收尘装置的制造方法
【专利说明】收尘装置
[0001 ] 本申请是原发明专利申请(申请日为2013年09月09日、申请号为201310408002.X，发明名称为“收尘装置”)的分案申请。
技术领域
[0002]本发明涉及收尘领域，尤其涉及一种收尘装置。
【背景技术】
[0003]化学气相沉积过程是在真空状态下，气体通入到炉内，在真空的状态下沉积，设备一般会连接真空栗，真空栗对设备抽真空产生一定的负压。目前采用化学气相沉积方法生产各种材料的过程中一般会产生大量的粉尘，若粉尘处理不当不但会沉积到产品里面，使产品的性能降低，品质不达标，而且因化学气相沉积过程一般是真空状态，在设备的后面一般会连接机械栗，粉尘一旦进入到机械栗里面会严重影响机械栗的使用寿命，更重要的是通过机械栗抽过来的粉尘不便于收集，可能导致整个系统瘫痪，无法使用。
【发明内容】
[0004]鉴于【背景技术】中存在的问题，本发明的目的在于提供一种收尘装置，其能有效地去除粉尘。
[0005]本发明的另一目的在于提供一种收尘装置，其能更好地保护价格昂贵的机械栗和恒压真空栗。
[0006]为了实现上述目的，本发明提供了一种收尘装置，其包括:主过滤器，连接于产尘装置的出气管以接收来自产尘装置的粉尘，主过滤器在下游端设有连接口；次过滤器，设置在主过滤器的下方，通过连接管与主过滤器下游端的连接口连接;两个平行过滤器，底部通过三通连接管分别与次过滤器的上端连接并分别与次过滤器受控连通，两个平行过滤器的一个平行过滤器为备用以在两个平行过滤器中的另一个平行过滤器不能正常工作时该备用的平行过滤器启动并工作;三个收尘桶，分别安装于次过滤器与两个平行过滤器的下方，并分别受控连通于次过滤器与两个平行过滤器，以用于收集次过滤器与两个平行过滤器里面的粉尘；以及机械栗，受控连通于两个平行过滤器的上部，以接收从两个平行过滤器中的正常工作的平行过滤器排出的气体并向外排出。
[0007]本发明的有益效果如下:
[0008]本发明的收尘装置经过三级收尘之后可有效地去除粉尘；当产尘装置为化学气相沉积炉时，能够解决化学气相沉积过程中由于粉尘造成的一系列问题;操作简单;根据生产过程时间的长短以及粉尘的多少可以实现方便更换或者清洁，还能更好地保护价格昂贵的机械栗和恒压真空栗。
【附图说明】
[0009]图1为根据本发明的收尘装置的结构示意图；
[0010]图2为图1的虚线圆圈部分的放大图。
[0011]其中，附图标记说明如下:
[0012]I主过滤器6恒压真空栗
[0013]11连接口7控制组件
[0014]12真空正压安全阀71脉冲电磁阀
[0015]13备用口72差压变送器
[0016]14单板73压力变送器
[0017]15挡板74气动阀
[0018]16测温口8气体处理装置
[0019]2次过滤器9防腐风机
[0020]3平行过滤器10产尘装置
[0021]31壳体101出气管
[0022]32主反吹管S反吹用气体源
[0023]33分反吹管V1-V15阀门
[0024]34 滤芯骨架P1、P2、P3、P1’、P2’、P3’线路
[0025]35布袋Tl连接管
[0026]36滤布Τ2三通连接管
[0027]4收尘桶E端口
[0028]5机械栗
【具体实施方式】
[0029]下面参照附图来详细说明根据本发明的收尘装置。
[0030]参照图1，根据本发明的收尘装置包括:主过滤器I，连接于产尘装置10的出气管101以接收来自产尘装置10的粉尘，主过滤器I在下游端设有连接口 11;次过滤器2，设置在主过滤器I的下方，通过连接管Tl与主过滤器I下游端的连接口 11连接;两个平行过滤器3，底部通过三通连接管Τ2分别与次过滤器2的上部连接并分别与次过滤器2受控连通，两个平行过滤器3的一个平行过滤器3为备用，以在两个平行过滤器3中的另一个平行过滤器3不能正常工作时，该备用的平行过滤器3启动并工作;三个收尘桶4，分别安装于次过滤器2与两个平行过滤器3的下方，并分别受控连通于次过滤器2与两个平行过滤器3，以用于收集次过滤器2与两个平行过滤器3里面的粉尘；以及机械栗5，受控连通于两个平行过滤器3的上部，以接收从两个平行过滤器3中的正常工作的平行过滤器3排出的气体并向外排出。
[0031]在主过滤器I的一实施例中，主过滤器I为不锈钢圆筒结构。优选地，主过滤器I安装时可相对于产尘装置10向下倾斜。因主过滤器I直接与产尘装置10的出气管101连接，考虑到使粉尘尽可能多的流动到下方的对应的收尘桶4里面，并且还需要考虑到不能使粉尘落到产尘装置10内，影响产品的质量，因此主过滤器I主要采用不锈钢圆筒和挡板15(后面所述)的结构。主过滤器I安装时相对于产尘装置10向下倾斜，有利于粉尘向下的流动。
[0032]在主过滤器I的一实施例中，主过滤器I与产尘装置10的本体通过法兰(未示出)连接。优选地，主过滤器I与产尘装置10的本体之间的连接采用密封圈进行密封。
[0033]在主过滤器I的一实施例中，参照图1，主过滤器I的一端设置有备用口 13和测温口16，以用于分别安装测量产尘装置10内的真空度的真空度计以及测量温度的温度计。
[0034]在主过滤器I的一实施例中，参照图1，主过滤器I在其与产尘装置10的出气管101的连接处内设有倾斜并遮挡该连接处的单板14，以用于防止主过滤器I里面的粉尘落到产尘装置10内。在一实施例中，单板14的倾斜角度可为120度。
[0035]在主过滤器I的一实施例中，主过滤器I内可拆卸式安装有上下交错排列的挡板15。优选地，各挡板15的外边缘与主过滤器I内壁接合。在主过滤器I的两端设置有定位销(未示出)，用来固定该挡板15，在清理主过滤器I里面的粉尘时可以将该挡板15取下，该挡板15的作用主要是用来增加粉尘和气体的行程，使粉尘尽可能多的沉积下来，并且降低从产尘装置10内出来的气体的温度。当主过滤器I为圆筒结构时，挡板15的形状可以相适应地为大半圆形，优选为55%?60%圆缺的大半圆形。
[0036]在根据本发明的收尘装置中，次过滤器2与主过滤器I之间采用法兰(未示出)和连接管Tl连接。优选地，次过滤器2与主过滤器I之间的连接采用密封圈进行密封。
[0037]在根据本发明的收尘装置中，参照图1，次过滤器2和相应的收尘桶4之间设置有阀门Vl，用来控制次过滤器2与该收尘桶4的连通。阀门Vl可为气动真空球阀。
[0038]在收尘桶4的一实施例中，各收尘桶4的底部可安装有万向轮(未示出)或者所述收尘装置还包括承载各收尘桶4的液压升降移动推车(未示出)，由此使收尘桶4移动，以方便收尘桶4的清洁与更换。
[0039]在根据本发明的收尘装置的一实施例中，参照图1，所述收尘装置还可包括:反吹用气体源S，受控连通于两个平行过滤器3，当两个平行过滤器3中的所述另一个平行过滤器3不能正常工作时向该所述另一个平行过滤器3提供反吹用气体;防腐风机9，受控连通于两个平行过滤器3，以接收所述另一个平行过滤器3反吹处理后的部分气体；以及恒压真空栗6，受控连通于两个平行过滤器3，以对所述另一个平行过滤器3反吹处理后的且被防腐风机9抽吸后的剩余气体进行抽吸。其中，各平行过滤器3还受控连通于外部大气，且各平行过滤器3包括:壳体31;主反吹管32，设置于壳体31内部的上方并固定连接于壳体31且受控连通于反吹用气体源S;多个分反吹管33，位于壳体31内并位于主反吹管32下方且分别与主反吹管32受控连通;滤芯骨架34，位于壳体31内并固定连接于壳体31;布袋35，安装于滤芯骨架34;以及滤布36，设置在分反吹管33和滤芯骨架34之间。
[0040]在主过滤器I的一实施例中，参照图1，主过滤器I上设有真空正压安全阀12且受控连通于防腐风机9，当产尘装置10的出气管被粉尘堵塞不能正常出气导致产尘装置10内的压力升高达到真空正压安全阀12设置的安全值后，使产尘装置10、主过滤器I以及防腐风机9连通，以使产尘装置10泄压。真空正压安全阀12可以设置一定的安全值，一旦产尘装置10的出气管被大量的粉尘堵塞不能正常出气时，产尘装置10内的压力会升高，达到真空正压安全阀12设置的安全值后就会自动泄压，用以保护产尘装置10，泄压出来的气体经一管道连接到防腐风机9(甚至连接到后面所述的气体处理装置8)，避免造成大气污染。
[0041]在根据本发明的收尘装置中，参照图1，所述收尘装置还可包括:控制组件7，通信连接于次过滤器2、两个平行过滤器3、机械栗5、恒压真空栗6、以及防腐风机9。当然，从广义角度讲，阀门V1-V15也可包括在控制组件7之内。
[0042]在控制组件7的一实施例中，参照图1，控制组件7可包括:脉冲电磁阀71，安装于各平行过滤器3的主反吹管32与相应的分反吹管33之间，以控制主反吹管32与该相应的分反吹管32之间的通断；差压变送器72，安装于各平行过滤器3的侧面，检测各平行过滤器3与次过滤器2之间的压力差，若