专利名称：用于气动阀连续运行的电磁阀旁路系统的制作方法
用于气动阀连续运行的电磁阀旁路系统相关申请的交叉引用本专利申请是2011年9月26日提交的美国专利申请序列号13/245，280的部分继续申请，其全部内容通过弓I用特此并入本文。
背景技术：
本发明一般涉及用于控制エ业エ艺系统的电磁阀操作的阀装置，尤其是涉及在操作阀的电子控制器不仅在经历停机时间而且从该阀物理移除时允许エ业エ艺气体连续流过该阀的系统。现代加工或制造エ厂包括了无数的操作部件。这些部件结合在一起以形成由包含传感器和控制器的仪表和控制系统控制的系统。在这种エ厂中的仪表和控制系统不仅用于控制各种部件的功能以为了获得希望的エ艺条件，而且为了避免不安全的情况或条件，他们也提供设施以安全地改变或中止全部或部分エ厂系统的操作。例如，在半导体制造エ厂中，通过由众多的阀和压力传感器组成的气体输送设备操作气体/化学试剂，使各输送系统由专用的エ艺控制系统(控制器)控制。加工输送设备为加工工具供应气体/化学试剂，其中晶片制造是通过气动操作的阀进行的。这些阀是由通过电磁阀操作的导阀连接到气动控制源上的气动致动器操作的。在操作中，当ー个或多个操作关联的电磁阀操作的阀以预定的方式改变状态或位置时，例如当电磁阀操作的阀被控制器断电时，这类系统的电磁管操作的阀用于启动流体或气动供应被提供给处理阀致动器或从处理阀致动器排出的过程。在硅晶片上最終逐层产生半导体器件需要多种不同的加工工具和涉及多种气体的输送的许多エ艺步骤。由于这ー过程可能需要花费几天或几个星期(这取决于半导体器件的复杂性)，加工工具优选24/7运转。这需要能支持加工工具以供应恒定的、不间断的气体或化学试剂流的气体输送设备。工具上未事先安排的气体/化学试剂的中断可能会导致エ艺步骤的失败，这可能使得在那个时间处于线上的硅晶片无用。这种硅晶片损失的资金价值可能是非常大的，经常编列数百万美元收入的损失。因此，当由于任何原因(包括故障和维护)而导致控制电磁阀断电时，需要ー种装置和方法以确保在制造过程中流入气动阀的连续加压气体流。发明概述本发明通过提供用于操作流体输送系统的多个气动阀且能够供应不间断的流体流的电磁阀组件满足了这ー需要，该组件包括供应加压惰性气体的第一装置；多个电磁阀，其中各电磁阀能够处于通电状态和断电状态，各电磁阀包括与用于供应加压惰性气体的所述第一装置流体连通的内压カ端ロ(internal pressure port);当所述电磁阀处于通电状态时与相应气动阀和与所述内压力端ロ流体连通的内致动器端ロ(internalactuator port);当所述电磁阀在处于断电状态时与所述内致动器端ロ流体连通的内释放端ロ(internal relief port);所述多个电磁阀固定于其上的歧管,其中所述歧管流体内部连接到各电磁阀的各所述内压力端ロ、所述内致动器端口和所述内释放端ロ，并且其中所述歧管包括与各电磁阀的各内压カ端ロ流体连通的外压カ端ロ(external pressureport);和所述多个电磁阀中各电磁阀的专用外释放端ロ(external relief port),其中所述专用外释放端ロ与相应电磁阀的内释放端ロ流体连通，以使得当电磁阀中的ー个断电，供应加压惰性气体的第二装置可以连接到所述外释放端ロ并为由该电磁阀操作的相应气动阀提供压カ；以及用于对所述多个电磁阀中的各电磁阀通电和断电的控制器装置。在另ー个方面，本发明提供了用于经由电磁阀组件连续操作向加工工具输送流体的气动阀的方法，所述电磁阀组件包括供应加压惰性气体的第一装置；多个电磁阀，其中各电磁阀能够处于通电和断电状态，各个电磁阀包括与用于供应加压惰性气体的所述第一装置流体连通的内压カ端ロ ；当所述电磁阀处于通电状态时与相应气动阀和与所述内压力端ロ流体连通的内致动器端ロ ；和当所述电磁阀处于断电状态时与所述内致动器端ロ流体连通的内释放端ロ ；所述多个电磁阀固定于其上的歧管，其中，所述歧管内部流体连接到各电磁阀的各所述内压力端ロ、所述内致动器端口和所述内释放端ロ，并且其中所述歧管包括与各电磁阀的各内压カ端ロ流体连通的外压カ端ロ ；和所述多个电磁阀中的各电磁阀的专用外释放端ロ，其中所述专用外释放端ロ与相应电磁阀的内释放端ロ流体连通，以使得当电磁阀中的ー个断电时，供应加压惰性气体的第二装置可以连接到所述外释放端ロ并为由该电磁阀操作的相应气动阀提供压カ；以及用于对所述多个电磁阀中的各电磁阀通电和断电的控制器装置，该方法包括如下步骤为所述歧管的至少ー个外压カ端口供应加压惰性气体；为至少一个所述电磁阀通电以使加压惰性气体流过所述至少ー个电磁阀的内压カ端ロ，通过该至少ー个电磁阀的外致动器端ロ(external actuator port)而到达相应气动阀；连接用于供应加压惰性气体的第二装置到所述歧管的至少ー个专用外释放端ロ ；为所述歧管的至少ー个专用外释放端口供应加压惰性气体；对供应加压惰性气体的所述第ニ装置经由所述专用外释放端ロ连接于其上的至少ー个通电的电磁阀断电；和将加压惰性气体通过所述外致动器端ロ从所述专用外释放端口供应到由所述断电的电磁阀操作的相应气动阀。在又ー个方面中，本发明提供了一种用于操作流体输送系统的多个气动阀并能够供应不间断的流体流的系统，该系统包括至少能够容纳至少ー个流体输送装置的流体系统外壳；固定在所述流体系统外壳上但可从所述流体系统外壳移除的控制器；固定在所述控制器并可与所述控制器分离的面板，该面板包括多个电磁阀，其中各电磁阀能够处于通电状态和断电状态，各电磁阀包括与供应加压惰性气体的第一装置流体连通的内压カ端ロ ；当所述电磁阀处于断电状态时与相应气动阀和与所述内压力端ロ流体连通的内致动器端ロ ；和当电磁阀处于断电状态时与所述内致动器端ロ流体连通的内释放端ロ ；和所述多个电磁阀固定于其上的歧管，其中所述歧管内部流体连接到各电磁阀的各所述内压力端ロ、所述内致动器端口和所述内释放端ロ，并且其中所述歧管包括与各电磁阀的各内压カ端ロ流体连通的外压カ端ロ ；和所述多个电磁阀中各电磁阀的专用外释放端ロ，其中所述专用外释放端ロ与相应电磁阀的内释放端ロ流体连通，以使得当电磁阀中的ー个断电时，供应加压惰性气体的第二装置可以连接到所述外释放端ロ并为由该电磁阀操作的相应气动阀提供压力，其中所述控制器能够与所述面板分离地从所述流体系统外壳上移除而使得所述面板保持在所述流体系统外壳上。在随后的公开内容和所附的权利要求中，本 发明的其他方面、特征和实施方式将更加清楚。
附图简要说明
图1是现有技术的电磁阀组件的透视图。图2是本发明电磁阀组件的一个实施方式的透视图。图3是根据本发明的电磁阀组件的横截面视图，其中电磁阀处于通电状态。图4是图3所示的电磁阀组件的横截面视图，其中电磁阀处于断电状态。图5是本发明的系统的透视图。图6是本发明的系统的另一透视图。发明详述參考附图中给出的图形，在下文中详细描述本发明的说明性实施方式。为阐述清楚，附图中所示的类似特征使用类似的附图标记标明，且在附图中的可选实施方式中所示的类似的特征使用类似的附图标记标明。本发明涉及用于操作流体输送系统的多个气动阀并能够供应不间断的流体流的电磁阀组件。如本文所使用的，术语“不间断的”或“连续的”在涉及エ业加工工具设备的操作时是指该加工工具不经历致使该工具无法操作或使得应用该工具的エ艺步骤失败的大量停机时间或延迟。如本文所使用的，术语“流体”是指液体、气体或气态的化学试剂。图1举例说明用于操作例如エ业气体处理设备(如为半导体加工工具输送气态化学试剂的气柜)上的气动阀的典型的现有技术电磁阀组件I。现有技术的电磁阀组件I通过包含传感器和微处理器(未示出)的专用エ艺控制系统经由导线5电学控制。现有技术的电磁阀组件I包括固定到歧管4上的多个电磁阀2，该歧管4为各个电磁阀2中的气动端ロ(未示出)提供内部连接。各个电磁阀2控制相应的气动阀，而该气动阀又为加工エ具输送气体或气态化学试剂。歧管4包括外致动器端ロ 6(专用于各个电磁阀2的ー个端ロ)(配件未示出)、外压カ端ロ 3 (配件未示出)和外释放端ロ 8 (配件未示出)。加压惰性气体例如空气或氮气经由外压カ端ロ 3引入以为各个电磁阀2供应加压惰性气体，以使得当通电时，各电磁阀2将加压惰性气体通过外致动器端ロ 6经由柔性管道(未示出)供应给相应气动阀(未示出)。一旦断电，加压惰性气体通过外释放端ロ 8从电磁阀2排出。外压カ端ロ 3和外释放端ロ 8沿歧管4的长度延续，并与各电磁阀2流体连通。在此配置中，如果控制器变为不可操作的和需要进行修理，则需要关闭整个歧管，且因此由该电磁阀操作的所有工具被关闭，因而引起制造过程的中断并潜在地引起导致收入损失的エ艺步骤失败。图2是本发明的一个实施方式的电磁阀组件10的透视图。电磁阀组件10包括多个电磁阀2，其中各电磁阀2能够处于通电状态和断电状态。如图1的电磁阀，各个电磁阀2控制气动阀，气动阀随之输送气体或气态化学试剂到エ业加工工具，例如在硅晶片上的半导体制造过程的步骤中采用的加工工具。本领域的普通技术人员已知的任何电磁阀可以应用在本发明中。在本发明中使用的合适电磁阀的ー个实例是美国SMCCorporation(Noblesville, IN)出售的VlOO系列的三通电磁阀。各个电磁阀2包括与供应加压惰性气体的第一装置(未示出)流体连通的内压カ端ロ(未示出)。供应加压惰性气体的第一装置可以是，例如，连接到例如加压缸或者室空气或氮气管线的气动压力管线。当电磁阀处于通电状态时，各个电磁阀2还包括与相应的气动阀(未示出)和与内压カ端ロ流体连通的内致动器端ロ(未示出)。当电磁阀处于断电状态时，电磁阀组件10的各个电磁阀2还包括与内致动器端ロ流体连通的内释放端ロ(未示出)。仍然參考图2，电磁阀装置10包括电磁阀2固定于其上的歧管4。歧管4内部流体连接到各电磁阀的各内压カ端ロ、内致动器端口和内释放端ロ。歧管4包括外致动器端ロ 6 (专用于各个电磁阀2的一个外致动器端ロ)，加压惰性气体通过它经由柔性管道(未示出)流到相应的气动阀(未示出)。歧管4还包括至少ー个外压カ端ロ 3。外压カ端ロ 3沿歧管4的长度延续，并与各电磁阀的各个内压力端ロ流体连通(内部)以为电磁阀2供应加压惰性气体。歧管4可以具有超过ー个外压カ端ロ 3以与另ー电磁阀组件串联连接。在不需要额外的串联连接吋，为保持对电磁阀的内部压力，一个外压力端ロ可以安装塞子。歧管4可以由适合用于所需的操作压カ的任何材料制成。ー个典型的操作压カ是从约50psi至约lOOpsi，优选地是从约70psi到约SOpsi。金属是歧管4的优选材料，且铝和不锈钢是优选金属的实例。歧管4还包括用于多个电磁阀2中各电磁阀的专用外释放端ロ 8，其中外释放端ロ8与相应电磁阀2的内释放端ロ流体连通。正如本文所使用的，术语“专用外释放端ロ”是指，与如现有技术的图1中所示的相反，当电磁阀处于断电状态时，各电磁阀2具有与内致动器端ロ流体连通的其自己的释放端ロ，在现有技术的I中，外释放端ロ与超过ー个电磁阀流体连通。利用这种配置，当ー个电磁阀2断电时，供应加压惰性气体的第二装置可连接到外释放端ロ 8并为由该电磁阀2操作的相应气动阀供应压力，从而绕过外压力端ロ 3而不需要对相应电磁阀2通电。提供加压惰性气体的第二装置可以是，例如，连接到例如加压缸或者室空气或氮气管线的气动压力管线且可以与第一装置相同或可以是连接到相同供应缸或室空气或氮气气源的単独管线。第二装置的作用在下面的段落中更详细地描述。电磁阀组件10还包括用于对多个电磁阀中各个电磁阀通电和断电的控制器装置(未示出)。控制器装置优选地包括逻辑微处理器和传感器，并可以是本领域的技术人员熟知的任何控制器装置。图3和图4图解说明本发明的电磁阀组件10的操作。參照图3，显示了电磁阀组件10的剖面图，其中电磁阀2按照控制器(未示出)指令处于通电状态。加压惰性气体，例如空气，在外压カ端ロ 3处被引入到歧管4。在通电状态下，电磁阀2允许在外压カ端ロ3与外致动器端ロ 6之间的内部流体连通，加压空气经其流过以经由柔性管道(未示出)安全地操作相应气动阀(未示出)。图4图解说明图3中的电磁阀组件，其中电磁阀2处于断电状态。例如，电磁阀2可以是组件10中由于多种原因(例如，控制器故障或常规维护)而断电的唯一电磁阀2或几个电磁阀中的ー个。当气体流到需要维护的气动阀吋，气动压力管线可以经由专用外释放端ロ 8连接到电磁阀2 (或任何其它的需要旁路的电磁阀2)。然后，例如空气压カ提供到各个专用外释放端ロ 8，如由图3中的箭头所示在电磁阀2处于通电状态时，其当前不与外致动器端ロ 6流体连通。一旦该电磁阀被绕过，控制器可以被断电或被处于空闲状态，电磁阀立即断电使空气流从外压カ端ロ 3转向到专用外释放端ロ 8。作为本发明操作的结果，在控制器(且因此特定的电磁阀2)被断电以允许进行控制器或电磁阀2的维护时，传送路径中的气动阀不会发生气动压力的损失并继续使气体或气态化学试剂流动。因此，本发明的电磁阀组件允许选择性的电磁阀被绕过以确保加工工具的连续操作。在本发明的另ー个实施方式中，提供了用于操作流体输送系统的多个气动阀并能够供应不间断的流体流的系统。參照图5和图6，系统20包括能够容纳至少ー个流体输送装置(未示出)的流体系统外壳22。流体系统外壳22的功能是在气缸转换过程中或在有害气体泄漏发生时确保对于工作人员的安全环境。流体系统外壳22必须被连接到适当设计的连续操作排气系统上以提供安全的环境。流体系统外壳22提供用于从有害气缸、气缸连接和盘管中的任何泄露气体的次级容纳，及处理面板。排气系统连续地将任何泄漏的有害气体从流体系统外壳移除至安全的处置系统。优选地，流体系统外壳22是由12gage(0. 004毫米)的钢以完全焊接接缝构成并用耐腐蚀的聚氨酯涂料保护。流体系统外壳22优选大到足以容纳一至三个缸。通常提供一个或多个排气器以连接到排气系统。优选地，流体系统外壳22具有带窗的12gage (0. 004毫米)钢质门，窗是用1/4英寸厚(6. 4毫米)的金属丝强化安全玻璃制成。也可以提供温 度活化的(165° F/74°C )喷头。优选地，形成的托架被安装在机壳内部以稳固地支持其中容纳的各缸。按照本发明使用的流体系统外壳的实例是从Air Products and Chemicals, Inc (Allentown, PA)购买的 APll GASGUARD 。流体输送系统可包含用于输送给工具的有害加工气体的气罐或气缸。示例性的气体包括应用在微电子制造中的加工气体，例如氨、氯化氢、三氯化硼、氟化氢、三氟化硼、硫化氢、氯、ニ氧化氮、三氟化氯、五氟化磷、ニ氯硅烷、四氯化硅、氟、四氟化硅、溴化氢和六氟化钨。參考图6,本发明的系统还包括控制器24。控制器24优选是容纳于金属外壳内的基于微处理器的単元。控制器24的功能是连续监测系统的输入并自动地由顺序的阀致动执行吹扫操作。通过检查清洗循环中各步的压力和真空确保足够的吹扫。如果出现不安全的状况，控制器24优选还具有关闭系统的能力。控制器24优选包括使操作员容易地了解该操作并快速辨别操作问题以及显示开阀和关阀的颜色方案的屏幕(未示出)。优选地，控制器24还包括停机警报箱和/或紧急切断阀(机械/气动)。这样的控制器也以从AirProducts and Chemicals, Inc (Allentown, PA)购买的 APll GASGUARD 为例。再次參照图5和图6，本发明的系统20包括面板26，其包括根据本发明和以上详细描述的至少ー个电磁阀组件10。面板26可以由任何合适的材料制成，虽然优选为铝或不锈钢。面板26优选包括围绕其周边的垫圈以在有害物质变成未包容的情况中更好地密封控制器24内部的电子器件以与周围环境隔离。面板26被固定到控制器24上并且可与其分离。面板26也固定到流体系统外壳22上。可以通过本领域技术人员已知允许面板26与控制器24和/或流体系统外壳22的重复分离和连接的任何方法将面板26固定到控制器24上和流体系统外壳22上，包括螺钉、螺栓或其它紧固装置。如本文所使用的，术语“可分离的”在涉及到面板26时是指面板26能够与控制器24分离，从而控制器24可以从流体系统外壳22移除而无需将本发明的电磁阀组件10从流体系统外壳22移开，这允许进行旁通从而在控制器(且因此特定电磁阀)完全移开以进行设备维护或新控制器和相关电子器件更换时，使输送路径中的气动阀不会发生气动压力损失并使气体或气态化学试剂继续流动。利用该配置，为手动和气动绕过电磁阀，単一气动管(即提供加压惰性气体的第ニ装置)(未示出)可以经由电磁阀组件上的插塞式连接进入控制器中。然后气动三通(tee)可以应用到控制器内的该管上，并连接到能使气流持续所需的特定电磁阀上。一旦连接到正确的电磁阀上，压カ就施加到流入管上。现在控制器可以断电，这也会使电磁阀断电。被气动绕过的电磁阀保持开放。如果需要，控制器然后可以被物理移除，留下连接在气体系统外壳22上的面板26。一旦控制器维护完成或新控制器被安装，被气动绕过的电磁阀可以回复到正常的控制器功能并除去临时的气动管路。考虑到本发明电磁阀组件10的操作的描述，本发明还提供了用于经由电磁阀组件连续操作输送流体到加工工具的气动阀的方法。该方法包括以下步骤向歧管的至少ー个外压力端口供应加压惰性气体；对至少ー个电磁阀通电以允许加压惰性气体通过至少一个电磁阀的内压カ端ロ，通过至少一个电磁阀的外致动器端ロ流到相应气动阀；连接供应加压惰性气体的第二装置到歧管的至少ー个专用外释放端ロ ；供应加压惰性气体到歧管的 至少ー个专用外释放端ロ ；对供应加压惰性气体的第二装置经由专用外释放端ロ连接于其上的至少ー个通电的电磁阀断电；和通过外致动器端ロ从专用外释放端口供应加压惰性气体到由断电的电磁阀操作的相应气动阀。上述内容主要目的是为了说明。虽然本发明已就其示例性实施方式展示和描述，本领域的技术人员应当理解上述和各种其他的形式和细节上的变化、省略和添加而不脱离本发明的精神和范围。
权利要求
1.一种操作流体输送系统的多个气动阀且能够供应不间断的流体流的电磁阀组件，该组件包括 用于供应加压惰性气体的第一装置； 多个电磁阀,其中各个电磁阀能够处于通电状态和断电状态,各电磁阀包括 与用于供应加压惰性气体的所述第一装置流体连通内压力端口； 当所述电磁阀处于通电状态时与相应的气动阀和与所述内压力端口流体连通的内致动器端口 ；和 当所述电磁阀处于断电状态时与所述内致动器端口流体连通的内释放端口； 所述多个电磁阀固定于其上的歧管，其中所述歧管与各电磁阀的各所述内压力端口、所述内致动器端口和内释放端口内部流体连接，并且其中所述歧管包括 与各电磁阀的各内压力端口流体连通的外压力端口 ；和 所述多个电磁阀中各电磁阀的专用外释放端口，其中所述专用外释放端口与相应电磁阀的所述内释放端口流体连通，以使得当所述电磁阀中的一个断电时，供应加压的惰性气体的第二装置可以连接所述外释放端口并为由该电磁阀操作的相应气动阀提供压力；和 用于对所述多个电磁阀中的各电磁阀断电和通电的控制器装置。
2.一种用于经由电磁阀组件连续地操作向加工工具输送流体的气动阀的方法，该电磁阀组件包括提供加压惰性气体的第一装置；多个电磁阀，其中各个电磁阀能够处于断电和通电状态，各个电磁阀包括与用于供应加压惰性气体的第一装置流体连通的内压力端口 ；当所述电磁阀处于通电状态时与相应的气动阀和与所述内压力端口流体连通的内致动器端口 ；和当所述电磁阀处于断电状态时与所述内致动器端口流体连通的内释放端口 ；所述多个电磁阀固定于其上的歧管，其中所述歧管内部流体连通到各电磁阀的各所述内压力端口、所述内致动器端口和内释放端口，并且其中所述歧管包括与各电磁阀的各内压力端口流体连通的外压力端口 ；和所述多个电磁阀中各电磁阀的专用外释放端口，其中所述专用外释放端口与相应电磁阀的所述内释放端口流体连通，以使得当所述电磁阀中的一个断电时供应加压惰性气体的第二装置可以连接到所述外释放端口并为由该电磁阀操作的相应气动阀提供压力；和用于对所述多个电磁阀中各个通电和断电的控制器装置，该方法包括如下步骤 a)为所述歧管的至少一个外压力端口供应加压惰性气体； b)为至少一个所述电磁阀通电以使加压惰性气体流过该至少一个电磁阀的内压力端口，通过该至少一个电磁阀的外致动器端口而到达相应的气动阀； c)连接用于供应加压惰性气体的第二装置到所述歧管的至少一个专用外释放端口； d)为所述歧管的该至少一个专用的外释放端口供应所述加压惰性气体； e)对用于供应加压惰性气体的第二装置经由所述专用外释放端口连接于其上的该至少一个通电的电磁阀断电；和 f)通过外致动器端口从所述专用外释放端口将加压惰性气体供应到由所述断电的电磁阀控作的相应气动阀。
3.权利要求2的方法，其中所述电磁阀组件还包括连接各电磁阀的所述外致动器端口到相应气动阀的柔性管道。
4.权利要求2或3的方法，其中所述加压惰性气体是空气或氮气。
5.权利要求2-4中任一项的方法，其中所述歧管包括铝或不锈钢。
6.一种用于操作流体输送系统的多个气动阀且能够供应不间断的流体流的电磁阀组件，该组件包括 多个电磁阀,其中各个电磁阀能够处于通电状态和断电状态下,各个电磁阀包括 与用于供应加压惰性气体的第一装置流体连通的内压力端口； 当所述电磁阀处于通电状态时与相应气动阀和与所述内压力端口流体连通的内致动器端口 ；和 当电磁阀处于断电状态时与所述内致动器端口流体连通的内释放端口 ；和所述多个电磁阀固定于其上的歧管，其中所述歧管内部流体连接到各电磁阀的各个所述内压力端口、所述内致动器端口和内释放端口，并且其中所述歧管包括 与各电磁阀的各内压力端口流体连通的外压力端口 ；和 所述多个电磁阀各个的专用外释放端口，其中所述专用外释放端口与相应电磁阀的内释放端口流体连通，以使得当所述电磁阀中的一个断电时，供应加压惰性气体的第二装置可以连接到所述外释放端口并为由该电磁阀操作的相应气动阀提供压力。
7.权利要求1或6的电磁阀组件，还包括连接各电磁阀的所述外致动器端口到相应气动阀的柔性管道。
8.权利要求1、6或7的电磁阀组件，其中所述加压惰性气体是空气或氮气。
9.权利要求1和6-8中任一项的电磁阀组件，其中所述歧管包括铝或不锈钢。
10.一种用于操作流体输送系统的多个气动阀且能够提供不间断的流体流的系统，该系统包括 能够容纳至少一个流体输送装置的流体系统外壳； 固定在所述流体系统外壳上但可移除的控制器； 固定在所述控制器上并可与控制器分离的面板，该面板包括 多个电磁阀,其中各电磁阀能够处于通电状态和断电状态,各电磁阀包括 与供应加压惰性气体的第一装置流体连通的内压力端口； 当所述电磁阀处于通电状态时与相应气动阀和与所述内压力端口流体连通的内致动器端口 ；和 当所述电磁阀处于断电状态时与所述内致动器端口流体连通的内释放端口； 所述多个电磁阀固定于其上的歧管，其中所述歧管内部流体连接到各电磁阀的各所述内压力端口、所述内致动器端口和所述内释放端口，并且其中所述歧管包括 与各电磁阀的各内压力端口流体连通的外压力端口 ；和 所述多个电磁阀中各电磁阀的专用外释放端口，其中所述专用外释放端口与相应电磁阀的内释放端口流体连通，以使得当电磁阀中的一个断电时供应加压惰性气体的第二装置可以连接到外释放端口并为由该电磁阀操作的相应气动阀提供压力， 其中所述控制器能够与面板分离地从所述流体系统外壳上移除，从而所述面板保持在所述流体系统上。
11.权利要求10的系统，其中所述电磁阀组件还包括连接各电磁阀的所述外致动器端口到相应气动阀的柔性管道。
12.权利要求10或11的系统，其中所述加压惰性气体是空气或氮气。
13.权利要求10-12中任一项的系统，其中所述歧管包括铝或不锈钢。
14.权利要求10-13中任一项的系统,其中所述面板包括钢板和垫圈。
15.权利要求10-14中任一项的系统，其中所述控制器包括机械气动截止阀。
全文摘要
本发明提供了能够提供连续的加压惰性气体流从而无中断地操作加工工具的电磁阀组件。也提供了包含该电磁阀装置的系统。
文档编号F16K11/22GK103016793SQ20121038015
公开日2013年4月3日 申请日期2012年9月26日 优先权日2011年9月26日
发明者A·J·史密斯, J·C·巴索尔德, W·J·达克斯 申请人:气体产品与化学公司