专利名称：一种模块化双台分离机硅片切割废砂浆在线回收设备的制作方法
技术领域：
一种模块化双台分离机硅片切割废砂浆在线回收设备技术领域[0001]本实用新型涉及机电一体化设备领域，特别涉及了一种模块化双台分离机硅片切割废砂浆在线回收设备。
背景技术：
[0002]目前，硅片线切割工艺的现状，为了保证切割质量，切割工艺中使用的砂浆基本都是极少的重复使用，切割使用后的废弃砂浆直接作为工业废弃物堆积处理，或者委托专业处理厂对使用过的砂浆进行处理，无论以上那种方式，都会造成极大浪费，产生较大成本， 因此，实现砂浆的回收再利用是硅片生产企业降低生产成本的有效途径，需要合理的设备， 现有设备结构复杂，布局松散，占地面积大，同时由于整体结构固化单一，导致客户必须同时购买所有罐体。实用新型内容[0003]本实用新型的目的是为了减小设备占地面积，实现设备模块化，特提供了一种模块化双台分离机硅片切割废砂浆在线回收设备。[0004]本实用新型提供了一种模块化双台分离机硅片切割废砂浆在线回收设备，其特征在于所述的模块化双台分离机硅片切割废砂浆在线回收设备，包括一次液处理设备1，五号罐2,六号罐3,第一分离机4,四号罐5, 二号罐6,电控柜7,第二分离机8, —号罐9,三号 iip 10 ；[0005]其中第一分离机4、第二分离机8、一号罐9、二号罐6和三号罐10共同构成模块化双台分离机硅片切割废砂浆在线回收设备的大的功能模块，第一分离机4和第二分离机 8平行布置在整个设备上；四号罐5、五号罐2和六号罐3摆放在整个大的功能模块的侧面， 三号罐内装聚乙二醇；电控柜7分别与第二分离机8和一次液处理设备I相连，三号罐10 与一次液处理设备I相连，一次液处理设备I再与三号罐11相连，四号罐5与第二分离机8 及一号罐9相连,五号罐2与一号罐9相连,六号罐3与一号罐9相连,二号罐6与四号罐 5和六号罐3相连。[0006]所述的第一分离机4和第二分离机8均为卧式螺旋沉降离心机。[0007]所述的四号罐5为存储罐，所述的五号罐2为调和罐。[0008]所述的单台分离机硅片切割废砂浆在线回收设备中除了四号罐5和六号罐3之外的部分，整体作为一个大的功能单元模块，四号罐5和六号罐3能够单独摆放在一起，由生产设备的企业提供或使用设备的企业自行提供。[0009]工作原理[0010]切片机产生的废旧砂浆，经分离机的分离后，形成一次分离液和回收的粗粉；一次分离液经一次液处理设备的分离后，产生回收的液相和回收固相，对回收固相进行再处理。[0011]本实用新型的优点[0012]本实用新型所述的模块化双台分离机硅片切割废砂浆在线回收设备，用于分离和回收硅片切割工艺中所产生的废砂浆，同时亦适用于半导体芯片、水晶、钻石等行业的废液回收利用。硅片切割废液中，PEG、SiC的回收率可达80%以上，硅片切割废砂浆在线回收设备与线切割机可采用1:4或1:5配置。有效地避免了浪费。模块化的设备，使设备的使用企业可自行准备存储罐，降低采购成本。
[0013]
以下结合附图及实施方式对本实用新型作进一步详细的说明[0014]图1为模块化双台分离机硅片切割废砂浆在线回收设备的原理结构示意图；[0015]图2为模块化双台分离机硅片切割废砂浆在线回收设备的原理结构俯视方向示意图。
具体实施方式
[0016]实施例[0017]本实施例提供了一种模块化双台分离机硅片切割废砂浆在线回收设备，其特征在于所述的模块化双台分离机硅片切割废砂浆在线回收设备，包括一次液处理设备1，五号罐2,六号罐3,第一分离 机4,四号罐5, 二号罐6,电控柜7,第二分离机8, —号罐9,三号罐 10 ；[0018]其中第一分离机4、第二分离机8、一号罐9、二号罐6和三号罐10共同构成模块化双台分离机硅片切割废砂浆在线回收设备的大的功能模块，第一分离机4和第二分离机 8平行布置在整个设备上；四号罐5、五号罐2和六号罐3摆放在整个大的功能模块的侧面， 三号罐内装聚乙二醇；电控柜7分别与第二分离机8和一次液处理设备I相连，三号罐10 与一次液处理设备I相连，一次液处理设备I再与三号罐11相连，四号罐5与第二分离机8 及一号罐9相连,五号罐2与一号罐9相连,六号罐3与一号罐9相连,二号罐6与四号罐 5和六号罐3相连。[0019]所述的第一分离机4和第二分离机8均为卧式螺旋沉降离心机。[0020]所述的四号罐5为存储罐，所述的五号罐2为调和罐。[0021]所述的单台分离机硅片切割废砂浆在线回收设备中除了四号罐5和六号罐3之外的部分，整体作为一个大的功能单元模块，四号罐5和六号罐3能够单独摆放在一起，由生产设备的企业提供或使用设备的企业自行提供。[0022]工作原理[0023]切片机产生的废旧砂浆，经分离机的分离后，形成一次分离液和回收的粗粉；一次分离液经一次液处理设备的分离后，产生回收的液相和回收固相，对回收固相进行再处理。
权利要求1.一种模块化双台分离机硅片切割废砂浆在线回收设备，其特征在于所述的模块化双台分离机硅片切割废砂浆在线回收设备，包括一次液处理设备(1)，五号罐(2)，六号罐(3),第一分离机(4),四号罐(5), 二号罐(6),电控柜(7),第二分离机(8), —号罐(9),三号罐(10);其中第一分离机(4)、第二分离机(8)、一号罐(9)、二号罐(6)和三号罐(10)共同构成模块化双台分离机硅片切割废砂浆在线回收设备的大的功能模块，第一分离机(4)和第二分离机(8)平行布置在整个设备上；四号罐(5)、五号罐(2)和六号罐(3)摆放在整个大的功能模块的侧面，三号罐(10 )内装聚乙二醇；电控柜(7 )分别与第二分离机(8 )和一次液处理设备(I)相连，三号罐(10)与一次液处理设备(I)相连,一次液处理设备(I)再与三号罐(11)相连，四号罐(5)与第二分离机(8)及一号罐(9)相连,五号罐(2)与一号罐(9)相连，六号罐(3)与一号罐(9)相连,二号罐(6)与四号罐(5)和六号罐(3)相连。
2.按照权利要求1所述的模块化双台分离机硅片切割废砂浆在线回收设备，其特征在于所述的第一分离机(4)和第二分离机(8)均为卧式螺旋沉降离心机。
3.照权利要求1所述的模块化双台分离机硅片切割废砂浆在线回收设备，其特征在于所述的四号罐(5)为存储罐。
4.权利要求1所述的模块化双台分离机硅片切割废砂浆在线回收设备，其特征在于所述的五号罐(2)为调和罐。
专利摘要一种模块化双台分离机硅片切割废砂浆在线回收设备，包括一次液处理设备，五号罐，六号罐，第一分离机，四号罐，二号罐，电控柜，第二分离机，一号罐，三号罐；第一分离机、第二分离机、一号罐、二号罐和三号罐共同构成模块化双台分离机硅片切割废砂浆在线回收设备的大的功能模块，第一分离机和第二分离机平行布置在整个设备上；四号罐、五号罐和六号罐摆放在整个大的功能模块的侧面，三号罐内装聚乙二醇；电控柜分别与第二分离机和一次液处理设备相连，三号罐与一次液处理设备相连。本实用新型的优点用于分离和回收硅片切割工艺中所产生的废砂浆，有效地避免了浪费。模块化的设备，使设备的使用企业可自行准备存储罐，降低采购成本。
文档编号C10M175/00GK202829987SQ20122021745
公开日2013年3月27日 申请日期2012年5月15日 优先权日2012年5月15日
发明者张磊 申请人:沈阳光远新能源科技有限公司