加到真空泵上。
[0025]传感器26布置成感测转子或传动轴的径向移动何时由支承轴承组件限制。在所示的布置中，传感器相对于泵壳28固定，例如，固定至泵壳的外表面，且感测施加到泵壳上的力。传感器可为用于感测由施加力引起的泵壳的加速度的加速计。在操作之前确定’X’米每秒的加速度引起支承轴承组件的实施，且因此，在传感器感测到等于或大于’X’的加速度时确定已发生接触事件。
[0026]在其它布置中，传感器可包括用于检测转子或传动轴与支承轴承组件之间的接触的器件。一个此类布置可包括在接触时闭合的电路。另一个布置可包括接近开关。又一个布置可包括用于检测支承轴承组件的内圈和外圈的相对移动的器件。用于确定接触事件的发生的所有传感器布置包括在本发明的范围内。
[0027]加速计布置可在一些实施例中是优选的，因为其除感测冲击本身之外还能够感测冲击的大小。如果传感器布置成感测给予真空泵的力的大小，则感测的大小可与对支承轴承组件引起的破坏相关联。例如，支承轴承组件可在500次较强冲击或1000次较弱冲击之后失效。如下文更详细所述，当感测冲击的数目超过预定值(例如，10000次冲击)时，触发支承轴承组件的替换。强冲击在以上实例中可等于2次较弱冲击，且因此如果感测到强冲击，则尽管仅已感测到单次冲击，冲击的总数也增加了两次。该布置可具有表示强或弱冲击的两个值，且如果感测到弱冲击则数目加一，或如果感测到强冲击则数目加二。当然，冲击的强度可为了更准确而分成两个以上的不同强度。
[0028]在另一个布置中，施加到真空泵上的总聚集力可测量或可为由真空泵经历的总加速度。例如，如果以50N的力的冲击引起单次冲击，且10000次此类冲击意味着需要替换支承轴承，则施加到真空泵上的总的力为500000N。因此，当总的感测到的力超过500000N时，则触发替换。
[0029]具体参看图1，传感器布置成输出对应于接触事件的检测、施加到真空泵上的力或经历的加速度的信号30。传感器信号30输出至构造成处理输出的处理器32。在所示布置中，处理器包括比较器34，其用于将由加速计感测到的加速度与储存在储存器36中的值相比较，且如果加速度大于储存值则输出二进制的’ I’，或如果加速度小于储存值则输出二进制的’O’。可存在表示强和弱冲击的一个以上的储存值。二进制的’O’是没有已发生接触的确定，且因此读数设置在步骤38处。二进制的’I’在支承轴承组件限制转子或传动轴的径向移动时输出至用于计算事件数目的计算器40。计算器读数可显示在显示器42上来由使用者读取。如图所示，显示器显示15次事件。使用者可提供有一个值，高于该值就需要替换支承轴承组件，以便在显示器显示例如1000次事件或5000次事件时，使用者必须请求泵维护。作为备选，数目可输出至比较器44来将数目与允许的最大事件数目的值相比较。主动比较输出至单元46，来用于生成警告指示，例如，可听或可视警告。单元46可包括发射器，其用于通过有线连接或无线连接将警告指示发射至位于远离真空泵的泵供应者，其可确定泵维护的要求。
【主权项】
1.一种真空泵，其包括真空泵送机构，所述真空泵送机构包括受支承来由传动轴旋转的转子、用于在所述传动轴旋转期间控制所述转子移动的第一轴承组件、用于限制所述移动的支承轴承组件，以及用于感测所述移动何时由所述支承轴承组件限制的传感器。
2.根据权利要求1所述的真空泵，其中，所述传动轴的移动相对于所述传动轴的轴线通常在径向方向上。
3.根据权利要求1或权利要求2所述的真空泵，其中，所述支承轴承组件布置成通过与所述转子或所述传动轴接触来限制所述移动，且所述传感器布置成感测所述支承轴承组件与所述转子或所述传动轴之间的各次接触事件。
4.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵，其中，所述第一轴承组件为非接触轴承组件，其控制所述移动而不接触所述转子或所述传动轴。
5.根据权利要求4所述的真空泵，其中，所述第一轴承组件为磁性轴承组件。
6.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵，其中，所述第一轴承组件与所述转子或所述传动轴间隔开一定距离，所述距离大于所述支承轴承组件与所述转子或所述传动轴间隔开的距离。
7.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵，其中，所述传感器布置成感测给予所述转子或所述传动轴的力，其足以引起所述支承轴承限制由所述力引起的所述移动。
8.根据权利要求7所述的真空泵，其中，所述传感器为加速计。
9.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵，其中，所述传感器相对于泵壳固定。
10.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵，其中，所述传感器布置成将信号输出至计算器，其用于计算所述支承轴承组件已限制所述移动的事件的数目。
11.根据权利要求10所述的真空泵，包括指示器，其向使用者指出所述事件数目何时超过预测的所述支承轴承组件的故障的预定值。
12.根据权利要求11所述的真空泵，其中，所述指示器为显示出所述事件数目的显示器。
13.根据权利要求10所述的真空泵，其中，所述指示器包括用于通过有线或无线连接将事件数目发射至较远位置的发射器。
14.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵，其中，所述传感器布置成感测给予所述真空泵的力的大小，且取决于所述感测大小关联对所述支承轴承组件引起的破坏。
15.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵，包括涡轮分子真空泵送机构。
【专利摘要】本发明涉及一种真空泵(10)，其包括真空泵送机构(12)，该真空泵送机构(12)包括受支承来由传动轴(16)旋转的转子(14)、用于在传动轴旋转期间控制转子的移动的第一轴承组件(22)，用于限制所述移动的支承轴承组件(24)，以及用于感测所述移动何时由支承轴承组件限制的传感器(26)。
【IPC分类】F04D29-059, F04D27-00, F04D19-04
【公开号】CN104769285
【申请号】CN201380057294
【发明人】M.E.巴拉米, R.G.霍尔勒
【申请人】爱德华兹有限公司
【公开日】2015年7月8日
【申请日】2013年10月14日
【公告号】CA2886618A1, EP2914856A1, WO2014068276A1