统存储器506之间通信。
[0049] 根据所需的配置,处理器504可以是任意类型,包括但不限于微处理器(μ P)、微 控制器(μ C)、数字信号处理器(DSP)或其任意组合。处理器504可以包括诸如级超高速缓 存512、处理器核514和寄存器516的一级或多级超高速缓存。处理器核514可以包括算术 逻辑单元(ALU)、浮点单元(FPU)、数字信号处理核(DSP Core)或其任意组合。示例的存储 器控制器518还可与处理器504 -起使用,或者在一些实施方式中,存储器控制器518可以 是处理器504的内部部件。
[0050] 根据所需的配置,系统存储器506可以是任意类型,包括但不限于易失性存储器 (诸如RAM)、非易失性存储器(诸如ROM、闪存等)或其任意组合。系统存储器506可以包 括操作系统520、一个或多个制造控制应用522以及程序数据524。制造控制应用522可以 包括控制模块526,其可布置成控制图4的制造系统400以及如上所述的任何其他工艺、操 作、技术、方法和功能。程序数据524可以包括用于控制制造系统400的各方面的材料数据 528以及其他数据。
[0051] 计算设备500可以具有附加的特征或功能,以及利于基本配置502与任何所需的 设备和接口之间的通信的附加接口。例如,总线/接口控制器530可用来方便基本配置502 与一个或多个数据存储设备532之间经由存储接口总线534的通信。数据存储设备532可 以是可移除存储设备536、非可移除存储设备538或其组合。可移除存储设备和非可移除存 储设备的示例可包括诸如软盘驱动器和硬盘驱动器(HDD)的磁盘设备、诸如压缩盘(CD)驱 动器或数字多功能盘(DVD)驱动器的光盘驱动器、固态驱动器(SSD)和磁带驱动器,仅列举 了几个。示例的计算机存储介质可以包括以用于诸如计算机可读指令、数据结构、程序模块 或其它数据的信息的存储的任何方法或技术实现的易失性和非易失性的介质以及可移除 和非可移除的介质。
[0052] 系统存储器506、可移除存储设备536和非可移除存储设备538可以是计算机存储 介质的示例。计算机存储介质可包括但不限于RAM、ROM、EEPR0M、闪存(flash memory)或 其它存储器技术、CD-ROM、数字多功能盘(DVD)或其它光学存储设备、磁盒、磁带、磁盘存储 设备或其它磁存储设备、或者可用于存储所需信息并且可由计算设备500访问的任何其它 介质。任意这样的计算机存储介质可以是计算设备500的部件。
[0053] 计算设备500还可以包括接口总线540,该接口总线用于方便从各接口设备(例 如,输出设备542、外围设备接口 544和通信设备566)经由总线/接口控制器530与基本配 置502的通信。输出设备542可以包括图形处理单元548和音频处理单元550,其可配置为 经由一个或多个A/V端口 552与诸如显示器或扬声器的各外部设备通信。示例的外围设备 接口 544包括串行接口控制器554或并行接口控制器556,其可配置为经由一个或多个1/ 0端口 558与诸如输入设备(例如,键盘、鼠标、笔、语音输入设备、触摸输入设备等)或其 它外围设备(例如,打印机、扫描仪等)的外部设备通信。通信设备566可以包括网络控制 器560,其可布置成便于经由一个或多个通信端口 564通过网络通信链路与一个或多个其 他计算设备562的通信。
[0054] 网络通信链路可以是通信介质的一个示例。通信介质通常可通过计算机可读指 令、数据结构、程序模块或诸如载波或其它传输机制的调制数据信号中的其它数据来具体 化,并且可以包括任何信息输送介质。"调制数据信号"可以是使得其特性中的一个或多个 以将信号中的信息编码的方式设定或改变的信号。通过示例而不是限制的方式,通信介质 可以包括诸如有线网络或直接线连接的有线介质,以及诸如声、射频(RF)、微波、红外(IR) 和其它无线介质的无线介质。如本文所使用的术语计算机可读介质可以包括存储介质和通 信介质两者。
[0055] 计算设备500可实现为物理服务器、虚拟服务器、计算云或包括上述任意功能的 混合设备的一部分。计算设备500还可实现为包括膝上型计算机和非膝上型计算机配置两 者的个人计算机。而且,计算设备500可以实现为网络系统或者通用或专用服务器的部分。
[0056] 用于包括计算设备500的网络系统的网络可以包括服务器、客户端、交换机、路由 器、调制解调器、因特网服务提供商以及任何其他适合的通信介质(例如,有线或无线通 信)的任意拓扑结构。根据实施例的系统可以具有静态的或动态的网络拓扑结构。网络可 以包括诸如企业网(例如,LAN、WAN或WLAN)的安全网络、诸如无线开放网络(例如IEEE 602. 11无线网络)的不安全网络或全球网络(例如,因特网)。网络还可以包括可适于一起 运行的多个不同的网络。这种网络可配置成提供本文所描述的节点之间的通信。通过示例 的而不是限制的方式,这些网络可以包括诸如声、RF、红外和其他无线介质的无线介质。此 外,网络可以是相同的网络或单独网络的部分。
[0057] 图6是依照本文所描述的至少一些实施例布置的表征可用于控制图4的自动化机 器或者类似的装备实施形成所描述的复合膜的示例方法的示例的计算机程序产品的框图。 在一些示例中,如图6所示,计算机程序产品600可以包括信号承载介质602,信号承载介质 602还可以包括机器可读指令604,当通过例如处理器执行时,机器可读指令604可以提供 上文参考图3至图5所描述的功能。例如,参考制造控制器490,可响应于通过信号承载介 质602传送给成像控制器490的机器可读指令604从而实施与形成如本文所描述的复合膜 相关联的动作而承担图6所示的一个或多个任务。那些指令中的一些指令可以包括例如用 于如下的一条或多条指令:"控制样本操纵器以将无孔支撑衬底定位在化学气相沉积室中, 其中纳米多孔石墨烯层的第一表面可以接触无孔支撑衬底";"控制选择性膜沉积装置以将 第一选择性膜沉积在纳米多孔石墨烯层的第二表面上";"控制聚合物膜操纵器和样本操纵 器以将纳米多孔石墨烯层连同第一选择性膜一起从无孔支撑衬底移除";"控制聚合物膜操 纵器和样本操纵器以使纳米多孔石墨烯层的第二表面与多孔支撑衬底相接触以形成复合 膜";或者"控制选择性膜沉积装置以将第二选择性膜沉积在第一选择性膜上"。
[0058] 在一些实现中,图6中所示的信号承载介质602可以包含计算机可读介质606,诸 如但不限于硬盘驱动器、压缩盘(CD)、数字多功能盘(DVD)、数字带、存储器等。在一些实现 中,信号承载介质602可以包含可记录介质608,诸如但不限于存储器、读/写(R/W)CD、R/ W DVD等。在一些实现中,信号承载介质602可以包含通信介质610,诸如但不限于数字和 /或模拟通信介质(例如,光纤电缆、波导、有线通信链路、无线通信链路等)。例如,计算机 程序产品600可以由RF信号承载介质602传送到处理器504,其中信号承载介质602可由 通信介质610 (例如,符合IEEE 802. 11标准的无线通信介质)来传送。虽然将要在与运行 于个人计算机上的操作系统的应用程序相结合而执行的程序模块的一般性背景下描述实 施例,但是本领域技术人员将理解,可以与其他程序模块相结合来实现各方面。
[0059] -般地,程序模块包括执行特定任务或实现特定抽象数据类型的例程、程序、组 件、数据结构以及其他类型的结构。而且,本领域技术人员将理解,可以通过其他计算机系 统配置来实践实施例,包括手持式设备、多处理器系统、基于微处理器的或可编程消费电子 设备、微型计算机、大型计算机以及相当的计算设备。实施例还可以实现在通过可经由通信 网络链接的远程处理设备执行任务的分布式计算环境中。在分布式计算环境中,程序模块 可位于本地存储器存储设备和远程存储器存储设备中。
[0060] 实施例可以实现为计算机实现的处理(方法)、计算系统,或者实现为制造品,诸 如计算机程序产品或计算机可读介质。计算机程序产品可以是计算机系统可读且将计算机 程序编码的计算机存储介质,可以包括用于使计算机或计算系统执行示例的处理的指令。 计算机可读存储介质可以例如经由易失性计算机存储器、非易失性存储器、硬盘驱动器、闪 存驱动器、软盘或压缩盘以及相当的介质中的一个或多个来实现。
[0061] 在通篇说明书中,术语"平台"可以是用于提供配置环境的软件和硬件组件的组 合,其可便于软件/硬件产品和服务的配置用于各种目的。平台的示例包括但不限于在多 个服务器上执行的托管式服务、在单个计算设备上执行的应用,以及相当的系统。术语"月艮 务器"一般是指通常在网络环境中执行一个或多个软件程序的计算设备。然而,服务器还 可以实现为在视为网络上的服务器的一个或多个计算设备上执行的虚拟服务器
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