传感器及其制造方法与流程

文档序号:13698258阅读:来源:国知局
技术总结
根据一个实施例,公开了一种传感器。所述传感器包括:基板;第一固定电极,其被布置在所述基板上;可动电极,其被布置在所述第一固定电极之上并且能非平行地移动;第二固定电极,其被布置在所述可动电极之上。所述传感器还包括检测器,所述检测器用以检测第一电容与第二电容之间的差,其中,所述第一电容是所述第一固定电极与所述可动电极之间的电容,所述第二电容是所述可动电极与所述第二固定电极之间的电容。

技术研发人员:池桥民雄;
受保护的技术使用者:株式会社东芝;
文档号码:201510518658
技术研发日:2015.08.21
技术公布日:2016.07.06

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