一种量子传输型高性能薄膜感知材料及其制备方法与流程

文档序号:16259708发布日期:2018-12-14 21:24阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及新材料技术领域,且公开了一种量子传输型高性能薄膜感知材料,包括以下重量份数配比的原料:叉指电极20‑50克、单晶硅片50‑90克、SiO2绝缘层10‑30克、金属薄膜20‑40克、Pd纳米粒子50‑100克、PMMA保护层60‑80克、Cr纳米粒子50‑100克、Ni纳米粒子50‑100克、AI纳米粒子50‑100克、PET塑料100‑120克和Pd‑Ni合金纳米粒子50‑100克。该量子传输型高性能薄膜感知材料的制备方法,量子电导纳米薄膜感知材料具有极高的灵敏度,如量子电导纳米应变薄膜感知材料的灵敏度可比常规的金属应变片高几十到上百倍,纳米粒子点阵的等效电阻在M欧以上,远远大于金属箔片的电阻,因此可以实现低功耗(纳W到微W量级)与微型化,易于与电学测量单元集成于一个芯片上,与MEMS高度兼容。

技术研发人员:周剑峰;赵明国;宋翔宇;韩民
受保护的技术使用者:苏州纽劢特新材料科技有限公司
技术研发日:2018.08.14
技术公布日:2018.12.14
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