8通过管道连接构成I号配置桶的循环供应回流系统；第四供给球阀12、第二供给球阀14、第二供给泵13、过滤系统15、第二回流球阀9通过管道连接构成2号配置桶11的循环供应回流系统。第一供给球阀4和第二供给球阀14、第一排放球阀6和第二排放球阀16、第一回流球阀8和第二回流球阀9、第一供给泵3和第二供给泵13均采用聚氯乙烯材料制做。使用时，一个配置桶用来配制搅拌抛光液，另一个配置桶用于给现场供应，当一个供应桶抛光液用完后可启用另一个已配制搅拌好的配置桶给现场供应抛光液，此空桶开始配制，如此循环可向现场不间断持续循环供给。
[0011]以I号配置桶I配制搅拌、2号配置桶11给现场供应，两桶相互切换为例描述具体使用方法:
[0012]I号配置桶I配制搅拌:关闭I号配置桶I第一供给泵3、I号配置桶I第一供给球阀4和第三供给球阀5、I号配置桶第一排放球阀6、I号配置桶I第一回流球阀8，向I号桶配置桶I中加入一定比例的抛光液原液和纯水，开启第一搅拌器2对混合物进行搅拌，搅拌时间可根据需要进行时间设定，相比原有靠泵回流的搅拌方式，此种电机带动第一搅拌器2在桶内直接对混合液的搅拌均匀性更好，搅拌效率更高。
[0013]2号配置桶11给现场供应:关闭2号配置桶11第二排放球阀16、1号配置桶I第一回流球阀8，打开2号配置桶11第四供给球阀12和第二供给球阀14、启动2号配置桶11第二供给泵13和2号配置桶11第二回流球阀9，打开过滤系统球阀即可实现向现场的供应，多余的抛光液会通过2号配置桶11第二回流球阀9回流到2号配置桶11内。
[0014]2号配置桶11抛光液用完时向I号配置桶I切换:
[0015]关闭2号配置桶11第二供给泵13、2号配置桶11的第四供给球阀12和第二供给球阀14、2号配置桶11的第二回流球阀9，打开I号配置桶I的第一回流球阀8、I号配置桶I的第一供给泵3、I号配置桶I的第一供给球阀4和和第三供给球阀5即可实现两桶的切换。
【主权项】
1.一种抛光液配制系统，其特征是:所述的一种抛光液配制系统主要由I号配置桶(I)和2号配置桶(11)、第一搅拌器(2 )和第二搅拌器(10 )、第一供给泵(3 )和第二供给泵(13)、第一供给球阀(4)和第二供给球阀(14)、第三供给球阀(5)和第四供给球阀(12)、第一排放球阀(6)和第二排放球阀(16)、第一溢流管(7)和第二溢流管(17)、第一回流球阀(8)和第二回流球阀(9)、过滤系统(15)、使用点阀门(18)构成；1号配置桶(I)和2号配置桶(11)相互切换使用，第一搅拌器(2)和第二搅拌器(10)分别装在I号配置桶(I)和2号配置桶(11)内，第一搅拌器(2 )和第二搅拌器(10 )的外部固定在外部支架上；第一供给泵(3)和第二供给泵(13)分别安装在I号配置桶(I)和2号配置桶(11)底部的同一侧位置，第一供给泵(3)和第二供给泵(13)通过管道其中一侧与I号配置桶(I)和2号配置桶(11)连接，另一侧分别与过滤系统(15)连接；第一供给泵(3)和第二供给泵(13)的两侧管道上分别装有第一供给球阀(4)和第三供给球阀(5)、第四供给球阀(12)和第二供给球阀(14);I号配置桶(I)和2号配置桶(11)的顶部分别设有第一回流口(19)和第二回流口(20)，第一回流口(19)和第二回流口(20)与使用点阀门(18)的连接管道上分别装有第一回流球阀(8)和第二回流球阀(9);1号配置桶(I)和2号配置桶(11)上部的同一侧位置分别装有第一溢流管(7)和第二溢流管(17) ; I号配置桶(I)和2号配置桶(11)底部分别设第一有排放口(21)和第二排放口(22)，与第一排放口(21)和第二排放口(22)连接的管道上分别安装有第一排放球阀(6)和第二排放球阀(16)。
2.根据权利要求1所述的一种抛光液配制系统，其特征是号配置桶(I)和2号配置桶(11)采用聚丙烯塑料材料制做，I号配置桶(I)和2号配置桶(11)的底部为锥形状。
3.根据权利要求1所述的一种抛光液配制系统，其特征是:第一供给球阀(4)、第三供给球阀(5)、第一供给泵(3)、过滤系统(15)、第一回流球阀(8)通过管道连接构成I号配置桶(I)的循环供应回流系统；第四供给球阀(12)、第二供给球阀(14)、第二供给泵(13)、过滤系统(15)、第二回流球阀(9)通过管道连接构成2号配置桶(11)的循环供应回流系统。
4.根据权利要求1所述的一种抛光液配制系统，其特征是:第一搅拌器(2)和第二搅拌器(10)采用不锈钢材料制做，第一搅拌器(2)和第二搅拌器(10)的表面镀有四氟涂层。
5.根据权利要求1所述的一种抛光液配制系统，其特征是:第一供给球阀(4)和第二供给球阀(14)、第一排放球阀(6)和第二排放球阀(16)、第一回流球阀(8)和第二回流球阀(9)、第一供给泵(3)和第二供给泵(13)均采用聚氯乙烯材料制做。
【专利摘要】一种抛光液配制系统，用于单晶硅衬底片化学机械抛光生产技术领域。本实用新型通过双桶、双泵和过滤器的配合切换使用可实现大容量配制、搅拌、持续循环供给生产现场的功能，解决了搅拌不够均匀、配制次数频繁、配制中产生的颗粒供给生产现场的缺点。本实用新型的第一供给球阀（4）和第三供给球阀（5）、第一供给泵（3）、第一回流球阀（8）和过滤系统（15）通过管道连接构成1号配置桶（1）的循环供应回流系统；由第四供给球阀（12）和第二供给球阀（14）、第二供给泵（13）、第二回流球阀（9）、过滤系统（15）通过管道连接构成2号配置桶（11）的循环供应回流系统。本实用新型的1号配置桶（1）和2号配置桶（11）可相互切换使用，操作方便，安全可靠，可满足大规模生产使用的抛光液配制。
【IPC分类】C09G1-02, B24B57-02, B01F7-02
【公开号】CN204563966
【申请号】CN201520191650
【发明人】胡晓亮, 赵文龙, 高烨, 崔小换
【申请人】麦斯克电子材料有限公司
【公开日】2015年8月19日
【申请日】2015年4月1日