抽真空迅速的真空高阀的制作方法

文档序号:11908842阅读:来源:国知局

技术特征:

1.抽真空迅速的真空高阀,其特征在于,包括阀体、气缸和阀罩盖,所述阀体内为中空结构,阀体上设有真空容器连接口、次真空泵连接口和高真空泵连接口,所述真空容器连接口经所述阀体内与所述次真空泵连接口、高真空泵连接口连通;所述阀体上设置所述气缸,气缸与所述阀体连接处密封连接;所述气缸的气缸轴伸入到所述阀体内,气缸轴的顶端设有阀罩盖,所述阀罩盖朝向所述高真空泵连接口,能在所述气缸轴驱动下关闭或打开所述高真空泵连接口;所述次真空泵连接口至少设有两个,且都设置在圆柱形阀体外表面的同一母线上,所述次真空泵连接口连接低真空泵和/或中真空泵。

2.根据权利要求1所述的抽真空迅速的真空高阀,其特征在于,所述次真空泵连接口设有三个,次真空泵连接口和真空泵之间还设置有预抽真空阀,三个预抽真空阀的尺寸规格一致,但小于阀体的尺寸,三个次真空泵连接口对应的真空泵分别为低真空泵、中真空泵和高真空泵;所述阀体内顶壁固定设有遥控风扇,阀体上设有允许红外线穿透的窥视窗,窥视窗的材质采用玻璃。

3.根据权利要求1所述的抽真空迅速的真空高阀,其特征在于,所述真空高阀通过高真空泵连接口与高真空泵连通;所述高真空泵连接口设置在阀体的内底壁上。

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