技术特征：
技术总结
本发明公开了一种三维异形微通道加工装置及方法，其中加工装置包括利用贵金属粒子加工三维异形微通道的反应组件、用于带动反应组件改变位姿的驱动组件、用于检测反应组件位置信息的检测组件、以及用于根据检测组件检测到的位置信息控制驱动组件调整反应组件的位姿的控制器，反应组件和检测组件均安装在驱动组件上，控制器与驱动组件以及检测组件均连接。本发明所提供的加工装置，利用控制器对驱动组件的控制，改变反应组件的位置，实现贵金属粒子在反应组件内移动轨迹的改变，完成三维异形微通道加工，结构简单、制作成本低，可大批量生产，有较大的推广空间，可以实现同形状的三维异形微通道的重复刻蚀，提高了被加工件的生产效率。
技术研发人员：高健;张学志;陈新;陈云;汤晖;杨志军;贺云波;张昱;张凯
受保护的技术使用者：广东工业大学
技术研发日：2017.09.07
技术公布日：2018.02.06