动器室67内的第二护圈81与垫圈81之间设有吸收(阻尼)动作杆85的振动(动作杆85及隔膜77的振动)的环状的防振薄片93。换言之，在第二促动器室67内的隔膜77与复位弹簧83之间通过第二护圈81及垫圈91设有防振薄片93。另外，防振薄片93由硅橡胶、氯丁二烯橡胶等耐热性橡胶(弹性体的一个例子)构成，与垫圈91 一起收纳在第二护圈81的内侧。另外，可以不将垫圈91收纳在第二护圈81的内侧。垫圈91与防振薄片93可以一体化。或者，可以从隔膜式促动器55的结构省略垫圈91。
[0049]在第二促动器室67内的隔膜77与复位弹簧83之间，可以代替设置防振薄片93，或者除了防振薄片93，还采用如下的结构。
[0050]S卩，如图3(a)及图3(b)所示，在第二促动器室67内的复位弹簧83与第二促动器罩63的内壁面之间设有垫圈95。另外，在第二促动器室67内的垫圈95与第二促动器罩63的内壁面之间设有通过复位弹簧83吸收动作杆85的振动的环状的防振薄片97。换言之，在第二促动器室67内的复位弹簧83与第二促动器罩63的内壁面之间通过垫圈95设有防振薄片97。另外，防振薄片97由硅橡胶、氯丁二烯橡胶等耐热性橡胶(弹性体的一个例子)构成，与垫圈95 —起收纳在设在第二促动器罩63的内壁面的环状的收纳部99中。另外，可以不将垫圈95收纳在收纳部99的内侧。垫圈95与防振薄片97可以一体化。或者，可以从隔膜式促动器55的结构中省略垫圈95或收纳部99。
[0051]接着，说明本实施方式的作用及效果。
[0052]通过从气体导入口 27导入的废气经过涡轮机涡形流道29从涡轮机叶轮25的入口侧向出口侧流通，能够利用废气的压力能量产生旋转力(旋转转矩)，使转子轴9及压缩器叶轮13与涡轮机叶轮25 —体地旋转。由此，能够压缩从空气导入口 15导入的空气，经过扩散流道17及压缩器涡形流道19从空气排出口 21排出，能够对供给到发动机的空气进行增压。
[0053]在车辆用增压机I的运转中，当增压压力(空气排出口 21的压力)到达设定压，解除来自负压泵69的负压的施加状态时，利用复位弹簧83的作用力，隔膜77的中央部向促动器轴向的一方侧(左方向)位移。于是，动作杆85向促动器轴向的一方侧移动，能够使联杆部件53向正方向(在图1及图4中为顺时针方向)摆动。由此，阀45通过柱39及安装部件43向正方向(打开方向)摆动，能够打开旁通通道33的开口部。由此，能够将从气体导入口 27导入的废气的一部分在涡轮机叶轮25中分支，减少向涡轮机叶轮25侧供给的废气的流量。另外，在本实施方式中，通过打开旁通通道33的开口部，减少向涡轮机叶轮25侧供给的废气的流量。但是，在其他实施方式中，可以通过打开旁通通道的开口部，增加向涡轮机叶轮侧供给的废气的流量。
[0054]另外，在打开旁通通道33的开口部后，当增压压力小于设定压力，从负压泵69向第二促动器室67施加负压时，隔膜77的中央部克服复位弹簧83的作用力向促动器轴向的另一方侧(右方向)位移。于是，动作杆85向促动器轴向的另一方侧移动，使联杆部件53向反向(在图1及图4中为逆时针方向)摆动。由此，阀45通过柱39及安装部件43向反向(关闭方向)摆动，能够关闭旁通通道33的开口部。由此，能够断开旁通通道33内的废气的流动，增加向涡轮机叶轮25侧供给的废气的流量。另外，在本实施方式中，通过关闭旁通通道33的开口部，向涡轮机叶轮25侧供给的废气的流量增加。但是，在其他实施方式中，可以通过关闭旁通通道的开口部，减少向涡轮机叶轮侧供给的废气的流量。
[0055]另外，在增压压力小于设定压力的场合，通过控制EVRV73并调节施加在第二促动器室67上的负压，隔膜77的中央部适当地向促动器轴向位移。于是，动作杆85向促动器轴向移动，能够使联杆部件53适当地向正反方向摆动。由此，能够连续或断续地调节阀45的开度，能够根据发动机的运转状况，使向涡轮机叶轮25侧供给的废气的流量可变(调节)。
[0056]并且，如图1、图2及图3(b)所示，由于在第二促动器室67内的隔膜77与复位弹簧83之间设有由耐热性的橡胶等弹性体构成的防振薄片93，因此，即使在车辆用增压机I的运转中产生来自负压泵69侧的脉动(脉动压力)及来自发动机侧的废气的脉动(脉动压力)，也能够利用防振薄片93吸收(阻尼)由上述脉动产生的动作杆85的振动。或者，如图3(a)、(b)所示，在第二促动器室67内的复位弹簧83与第二促动器罩63的内壁面之间设有由耐热性的橡胶等弹性体构成的防振薄片97，因此，能够在车辆用增压机I的运转中，利用防振薄片97吸收(阻尼)由上述脉动产生的动作杆85的振动。由此，能够抑制车辆用增压机I运转中的阀45的振动。
[0057]尤其如图3(b)所示，在第二促动器室67内的隔膜77与复位弹簧83之间、以及第二促动器室67内的复位弹簧83与第二促动器罩63的内壁面之间分别设有防振薄片93、97的场合，也能够在车辆用增压机I的运转中，利用防振薄片93、97有效地吸收由上述脉冲产生的动作杆85的振动，能够更充分地抑制阀45的振动。
[0058]另外，由于在第二护圈81与复位弹簧83之间设有垫圈91，因此，能够利用复位弹簧83的作用力降低作用在防振薄片93上的面压力，抑制防振薄片93的劣化(下垂)。同样地，即使在将防振薄片97用于隔膜式促动器55的场合，在复位弹簧83与第二促动器罩63的内壁面之间设有垫圈95，因此，也能够利用复位弹簧83的作用力降低作用在防振薄片97上的面压力，抑制防振薄片97劣化(下垂)。
[0059]如上所述，根据本发明的实施方式，能够抑制车辆用增压机I运转中的阀45的振动，因此，能够减少来自废气旁通阀35的振动音，提高废气旁通阀35的静音性。
[0060]另外，在抑制防振薄片93的劣化，并且将防振薄片97用于隔膜式促动器55的场合，也能够抑制防振薄片97劣化，因此，能够提高隔膜式促动器55的耐久性。
[0061](其他实施方式)
[0062]参照图7至图9(a)、(b)说明本发明的其他实施方式。另外，图中的“L”表示左方向，“R”表示右方向。
[0063]如图7及图8所示，本发明的其他实施方式的隔膜式促动器101与本发明的实施方式的隔膜式促动器55(参照图1)相同，是用于使废气旁通阀35(参照图5)进行动作的促动器。另外，隔膜式促动器101具有与隔膜式促动器55相同的结构。因此，以下仅对隔膜式促动器101的结构中、与隔膜式促动器55的结构不同的部分进行说明。另外，对隔膜式促动器101的多个结构要素中、与隔膜式促动器55对应的要素，在图中标注相同符号。
[0064]在本发明的其他实施方式中，第二促动器室67不是能从作为负压的压力源的负压泵69 (参照图2)施加负压的压力室，为能从作为正压的压力源的空气排出口 21施加正压的压力室。因此，作为大气室的第一促动器室65为低压侧的促动器室。另外，第二促动器室67通过配管路径(路径)103连接在空气排出口 21。施加在第二促动器室67的正压通过利用E⑶75控制配设在配管路径103的途中且通过连络用的配管路径105连接在空气导入口 15的DSV107而能调节。另外，可以代替DSV107使用EVRV。
[0065]代替在第二促动器室67内设有复位