电泳沉积装置及其采用电泳沉积法制备薄膜的方法与流程

文档序号:11147494阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种电泳沉积装置,包括电泳槽,其特征在于,还包括:

绝缘板,设置在所述电泳槽的敞口端,所述绝缘板上设置有通孔,所述通孔的内壁上设置有凹槽或凸起;

阳极固定板,放置在所述凹槽或者凸起上;

阳极,一端连接在阳极固定板上,另一端伸入电泳槽内;

多个阴极,外包围所述阳极,一端连接在绝缘板上,另一端伸入电泳槽内,

其中,通过旋转阳极固定板调整所述阳极和多个阴极的相对角度。

2.根据权利要求1所述的电泳沉积装置,其特征在于,所述绝缘板上设置有多个通槽,开设方向与所述通孔相交,用于架设所述多个阴极,通过所述阴极沿着所述通槽滑动,调整所述阴极和阳极的相对距离。

3.根据权利要求2所述的电泳沉积装置,其特征在于,所述阴极放置在所述通槽的方式包括以下两种方式中的一种或两种:一种方式,所述阴极的一端的尺寸大于所述通槽的尺寸,所述阴极的另一端的尺寸小于所述通槽的尺寸,所述阴极的另一端穿过所述通槽,所述阴极的一端架在所述通槽上;第二种方式,所述通槽的内壁上设置有架设凹槽或者凸起,所述阴极放置在所述凹槽或者凸起上。

4.根据权利要求2所述的电泳沉积装置,其特征在于,所述通孔和通槽的一个或者多个上设置有刻度,所述通孔上的刻度表示角度,所述通槽上的刻度表示放置在该槽上的阴极与所述阴极平行的阳极之间的相对距离。

5.根据权利要求1所述的电泳沉积装置,其特征在于,还包括:

升降单元,与所述绝缘板连接,用于调整所述绝缘板与所述电泳槽的相对距离,从而调整所述阴极和阳极插入电泳槽内电泳液的深度。

6.根据权利要求1所述的电泳沉积装置,其特征在于,所述阳极和阴极中的一个或多个通过导电基板连接到阳极固定板或绝缘板。

7.一种利用权利要求1所述电泳沉积装置采用电泳沉积法制备薄膜的方法,其特征在于,包括:

在电泳槽内放置电泳液;

将绝缘板架设在电泳槽上,将多个阴极与所述绝缘板连接,将所述阳极与所述阳极固定板连接,将阳极固定板架设在绝缘板的通孔内;

通过旋转阳极固定板设定与所述阳极平行的阴极;

在上述阳极和阴极之间通入设定电压,所述电泳液电泳沉积设定时间得到薄膜;

重复上述步骤,通过旋转阳极固定板实现在不同阴极上的沉积。

8.根据权利要求7所述的制备薄膜的方法,其特征在于,还包括:

调整阳极和与所述阳极平行的阴极的相对距离。

9.根据权利要求7所述的制备薄膜的方法,其特征在于,还包括制备电泳液,所述制备电泳液包括:

碳纳米管粉末加入蒸馏水和含芳香基团的非离子表面活性剂,进行水浴搅拌和超声,得到分散液;

取上述分散液和六水硝酸镁加入异丙醇中,超声振荡得到碳纳米管薄膜沉积所需的电泳液。

10.根据权利要求7所述的制备薄膜的方法,其特征在于,还包括:

当与所述阳极平行的阴极有多个时,同时对多个阴极施加设定电压,同时在多个阴极上进行电泳沉积。

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