减压阀的制作方法

文档序号:12002745阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种减压阀,其特征在于:包括内固定阀管、外固定阀管、内移动阀管、外移动阀管和堵块,所述外固定阀管的第一端与真空腔体上的排气孔固定连接,所述内固定阀管固定设置在所述外固定阀管内,所述外移动阀管的第一端通过轴承与所述外固定阀管的第二端固定连接,所述内移动阀管的第一端设置在所述内固定阀管的第二端内部,所述内移动阀管的第二端设置在所述外移动阀管内部,所述堵块设置在所述外固定阀管的第二端内,且所述堵块与所述内移动阀管的中部外壁固定连接,所述内移动阀管的第二端通过与驱动装置与所述外移动阀管的内壁固定连接。

2.根据权利要求1所述的减压阀,其特征在于:所述驱动装置包括螺环和连接杆,所述内移动阀管的第二端设置有与所述螺环啮合的外螺纹,所述螺环通过螺纹与所述内移动阀管可转动连接,所述螺环的外侧面通过所述连接杆与所述外移动阀管的内壁固定连接。

3.根据权利要求2所述的减压阀,其特征在于:所述内固定阀管、所述外固定阀管、所述内移动阀管、所述外移动阀管、所述堵块和所述螺环的中轴线均重合。

4.根据权利要求3所述的减压阀,其特征在于:所述内固定阀管的长度小于所述外固定阀管的长度且长度之差大于所述堵块的厚度,所述内固定阀管的第一端端面与所述外固定阀管的第一端端面所在的平面重合,所述内移动阀管的外径等于所述内固定阀管的内径,所述内移动阀管的外径等于所述堵块的内径,所述堵块的外径等于所述外固定阀管的内径,所述外移动阀管的内径大于所述外固定阀管的外径,所述堵块的厚度小于所述螺环与所述外固定阀管的第二端端面的距离。

5.根据权利要求4所述的减压阀,其特征在于:所述内固定阀管的内侧面与所述内移动阀管的外侧面、外固定阀管的内侧面与所述堵块的外侧面均设置有适配且密封的滑槽和滑棱,所述滑槽和滑棱与内固定阀管的中轴线平行。

6.根据权利要求1所述的减压阀,其特征在于:所述内固定阀管的第一端与所述外固定阀管的第一端之间设置有加强筋。

7.根据权利要求1所述的减压阀,其特征在于:所述内移动阀管的第一端和所述堵块的第一端均设置有锥形结构。

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