可变节流形静压轴承的制作方法

文档序号:13735460阅读:来源:国知局
技术特征:
1.一种可变节流形静压轴承,包括:静压兜,其设置于轴承面;流体供给装置,其向所述静压兜供给流体;流体流路,其形成从所述流体供给装置到所述静压兜的流体的流路;可变节流部,其设置于所述流体流路的中途,对流体的流量进行节流并使该流体流入所述静压兜,所述可变节流部具备:流体存积室;流体供给室,其在中央部具备突起部;隔膜,其将所述流体供给室与所述流体存积室之间分隔,该隔膜的与自身的厚度方向正交的面,与所述突起部隔开规定的缝隙正对;以及设置于所述突起部且与所述静压兜连通的流路;通过所述隔膜和所述突起部之间的缝隙的开度来调整节流量,在该可变节流形静压轴承中,还具备:活塞,其一端与所述隔膜的与所述突起部正对的面的背面接触;缸部,其将所述活塞收容成能够滑动,并与所述活塞一起构成流体室;以及;弹性部件,其按压所述活塞的另一端,并且被收容于所述缸部内。2.根据权利要求1所述的可变节流形静压轴承,其中,所述缸部的一端被封闭,流体室内的流体经由所述活塞与所述缸部内径之间的缝隙出入。3.根据权利要求1所述的可变节流形静压轴承,其中,所述活塞在小径部的轴向两端具备大径部。4.根据权利要求2所述的可变节流形静压轴承,其中,所述活塞在小径部的轴向两端具备大径部。5.根据权利要求1~4中任一项所述的可变节流形静压轴承,其中,所述活塞的一端具有比所述活塞的大径部的剖面积小的剖面积。6.根据权利要求1~4中任一项所述的可变节流形静压轴承,其中,在所述隔膜的不与所述突起部对置的部位,具备连结所述流体供给室和所述流体存积室之间的流路。
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