技术特征:

1.一种真空泵,其特征在于:

包括:外罩(110),其作为带有一侧流入端口(111)与另一侧排出端口(112)及侧壁吸入端口(113)且内部形成有与所述吸入端口(113)连通的真空舱室(C)的中空型构件,外罩由包括带有吸入端口(113)的主要部件(115)在内的2个以上的部件(115、116、117)配置成一列而构成,这种情况下,沿所述主要部件(115)与相邻部件(116、117)间的接触面(S1、S2)形成有多个相互锁扣装置(118a、118b),从而实现主要部件(115)相对所述相邻部件(116、117)的旋转及由此带动所述吸入端口(113)的方向变换;

喷射部(120),其作为安装在所述外罩(110)内部的圆筒形构件,喷射部包括带有与所述流入端口(111)连通的一端供给口(122a)和与所述排出端口(112)连通的另一端排出口(122b)及经由所述真空舱室(C)与吸入端口(113)连通的侧壁通孔(123)的喷射器本体(121);

提供所述各部件(115、116、117)间的紧贴力的装置。

2.根据权利要求1所述的真空泵,其特征在于:

所述锁扣装置(118a、118b)为凸起-凹槽方式或旋转形锯齿方式的对应结构。

3.根据权利要求1所述的真空泵,其特征在于:

所述外罩(110)还带有与真空舱室(C)连通的销毁端口(114)。

4.根据权利要求1所述的真空泵,其特征在于:

所述喷射部(120)还包括第1支撑件(124)和第2支撑件(125),第1支撑件和第2支撑件分别安装于所述本体(121)的两端部,第1支撑件和第2支撑件的外径与外罩(110)的内径接触,并且在设计上不妨碍所述外罩(110)的各端口(111、112、113)与本体(121)间的连通关系。

5.根据权利要求4所述的真空泵,其特征在于:

所述第1支撑件(124)中插入所述本体(121)的供给口(122a)侧端部并带有:

向流入端口(111)延长的供给线(126);

从形成在所述外罩(110)上的销毁端口(114)延长至真空舱室(C)的销毁线(128a)。

6.根据权利要求4所述的真空泵,其特征在于:

所述第2支撑件(125)中插入本体(121)的排出口(122b)侧端部并带有向排出端口(112、112a)延长的排出线(130)。

7.根据权利要求4至6中任一权利要求所述的真空泵,其特征在于:

所述第1支撑件(124)与第2支撑件(125)分别分离为直接对喷射器本体(121)进行支撑的内侧的主体部分和其外侧的突出部(127、131)部分,并通过位于各部分外面的“ㄷ”形夹具(132)连接。

8.根据权利要求1所述的真空泵,其特征在于:

所述真空泵(100)包括:作为提供紧贴力的装置的挤压装置(140、146),该挤压装置(140、146)位于外罩(110)的一侧或两侧,为各部件(115、116、117)间提供紧贴力。

9.根据权利要求8所述的真空泵,其特征在于:

所述挤压装置(146)是嵌入向外罩(110)一侧突出的喷射部(120)的外侧突出部(131)外径的卡环(146)。

10.根据权利要求8所述的真空泵,其特征在于:

所述挤压装置(140)包括:

与所述外罩(110)的两侧面接触的板(141);

插入到通过所述板(141)的安装孔(142)的喷射部(120)端部或突出部(127、131),对所述板(141)及各部件(115、116、117)加压使之紧密贴合的挤压件(143)。

11.根据权利要求10所述的真空泵,其特征在于:

所述板(141)是真空泵(100)固定用托架。

12.根据权利要求10所述的真空泵,其特征在于:

为了将外罩(110)牢牢固定,所述板(141)与所述相邻部件(116、117)一侧以通孔(144)-凸起结构的关系对应。

13.根据权利要求12所述的真空泵,其特征在于:

所述通孔(144)沿板(141)安装孔(142)的周边设置有多个,因此,能够执行对相邻部件(116、117)相对板(141)的旋转及方向设定。

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