一种防撞门阀的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种门阀，尤其是一种防撞门阀。
【背景技术】
[0002]在半导体制造领域，往往需要使用门阀。尤其是在高真空环境下进行半导体制造时，需要采用真空门阀以实现大气与真空的隔断以及真空腔室之间的隔断。
[0003]以应用在真空环境为例，如图1和图2所示，通常，真空门阀具有打开和关闭两种状态。正常操作时，将玻璃基板放置于真空机械手臂上，并通过真空机械手臂将玻璃基板从腔室的入口端12送入(真空)腔室I。当出现故障(例如，真空机械手臂或玻璃基板停止在腔室的入口端12)并且没有发生报警时，真空门阀自动关闭该真空门阀的门阀阀板的挡板2，挡板2会与真空机械手臂或玻璃基板发生碰撞。
[0004]具体地，当真空机械手臂由于故障而停止在腔室的入口端且无报警信息时，真空门阀关闭门阀阀板会导致机械手臂变形；当在传送过程中由于玻璃基板倾斜掉落而停止在腔室的入口端且无报警信息时，真空门阀关闭门阀阀板会导致破片，需要花费较长时间进行清理保养;在设备保养时，真空门阀误操作有可能会夹到操作人员，引起安全事故。因此，有必要提供一种防撞门阀。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型的目的在于提供一种防撞门阀，以解决在腔室的入口端存在诸如玻璃基板、机械手臂、操作人员等障碍物时，由于门阀阀板与障碍物碰撞而导致的设备故障及人员安全问题。
[0006]为了达到上述目的，本实用新型提供了一种防撞门阀，包括腔室、门阀阀板、检知系统、控制装置和常开式停止阀，所述门阀阀板包括具有关阀进气口端的气缸机构和用于开关所述腔室的挡板，所述气缸机构与所述挡板连接，所述常开式停止阀设置于所述气缸机构的关阀进气口端，所述控制装置分别与所述常开式停止阀和检知系统连接，所述控制装置根据所述检知系统探测到的所述腔室的入口端障碍物的存在情况控制所述常开式停止阀的开关状态。
[0007]进一步地，所述控制装置在所述检知系统检测到所述腔室的入口端存在障碍物时控制所述常开式停止阀由开切换为关，所述控制装置在所述检知系统检测到所述腔室的入口端障碍物清除时控制所述常开式停止阀由关切换为开。
[0008]进一步地，所述检知系统包括第一检测装置和第二检测装置，所述第一检测装置设置在第二检测装置上方，并固定在腔室的外壳上，所述第二检测装置固定在挡板上。
[0009]进一步地，所述第一检测装置为用于发送和接收检测信号的光电传感器，所述第二检测装置为反光板。
[0010]进一步地，所述第一检测装置和第二检测装置的数量均为多个。
[0011]进一步地，所述第一检测装置和第二检测装置均为光电传感器，所述第一检测装置为光电传感器的发送器或接收器，所述第二检测装置为光电传感器的接收器或发送器。
[0012]进一步地，所述第一检测装置和第二检测装置的数量均为多个，多个所述第一检测装置均为光电传感器的发送器，多个所述第二检测装置均为光电传感器的接收器。
[0013]进一步地，通过机械手臂在所述腔室内外搬运基板，所述障碍物为基板或机械手臂。
[0014]进一步地，还包括固定在所述腔室的入口端处的密封圈，所述挡板在关闭腔室时与密封圈相接触。
[0015]进一步地，所述腔室为真空腔室。
[0016]本实用新型提供了一种防撞门阀，通过设置检知系统和常开式停止阀实现了在腔室的入口端存在障碍物时切断气缸机构的关阀进气口端的进气，进而使得气缸机构无法带动挡板运动，有效避免了门阀阀板的挡板和障碍物的碰撞。具体地，避免了机械手臂与门阀阀板发生碰撞导致机械手臂损坏变形的情况，避免了机械手臂与掉落的玻璃基板相撞而产生破片问题，避免了由于误操作而夹伤操作人员的情况。
【附图说明】
[0017]图1为现有技术中门阀在打开状态时的主视图；
[0018]图2为现有技术中门阀在关闭状态时的侧视图；
[0019]图3为本实用新型实施例提供的防撞门阀在打开状态时的主视图；
[0020]图4为本实用新型实施例提供的防撞门阀在关闭状态时的侧视图。
[0021 ]图中，1:腔室，2:挡板，3:气缸机构，4:第一检测装置，5:第二检测装置，6:控制装置，7:关阀进气口端，8:开阀进气口端，9:常开式停止阀，10:外壳，11:密封圈，12:腔室的入口端，13:连杆。
【具体实施方式】
[0022]下面将结合示意图对本实用新型的【具体实施方式】进行详细的描述。根据下列描述并结合权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
[0023]如图3?4所示，本实用新型实施例提供了一种防撞门阀，包括腔室1、门阀阀板、检知系统、控制装置6和常开式停止阀9，所述门阀阀板包括具有关阀进气口端7的气缸机构3和用于开关腔室I的挡板2，所述气缸机构3通过连杆13与挡板2连接，通过控制气缸机构3的进气和排气可带动挡板2运动，进而实现对腔室I的开关。
[0024]在本实施例中，气缸机构3具有关阀进气口端7和开阀进气口端8。在通过气缸机构3带动挡板2进而打开腔室I时，从气缸机构3的开阀进气口端8进气，从气缸机构3的关阀进气口端7排气;在通过气缸机构3带动挡板2进而关闭腔室I时，从气缸机构3的关阀进气口端7进气，从气缸机构3的开阀进气口端8排气。为了解决挡板2与障碍物碰撞的问题，所述常开式停止阀9设置于气缸机构3的关阀进气口端7，所述控制装置6分别与所述常开式停止阀9和检知系统连接，所述控制装置6根据所述检知系统探测到的所述腔室I的入口端障碍物的存在情况控制所述常开式停止阀9的开关状态。
[0025]具体地，所述控制装置6在所述检知系统检测到所述腔室I的入口端存在障碍物时控制所述常开式停止阀9由开切换为关，防止了挡板2与障碍物的碰撞。所述控制装置6在所述检知系统检测到所述腔室I的入口端障碍物清除时控制所述常开式停止阀9由关切换为开，实现了挡板2的复位。
[0026]本实用新型提供的防撞门阀可以应用在真空领域，也可以应用在非真空领