本申请主张于2014年12月24日提出的日本专利申请2014-260917号的优先权，并在此引用其全部内容。技术领域本发明涉及具备隔膜式可变节流部的可变节流形静压轴承。
背景技术：
在具备隔膜式可变节流部的可变节流形静压轴承中，为了使隔膜的振动衰减性变大而使包含静压兜和可变节流部的流体回路的振动衰减，有在与隔膜的可动方向垂直的面的中央部具备可变节流部，在隔膜的外周部与隔膜保持部件之间设置狭窄间隔的间隙，通过在间隙充满工作流体来抑制隔膜的振动的技术。参照日本特开平10-196655号公报的图7。因为隔膜的位移量在中央部最大且在周边部小，所以在日本特开平10-196655号公报记载的现有技术中，存在有助于抑制振动的隔膜的周边部的位移量小，而难以给予足够的衰减性的情况。
技术实现要素：
本发明的目的在于，提供具备通过在所希望的位置配置衰减机构而能够容易地实现所希望的衰减性的隔膜式可变节流部的可变节流形静压轴承。作为本发明的一个方式的可变节流形静压轴承包括：静压兜，其设置于轴承面；流体供给装置，其向上述静压兜供给流体；流体流路，其形成从上述流体供给装置到上述静压兜的流体的流路；可变节流部，其设置于上述流体流路的中途，对流体的流量进行节流并使该流体流入上述静压兜。上述可变节流部具备：流体存积室；流体供给室，其在中央部具备突起部；隔膜，其将上述流体供给室与上述流体存积室之间分隔，该隔膜的与自身的厚度方向正交的面，与上述突起部隔开规定的缝隙正对；以及设置于上述突起部且与上述静压兜连通的流路，通过上述隔膜和上述突起部之间的缝隙的开度来调整节流量。上述可变节流形静压轴承还包括：活塞，其一端与上述隔膜的与上述突起部正对的面的背面接触；缸部，其将上述活塞收容成能够滑动，并与上述活塞一起构成流体室；以及；弹性部件，其按压上述活塞的另一端，并且被收容于上述缸部内。在上述方式的可变节流形静压轴承中，上述缸部也可以构成为一端被封闭，流体室内的流体经由上述活塞与上述缸部内径之间的缝隙出入。根据上述方式的可变节流形静压轴承，由于从流体室流出的流体的粘性阻力，而具有阻碍隔膜向离开突起部的方向的运动的作用。因此，在包含静压兜和可变节流部的流体回路产生振动而隔膜沿其厚度方向振动的情况下，对隔膜的振动施加阻碍而赋予衰减性。因为活塞与隔膜分离，所以能够配置于隔膜的与突起部正对的面的背面的所希望的位置，因此能够实现容易设定所希望的衰减特性的可变节流形静压轴承。在上述方式的可变节流形静压轴承中，上述活塞也可以构成为在小径部的轴向两端具备大径部。根据上述方式的可变节流形静压轴承的发明，能够分别设定活塞的大径部的轴向长度的总和、以及大径部的端部之间的最大轴向距离。活塞的大径部的轴向长度的总和影响粘性阻力的大小，大径部的端部之间的最大轴向距离影响活塞的倾斜。因为能够分别设定两者，所以能够实现能够防止过大的活塞的倾斜，并且能够将粘性阻力设定为最佳的可变节流形静压轴承。在上述方式的可变节流形静压轴承中，也可以构成为上述活塞的一端具有比上述活塞的大径部的剖面积小的剖面积。根据上述方式的可变节流形静压轴承，因为能够使活塞与隔膜的接触部的面积变小，所以能够使接触面压变大，能够防止在接触部产生流体膜。因为流体膜使阻力的响应变差并使衰减性降低，所以防止流体膜有助于衰减性的提高。因此，能够实现衰减性更大的可变节流形静压轴承。在上述方式的可变节流形静压轴承中，也可以构成为在上述隔膜的不与上述突起部对置的部位，具备连结上述流体供给室与上述流体存积室之间的流路。根据上述方式的可变节流形静压轴承，因为在隔膜具备连结流体供给室和流体存积室的流路，所以不需要在外部具备流路。可变节流部的构造变得简单，能够以低成本实现可变节流形静压轴承。附图说明通过以下参照附图对本发明的优选实施方式进行的详细描述，本发明的其它特征、构件、过程、步骤、特性及优点会变得更加清楚，其中，附图标记表示本发明的要素，其中，图1是表示本实施方式的滑动工作台装置的整体构成的概略图。图2是图1的A-A剖视图。图3是图2的B部的可变节流部的细节图。图4是活塞部的细节图。图5是变形方式的可变节流部的细节图。图6是图5的C向视图。具体实施方式以下，通过将本发明用于工作台进给装置的事例对本发明的实施方式进行说明。如图1所示，工作台进给装置1是通过将工作台2以能够滑动的方式安装于底座10的滑动部，将一对背板5安装于工作台2的两端的下部而能够仅沿X轴向移动的构造。如图2所示，在工作台2的与底座10对置的轴承面，具备朝下的两处静压兜2a，并具备横向对置的一对静压兜2c。在静压兜2a、2c连通有可变节流部3，在可变节流部3分别连通有供油管路4。在供油管路4连结有泵11(流体供给装置)并供给流体。在背板5具备朝上的静压兜5a，在静压兜5a连通有可变节流部3，在可变节流部3分别连通有供油管路4。图3表示可变节流部3的细节。可变节流部3为如下所述的构造：具备流体供给室31a的可变节流部底座31、和具备流体存积室32a的盖32，以流体供给室31a与流体存积室32a对置，并在它们之间夹住隔膜33的外周部的方式被紧固。可变节流部底座31在流体供给室31a的中央部具备突起部31b和排出口31c。盖32在流体存积室32a的中央部具备圆筒形的盲孔亦即缸部32b。在缸部32b的内部能够滑动地收容有活塞34。在由活塞34和缸部32b构成的流体室32c的内部，以将活塞34向隔膜33的方向按压的方式压缩配置有螺旋弹簧35。活塞34被该按压力按压于隔膜33。在隔膜33位于中立位置的情况下，突起部31b与隔膜33具备缝隙t2并且正对。流体存积室32a经由形成在盖32上的流路32d与供油管路4连通，流体供给室31a经由形成在可变节流部底座31上的流路31d和上述流路32d与供油管路4连通，排出口31c经由工作台2的流入路2b与静压兜2a连通。基于图4对活塞34的细节进行说明。活塞34具有小径部34b和配置于小径部34b的轴向两端的大径部34a。在本实施例中大径部34a为两个。活塞34还具备与隔膜33接触的端部34c。两个大径部34a的直径是D2。小径部34b的直径设定为大径部34a的80％左右，端部34c的直径设定为大径部34a的直径D2的50％以下。对于大径部34a的长度而言，离端部34c远的一侧的长度是L1，靠近端部34c一侧的长度是L2。小径部34b的长度是L3。基于图3对可变节流形静压轴承的动作进行说明。若流体被供给至管路4，则流体经由流路32d充满流体存积室32a，并且流体经由缸部32b与活塞34的嵌合部的缝隙(节流部)也充满流体室32c。另一方面，流体经由流路32d和流路31d充满流体供给室31a，并且，流体供给室31a内的流体经由隔膜33与突起部31b之间的缝隙和排出口31c流入静压兜2a。在静压兜2a内，从静压兜2a与底座10之间的间隔t1的缝隙流出。上述过程在沿工作台2的水平方向设置的静压兜2c和背板5的静压兜5a部也同样发生。作为其结果，底座10和工作台2以在静压兜2a部具备间隔t1的状态被保持。这里，隔膜33向离开突起部31b的方向位移时，隔膜33按压活塞34，活塞34被压入缸部32b内，从而流体室32c的体积减少，所以流体经由活塞34与缸部32b的嵌合部的缝隙(节流部)从流体室32c流出。因此，活塞34由于在嵌合部流动的流体的粘性阻力而受到位移速度降低的力，该力传递至隔膜33，从而隔膜33的位移速度也降低。在包含静压兜和可变节流部的流体回路产生振动的情况下虽然隔膜33想要振动，但粘性阻力作用于活塞34而防止该振动，即，成为具备衰减性的可变节流部。另一方面，在隔膜33向靠近突起部31b的方向位移时，作用于活塞34的减速力不传递至隔膜33。即，隔膜33的位移速度不降低。为了增大衰减的效果，隔膜33向离开突起部31b的方向位移时，隔膜33总是与活塞34接触，从而使衰减作用的时间最大化，这是有效的。为此，即使在隔膜33向靠近突起部31b的方向位移时，也需要活塞34不迟于隔膜33地位移。为此，可以设定活塞34的质量和螺旋弹簧35的按压力，以使由活塞34和螺旋弹簧35构成的振动系统的振动频率比隔膜33的振动频率大，或者使活塞34的加速度比隔膜33的振动的最大加速度大。并且，如图4所示，在本实施例中，通过在活塞34的轴向中央设置具有大径部34a的外径D2的80％左右的直径的小径部34b，在其两端设置产生节流效果的大径部34a，来实现所希望的节流特性，并且使活塞34的动作的稳定性提高。节流特性是将缸部32b的内径D1与活塞34的大径部34a的外径D2之差亦即缝隙的大小D1-D2、和大径部34a的长度之和L1+L2作为参数而被确定。另一方面，若活塞34相对于缸部32b倾斜，则大径部34a的两端部与缸部32b的内壁接触。若倾斜大，则活塞咬住缸部而不能平滑地运动。大径部34a的两端部之间的距离L越大，倾斜的程度越小。通过设定能够实现适当的节流特性的大径部34a的长度L1+L2、和为了成为由活塞的倾斜的允许值决定的L＝L1+L2+L3而设定L3的值，能够兼得所希望的节流特性和活塞34的动作的稳定性。另外，活塞34的与隔膜33接触的端部34c的直径设定为，大径部34a的直径D2的50％以下。因为端部34c的剖面积小，所以活塞34与隔膜33的接触部(端部34c与隔膜33接触的部分)的面压变高，难以在接触部产生油膜。若存在油膜，则从活塞34向隔膜33传递的力减少而衰减效果变差，所以为了不使衰减效果降低使端部34c的直径小是有效的。在以上的实施例中，经由流路31d进行流体向流体供给室31a的供给，但也可以如图5所示，在隔膜330的不与突起部310b对置的部位设置流路330a，从流体存积室320a经由流路330a向流体供给室310a供给流体。如图6所示，流路330a也可以在圆周上等间距配置多个。通过这样，能够取消可变节流部底座310的流路，构造变得简单。另外，通过螺旋弹簧35按压活塞34，但也可以采用橡胶、空气弹簧等其他弹性部件。此外，图5、图6的附图标记310、310a、310b、320、320a、320d、330分别与图3的附图标记31、31a、31b、32、32a、32d、33对应。