抽真空迅速的真空高阀的制作方法

文档序号:11908842阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种抽真空迅速的真空高阀包括阀体、气缸和阀罩盖,阀体内为中空结构,阀体上设有真空容器连接口、次真空泵连接口和高真空泵连接口,阀体上设置气缸,气缸与阀体连接处密封连接;气缸的气缸轴伸入到阀体内,气缸轴的顶端设有阀罩盖,阀罩盖朝向高真空泵连接口,能在气缸轴驱动下关闭或打开高真空泵连接口;次真空泵连接口至少设有两个,且都设置在圆柱形阀体外表面的同一母线上,次真空泵连接口连接低真空泵和/或中真空泵。本实用新型通过多个次真空泵连接口的设置,可以在抽真空时分别将几个次真空泵连接口与低真空泵和或/中真空泵相连,这样由于最下方为高真空泵,上方的低真空泵等于给高真空泵一个协助,使得抽真空迅速。

技术研发人员:瞿建强;瞿一涛;黄仕强;陆彬锋
受保护的技术使用者:江阴市光科真空机械有限公司
文档号码:201621176257
技术研发日:2016.10.27
技术公布日:2017.05.17

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