一种小型薄平板工件多区域电镀装置的制作方法

文档序号:26052248发布日期:2021-07-27 15:28阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种小型薄平板工件多区域电镀装置,其特征在于,该装置包含电机(1)、阳极引出系统(2)、电镀槽(3)、电源(4)及控制器(5),其连接关系是,所述阳极引出系统(2)的两侧分别与电镀槽(3)、电机(1)相连接,阳极引出系统、电镀槽(3)通过引线分别连接至电源(4)的正极、与电源(4)的负极,所述电机(1)与控制器(5)相连接;

其中,所述阳极引出系统(2)由导电滑块(6)、绝缘杆(7)、铜帽(8)、阳极接头(9)及传动杆(10)组成,所述铜帽(8)的上端与绝缘杆(7)的下端螺纹连接,绝缘杆(7)的上端与导电模块(6)螺纹连接,铜帽(8)与导电模块(6)之间通过导线电连接,所述铜帽(8)的下端面夹有阳极材料,阳极材料浸没于电镀槽(3)所装的电镀液中,所述阳极引出系统(2)、电镀槽(3)及电源(4)组成闭合回路,所述阳极引出系统(2)的导电滑块(6)通过传动杆(10)连接至电机(1);

所述的电镀槽(3)包括可旋转式的电镀槽体(16)及底座结构;

所述底座结构由底座外壳(11)、底座支撑平台(12)、底座弹簧盖(13)、底座紧固环(14)、压缩弹簧(15)、镀槽底座(17)、底座盖板(18)及金属薄片基底(19)组成;所述底座外壳(11)内部下端安装底座弹簧盖(13),将压缩弹簧(15)下端卡入底座弹簧盖(13)上方的凸槽处,压缩弹簧(15)上端卡入底座支撑平台(12)下方的凸槽处;所述底座紧固环(14)与底座外壳下端内部的螺纹连接;所述镀槽底座(17)中心开有镀片盛放槽,金属薄片基底(19)放置于镀槽底座(17)的镀片盛放槽内,且镀槽底座(17)放置于底座支撑平台(12)上方;所述电镀槽体(16)放置于金属薄片基底(19)上方,所述底座盖板(18)具有“l”形开口,通过将底座盖板(18)套设于电镀槽(16)外周并向下压紧并旋转,以将底座外壳(11)卡死固定。

2.根据权利要求1所述的小型薄平板工件多区域电镀装置,其特征是:所述的电镀槽体(16)由呈“倒t”字形空腔结构及可拆卸式电镀槽体底部组成,在该可拆卸式电镀槽体底部安装有垫圈;所述空腔结构下端开有垫圈槽并安装有垫圈。

3.根据权利要求2所述的小型薄平板工件多区域电镀装置,其特征是:所述的可拆卸式电镀槽体底部所开设的垫圈槽形状为圆形、方形、一字棱边或十字棱边中任意一种。

4.根据权利要求2所述的小型薄平板工件多区域电镀装置,其特征是:所述的电镀槽体(16)空腔结构内的底部中央设有台阶。

5.根据权利要求1所述的小型薄平板工件多区域电镀装置,其特征是:所述的电镀槽体(16)可旋转角度范围为0度~180度。

6.根据权利要求1所述的小型薄平板工件多区域电镀装置,其特征是:所述的电镀槽体(16)采用聚四氟乙烯材料制成。

7.根据权利要求1-5任一项所述的小型薄平板工件多区域电镀装置,其特征是:所述金属薄片基底的厚度为微米级。


技术总结
本发明公开了一种小型薄平板工件多区域电镀装置,该装置包含电机、阳极引出系统、电镀槽、电源及控制器,所述阳极引出系统的两侧分别与电镀槽、电机相连接,阳极引出系统、电镀槽通过引线分别连接至电源的正极、与电源的负极,所述电机与控制器相连接。该装置能够实现平面薄金属基底及超薄基底的区域电镀,通过采用带弹簧的底座,在电镀中保证基底受力均匀,压力可控,最后使得基底平整;采用四方的电镀槽设计,能有效防止圆形基底出现位移,电镀完成后能方便完成区域的转换;同时采用十字垫圈进行区域的划分和密封。本发明简化了平面基底分区电镀的操作程序,降低了手动掩蔽法的不平行现象。

技术研发人员:何遥;邓建;胡睿;陈琪萍;郭继军;李刚;涂俊;王定林
受保护的技术使用者:中国工程物理研究院核物理与化学研究所
技术研发日:2021.04.27
技术公布日:2021.07.27
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