技术特征：
技术总结
本发明公开了一种二维纳米柔性运动平台，二维纳米柔性运动平台包括：基座；终端平台；X向刚度自调节机构，X向刚度自调节机构包括：X向柔性导向件；第一Y向刚性连接件；Y向冗杂件；Y向刚度自调节机构，第一Y向刚度自调节机构包括：Y向柔性导向件；第一X向刚性连接件；X向冗杂件；X向柔性解耦机构，X向柔性解耦机构包括：第一X向柔性解耦件；第二Y向刚性连接件；第一Y向柔性解耦件；Y向柔性解耦机构，Y向柔性解耦机构包括：第二Y向柔性解耦件；第二X向刚性连接件；第二X向柔性解耦件；X向驱动器和Y向驱动器。根据本发明实施例的二维纳米柔性运动平台具有误差小、精度高等优点。
技术研发人员：张震;刘志青;洪楠;闫鹏
受保护的技术使用者：清华大学
技术研发日：2017.05.02
技术公布日：2017.08.04