时的压力、燃料喷射时的交变应力、或在图1的喷射器的顶端装配时的焊接的容易程度。具体而言，优选以镍为主成分的金属、以铬为主成分的金属，或根据用途将这些多层积层。
[0066](6)为了规定喷嘴板108的厚度而使用机械加工技术对表面进行切削。具体而言，优选研磨、研削或对这些进行组合。在本实施例的制造工序中，使用抗蚀剂而不是全部使用“电铸模具”制作喷出口图案204的理由是需要在本工序中进行机械加工。另外，如果具有高超的电镀技术而能够实现均匀的厚度，则本工序不是必须的而也可以省略。但是，在该情况下从剥离性的观点看也难以用“电铸模具”制作喷出口。
[0067](7)将在上述工序(4)中制作的喷出口图案抗蚀剂204、喷嘴板外形图案抗蚀剂205剥离。
[0068](8)将喷嘴板108从基板201、“电铸模具”即金属203剥离。这里剥离的“电铸模具”与图7A的工序(3)相同，可以重复使用。剥离的喷嘴板108的剥离面与基板201的算术平均粗糙度Ra相同，其大小也取决于基板201的表面处理条件，但是在I微米以下则极为平滑。并且，不会看到在机械加工中产生的飞边的发生。
[0069]图8示出通过实施例2制造的具有比实施例1厚的厚度的喷嘴板的剖视图及俯视图。关于燃料切断，会由于图6所示喷嘴板的形状而劣化，但是具有喷嘴板108的厚度较厚而能够适应燃料的高压喷射的效果。
[0070](实施例3)
[0071]接着，参照图9对通过实施例1或实施例2的制造方法制造的喷嘴板的形状进行说明。在图9中图9 (a)示出喷嘴板的俯视图及旋流室109的局部放大图，图9 (b)为图9 (a)的A-A’剖视图而示出机械加工的情况，图9 (c)示出电铸加工的情况。图9 (b)示出一般的端面磨床等的机械加工进行制造的情况，难以使凹部形状的底部的角部成为接近直角的形状。与此相对，图9(c)示出适用电铸技术制造喷嘴板108的横向通路107的情况，能够使凹部形状的底部的角部成为接近直角的形状。
[0072]另外，存在按照接近直角的形状燃料的流动不稳定等的不良的情况下，通过在图4A的工序(3)或图7A的工序(3)之后浸渍蚀刻液，从而如图10所示能够在使金属202从接近直角的形状成为倒角的形状之前成为各种形状，通过使用该“电铸模具”而能够控制喷嘴板108的横向通路107或旋流室109的凹部形状的底部的角部形状。这里在图10中，图10(a)示出用标准的电铸模具在基板201上形成金属203，使金属203的上部角部为直角的模具，用该标准的模具制造的成形品的凹部的底部的角部具有直角形状。并且，图10(b)示出在基板201上形成金属203、对金属203的上部角部进行倒角加工的电铸模具。通过该进行倒角加工的电铸模具制造的成形品的凹部的底部的角部成为具有曲率半径R的形状，并且可以任意设定该曲率半径R。因此是易于使用的制造技术。
[0073](实施例4)
[0074]接着，作为实施例4对通过实施例1或实施例2的制造方法制造而使用的“电铸模具”的制作方法进行说明。图11示出通过电镀制作逆图案的提高金属203与基板201的接合强度的构造体的工序。按照图11对该制造工序进行说明。
[0075](I)在铜、不锈钢、镍等金属板或树脂上制作了铜、不锈钢、镍等的金属箔的基板、或在图4B的工序(8)或图7B的工序(8)中通过使基板变形而使剥离性容易的弹簧材料所构成的基板等基板201表面进行等离子体蚀刻处理，除去阻碍电镀析出的物质。具体而言，除去的物质是氧化膜或有机物。接着，在真空中使用溅射从基板侧形成连接膜/Cu301。连接膜只要是与Cu和基板的两方具有粘着强度的金属即可，具体而言可以使用T1、Cr。
[0076](2)用抗蚀剂202制作横向通路107和旋流室109的逆图案。
[0077](3)为了制作“电铸模具”，通过电镀用金属203填充逆图案。填充的金属203可以通过电镀进行制作，并且优选在图4B的工序(8)或图7B的工序(8)的工序中易于剥离的金属。具体而言，优选以铜为主成分的金属、以镍为主成分的金属、以铬为主成分的金属、或将它们按照逆图案形状或图4A的工序(5)或图7A的工序(5)所述的电铸金属组成进行组合。
[0078](4)将在⑵中制作的抗蚀剂202剥离。
[0079]以下，使用图4A的工序(4)或图7A的工序(4)以下的工序制作喷嘴板108。
[0080](实施例5)
[0081]接着，作为实施例5对通过实施例1或实施例2的制造方法制造的“电铸模具”的制作方法进行说明。图12示出制造提高通过电镀制作逆图案的金属203与基板201的接合强度的构造体、该构造体的工序。并且，与实施例4的差异在于通过连接膜/Cu301使用保护膜。
[0082](I)在铜、不锈钢、镍等的金属板或树脂上制作了铜、不锈钢、镍等的金属箔的基板、在图4B的工序(8)或图7ΒΦ工序(8)中通过使基板变形而使剥离性容易的弹簧材料所构成的基板等基板201表面上进行等离子体蚀刻处理，除去阻碍电镀析出的物质。具体而言除去的物质为氧化膜、有机物。接着，在真空中使用溅射形成保护金属膜。保护金属302可以在下一工序(2)中通过蚀刻除去即可，具体而言可以使用T1、Cr、Al。
[0083](2)用抗蚀剂202制作横向通路107和旋流室109的逆图案。接着，通过湿蚀刻除去保护金属302。从该湿蚀刻到用于制作下一 “电铸模具”的电镀为止，优选在水中进行搬送而不暴露于大气。
[0084](3)为了制作“电铸模具”，通过电镀用金属203填充逆图案。填充的金属203可以通过电镀进行制作，并且优选在图4B的工序(8)或图7B的工序(8)的工序中易于剥离的金属。具体而言，以铜为主成分的金属、以镍为主成分的金属、以铬为主成分的金属、或将这些按照逆图案形状或图4A的工序(5)或图7A的工序(5)所述的电铸金属组成进行组合。
[0085](4)将在⑵中制作的抗蚀剂202剥离。
[0086](5)通过蚀刻除去基板上的保护金属302。
[0087]以下，使用图4A的工序(4)或图7A的工序(4)以下的工序制作喷嘴板。
[0088](实施例6)
[0089]接着，在实施例1或实施例2的喷嘴板的制造方法中，在图4B的工序(7)或图7B的工序(7)中，将喷嘴板108从基板201及金属203剥离时，存在不易剥离的情况。本发明的实施例6制造制作在喷嘴板108的周边具有阶梯的形状，易于通过顶杆等从基板201及金属203剥离的构成的喷嘴板。在图13B及图13C中示出该制造工序，按照该工序进行说明。
[0090](I)在铜、不锈钢、镍等金属板或树脂上制作铜、不锈钢、镍等的金属箔的基板、或在图4B的工序(8)中通过使基板变形而使剥离性容易的弹簧材料所构成的基板等基板201上用抗蚀剂202-1制作横向通路107和旋流室109的图案。
[0091](2)为了制作“电铸模具”，通过电镀用金属203制作逆图案。在进行电镀前，通过干蚀刻或湿蚀刻除去氧化膜则能够防止电镀的不析出。特别是在不锈钢或镍等牢固的氧化膜覆盖表面的基板上氧化膜除去的效果大。并且，填充的金属203可以通过电镀制作，并且优选在图4B的工序(8)的工序中易于剥离的金属。具体而言，优选以铜为主成分的金属、以镍为主成分的金属、以铬为主成分的金属、或将这些用于逆图案形状或图4A的工序(5)所述的喷嘴板108的金属以易于剥离的程度进行组合。
[0092](3)剥离在上述工序(I)中制作的抗蚀剂202-1。
[0093](4)贴附比喷嘴板的厚度薄的抗蚀剂202-2。
[0094](5)用与喷嘴板的最外形的大小相比单侧小20微米以上的光掩模401遮挡紫外光402进行曝光。并且，照射紫外光402而抗蚀剂205固化。这里的曝光区域可以是喷嘴板周边部整体，也可以仅为周边部的一部分。
[0095](6)以最适合制作喷嘴板的厚度贴附抗蚀剂202-3。