抽真空迅速的真空高阀的制作方法

本实用新型涉及真空设备使用的控制阀领域，具体涉及一种抽真空迅速的真空高阀。

背景技术：

真空镀膜技术，是在真空条件下采用物理或化学的方法，使物体表面获得所需要的膜体。真空镀膜技术根据其采用的方法不同可分为:蒸发镀、溅射镀、离子镀、束流沉积以及分子束外延等。为了获得更好的镀膜效果，更快地获得所要的真空度，在真空镀膜室和真空泵方面作了很多改进，但在真空阀方面一直没什么大的改进，而目前要快速达到最终高真空阀的真空度，一般通过多个泵设置成主泵和前置泵的方式来达到，能耗高，抽速也没快多少。

技术实现要素：

本实用新型主要解决的技术问题在于，提供一种抽真空迅速的真空高阀，且达到同样的真空度时能耗还低。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：抽真空迅速的真空高阀，包括阀体、气缸和阀罩盖，所述阀体内为中空结构，阀体上设有真空容器连接口、次真空泵连接口和高真空泵连接口，所述真空容器连接口经所述阀体内与所述次真空泵连接口、高真空泵连接口连通；所述阀体上设置所述气缸，气缸与所述阀体连接处密封连接；所述气缸的气缸轴伸入到所述阀体内，气缸轴的顶端设有阀罩盖，所述阀罩盖朝向所述高真空泵连接口，能在所述气缸轴驱动下关闭或打开所述高真空泵连接口；所述次真空泵连接口至少设有两个，且都设置在圆柱形阀体外表面的同一母线上，所述次真空泵连接口连接低真空泵和/或中真空泵。这样的设置可以在抽真空时由于侧面低真空泵的设置可以使得阀体内的空气具备向下向侧面移动的趋势，再配合下方的高真空泵，阀体内的空气往下运动的趋势被加大，而且由于侧面只是低真空泵，耗能较少，却由于其引导或者说帮助协助的作用，增加了原本高真空泵的抽速，而且是起到了“1加1大于2”的效果。

作为本实用新型抽真空迅速的真空高阀的进一步改进，次真空泵连接口设有三个，次真空泵连接口和真空泵之间还设置有预抽真空阀，三个预抽真空阀的尺寸规格一致，但小于阀体的尺寸，三个次真空泵连接口对应的真空泵分别为低真空泵、中真空泵和高真空泵；所述阀体内顶壁固定设有遥控风扇，阀体上设有允许红外线穿透的窥视窗，窥视窗的材质采用玻璃。这样的设置是另一个方案，也可以不设置预抽真空阀，三个次真空泵连接口直接连低真空泵、中真空泵和高真空泵，形成一个梯度，使得阀体内气体具备向下的移动趋势，协助下方真正抽真空的高真空泵；也可以如上所述，设置预抽真空阀，在做其他准备工作时（不打开预抽真空阀的预抽真空阀与阀体相连的通道）先用低真空泵、中真空泵和高真空泵分别对三个预抽真空阀抽真空至一定的真空度（由于不同真空度的真空泵的设置，由上至下的真空度是越来越高的），然后正式抽真空打开阀罩盖和预抽真空阀的预抽真空阀与阀体相连的通道（可以关闭侧面的三个真空泵，也可不关，关闭为优选方案，节省能耗并且由于前期的抽真空所以可以关闭），由于预抽真空阀内具备一定的真空度，所以起到引导协助气流向下的作用，使得整个抽真空的过程的时间大大缩短。虽然随着阀体内的空气越来越稀薄风扇吹出的风越来越小，但在刚开始由于阀体内空气很多，因此在初始阶段配合预抽真空阀，能够极大地加速刚开始的抽速，使得整体抽真空所需时间减小。遥控风扇配合窥视窗更好地实现风扇的设置，因此这样风扇能够固定设置在阀体的内顶壁无需担心由于电线要穿过阀体而导致要解决的密封问题。

作为本实用新型抽真空迅速的真空高阀的进一步改进，真空高阀通过高真空泵连接口与高真空泵连通；所述高真空泵连接口设置在阀体的内底壁上。

本实用新型通过多个次真空泵的设置，在抽真空初始给予空气助推，使得阀体内空气更易于向高真空泵处移动，使得抽真空更迅速，达到同样的真空度时能耗较以前的技术方案低；本实用新型可以在抽真空时由于侧面低真空泵的设置可以使得阀体内的空气具备向下向侧面移动的趋势，再配合下方的高真空泵，阀体内的空气往下运动的趋势被加大，而且由于侧面只是低真空泵，耗能较少，却由于其引导或者说帮助协助的作用，增加了原本高真空泵的抽速，而且是起到了“1加1大于2”的效果。

附图说明

图1为本实用新型抽真空迅速的真空高阀实施例一的纵剖图；

图2为本实用新型未连接下方高真空泵的正视图；

图3为本实用新型实施例二的纵剖图。

图中：1、阀体 2、气缸 3、遥控风扇 4、真空容器连接口 5、次真空泵连接口 6、气缸轴 7、阀罩盖 8、预抽真空阀 9、高真空泵连接口 10、窥视窗 11、低真空泵 12、中真空泵 13、高真空泵。

具体实施方式

为了对本实用新型的技术特征、目的以及效果有更加清楚地了解，现对照附图详细说明本实用新型的具体实施方式。

实施例一：

如图1、图2所示，抽真空迅速的真空高阀，包括阀体1、气缸2和阀罩盖7，所述阀体1内为中空结构，阀体1上设有真空容器连接口4、次真空泵连接口5和高真空泵连接口9，所述真空容器连接口4经所述阀体1内与所述次真空泵连接口5、高真空泵连接口9连通；所述阀体1上设置所述气缸2，气缸2与所述阀体1连接处密封连接；所述气缸2的气缸轴6伸入到所述阀体1内，气缸轴6的顶端设有阀罩盖7，所述阀罩盖7朝向所述高真空泵连接口9，能在所述气缸轴6驱动下关闭或打开所述高真空泵连接口9；所述次真空泵连接口5至少设有两个，且都设置在圆柱形阀体1外表面的同一母线上，所述次真空泵连接口5连接低真空泵11和/或中真空泵12。次真空泵连接口5设有三个，三个次真空泵连接口5对应的真空泵分别为低真空泵11、中真空泵12和高真空泵13；所述阀体1内顶壁固定设有遥控风扇3，阀体1上设有允许红外线穿透的窥视窗10，窥视窗10的材质采用玻璃。真空高阀通过高真空泵连接口9与高真空泵13连通；所述高真空泵连接口9设置在阀体1的内底壁上。

实施例二：

与实施例一的不同在于，如图3所示，次真空泵连接口5和真空泵之间还设置有预抽真空阀8，三个预抽真空阀8的尺寸规格一致，但小于阀体1的尺寸

以上内容是结合具体的优选技术方案对本实用新型所作的进一步详细说明，不能认定本实用新型的具体实施只局限于这些说明。对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本实用新型的保护范围。