专利名称：用于测试未设置零件的印刷电路板的指状测试机及使用指状测试机测试未设置零件的印 ...的制作方法
技术领域：
本发明系有关一种用以测试未设置零件的印刷电路板之指状测试机，以及 一种使用此指状测试机以测试未设置零件的印刷电路板的方法。尤其系有 关一种具有复数个测试指之指状测试机，其中测试指能自动移动以与待测 试电路板之电路板测试点相接触。
背景技术：
用以测试电路板的测试机通常可以分为两类指状测试机(飞针)及平行 测试机。平行测试机为藉由一转接器同时与待测试电路板之全部或至少主 要接触点接触之测试机。指状测试机为用以测试未设置零件或有设置零件 的印刷电路板之测试机，其使用两个或更多个测试指依次扫描各接触点。 测试指通常连结至一滑块上，此滑块可沿着一横杆移动，而横杆可由一导 轨上引导并沿此导轨移动。因而滑块可定位于通常为一矩形测试阵列中之 任何期望之地点上。为了与一待测试电路板相接触，将滑块设计成可于横 杆上垂直移动或测试探针能沿滑块垂直移动，使得测试指可以从上方与/ 或从下方放置于电路板接触点、电路板测试点上。
指状测试机在欧洲专利案第0 468 153Al号中揭露，并且使用一指状测试 机以测试电路板的方法在欧洲专利案第0 853 242A1号中有揭露。 指状测试机之测试探针于欧洲专利案第1 451 594B1号、美国专利案第 6,384，614Bl号、世界专利案第03/096037A1号及欧洲专利案第0 990 912A2 号中有揭露。
欧洲专利案第1 451 594B1号揭露了用以测试电路板之指状测试机之测试 探针，此测试探针没有独立驱动。测试探针具有一测试针，测试针之针尖 可与一电路板之测试点相接触。测试针主要藉由至少两组弹性弹簧保持臂 固定至一基座上，其中至少一保持臂由导电材料制成并电连接至测试针上。 自上向下来看，保持臂组为横跨一三角形，使得在电路板接触期间所使用 的测试探针即使重量很轻，也具有高抗扭劲度以防止在接触过程中探针尖 之滑动。
世界专利案第03/096037A1号揭露了一种指状测试机及一种在指状测试机 支援下以测试电路板之方法，其中各测试指均配有一聚焦于测试针尖端处的照相机，使得照相机可用于侦测与电路板测试点接触之相应探针尖端之 任何偏离，并且电路板平面中测试指之位置可以适当修正。在此文件中， 照相机示意性地表示为在各探针尖端上方垂直排列。实际上，虽然照相机 没有在探针尖上方垂直排列，而是轻微偏于一侧，使得探针尖端视角方向
包含与垂直方向为30度至50度的角度范围。因而照相机可以自一角度观 测测试针之探针尖。透过此种方式，可靠地确保了即使必须在同时接触两 个相距很近之电路板测试点时，测试指不与照相机发生碰撞。此装置及相 应用以校正探针尖端位置之方法实际上很成功。此方法也可用于取得决定 测试针接触尖端及待测试的电路板测试点间局部关系之标准资料。 习知之指状测试机具有一与测试指相分离的照相机，并且在一电路板测试 点与测试针相接触之实际测试过程之前，此照相机可全部覆盖电路板之表 面。为达此目的，照相机类似于测试指平行于电路板作平面移动。照相机 排列为垂直地面对电路板表面。透过此种方式可取得电路板表面的全部影 像。由于照相机之排列为了可垂直地对电路板表面取像，较之以一角度固 定于此测试指上的照相机所取得的电路板表面影像具有明显更小的失真。 与电路板表面垂直排列的视角方向是符合需求的，因为在此种方式下，电 路板表面之影像品质较佳，并且可以取得电路板之全部影像，此影像在随 后的光学分析中更容易处理。
因此，如果用以侦测测试针之探针尖端位置的照相机能以相对于电路板表 面一垂直视角方向排列的话，是具有很大优点的，因为这样指状测试机能 够省去一用以拍摄电路板整个影像之照相机。此附属照相机需要一占据指 状测试机宝贵空间之独立驱动系统。接下来电路板整个影像被一属于测试 指之照相机取得。
欧洲专利案第1 122 546A2号中之测试机为一用以测试电路板之测试机。 此测试机具有一单独的照相机，照相机透过一固定于一角度之镜片扫描样 品表面，该测试机用一配设于镜片邻近处之发光二极体作为光源。
发明内容
依据世界专利案第03/096037A1号，本发明致力于开发一种指状测试机， 此种方式下，彼此相距很近的未设置零件的印刷电路板之电路板测试点可 在没有碰撞的情况下进行测试。并且此指状测试机较之传统测试机具有成 本效益。
此问题由申请专利范围权利要求第1项解决，其他的优点则由其附属权项定义。
本发明也致力于设计一种使用此装置进行电路板测试之方法，此方法使用 迅速且可靠。
此问题由申请专利范围权利要求第11项解决，其他的优点则由其附属项定 义。
本发明指状测试机藉由两个或多个测试指为各单独接触点提供了连续扫 描。透过习知之滑块以固定测试指，此滑块能沿一横杆移动。由于各测试 指具有一光侦测装置，此光侦测装置可光学扫描测试指目前所要检査的区 域，因此在光侦测装置间不存在碰撞的可能性。使用于本发明之侦测装置 具有一照相机及一导光单元，导光单元将测试点区域向上反射之光线自垂 直方向偏转至水平方向，并且将光线导引至照相机，照相机固定于滑块上， 并且滑块与测试探针相分离。
本发明所揭露之光侦测装置以相距测试点或待测试电路板表面不同距离之 方式排列，并且光侦测装置排列于不同高度之平面上。这里，距离的设置 要使得不同高度之平面相距足够远，即使滑块及测试探针移动至彼此相距 很近时，各导光单元均排列于另一个之上，而没有彼此碰撞的危险。 由于导光单元相距测试指之接触尖端不同高度，于电路板表面上垂直调节 导光单元之视角是可能的，而并不需要一个固定角度的位置。此种方式下 所取得之影像品质较之于以一固定角度定位之摄相机所取得之影像品质提 高很多。
因为导光单元分别相距一测试探针尖及一测试点之不同高度，自测试点至 照相机之光线运行距离之长度通常不同。由于导光单元机照相机必须聚焦 于测试点上，因而需要不同之接目镜。然而接目镜是昂贵的，并且要以对 于不同平面中的导光单元的不同焦距之方式来排列接目镜是相当费时且昂 贵的。
在本发明中，为了补偿相距测试点之不同高度，改变导光单元的长度，并 且为了减少导光单元在电路板上的固定高度，因而在光线偏转为水平方向 后，改变导光单元的光线穿越距离。因此自与电路板相距最近之光侦测装 置至固定于其上方之光侦测装置，导光单元变得越来越短。根据本发明， 其表示相同物镜及相同镜片配置可以一直使用，并且大幅减少装置的成本。 由于导光单元可以不同高度及不同平面中配置，在测试过程中，可以在测 试探针相距很近的情况下进行测量。在此种情况下，处于较高位置之导光 单元及光侦侧装置可能被一处于相应较低位置之导光单元及一照相机遮挡。
本发明之方法，适于同时被不同测试指测试但彼此相距很近之电路板测试 点之情况，其中固定于一第一导光单元上方之一个或多个导光单元被遮挡， 用被遮挡的导光单元，使用较低位置的导光单元及较低位置的照相机之影 像以光学地控制及监视此区域中所有测试指。
本发明之装置由于比较不需要预防碰撞的可能性，因此透过简单的设计方 式，即具有较佳之成本效益之优点，因此，测量的结果更可靠也更迅速 本发明的装置透过使用一照相机及一用以光学控制及侦测多个测试指之照 相机影像，因此具有大幅地提高测试速度之优点。。
以上之关于本发明内容之说明及以下之实施方式之说明用以示范与解释本 发明之精神与原理，并且提供本发明之申请专利范围更进一步之解释。
图1为用于本发明测试机之测试指之侧视图2为图1中之测试指之俯视图3为图1中之测试指之俯视透视图4为图1中两个测试指之示意图，其彼此相距很近，并且一导光单元位 于另一导光单元之上进行测试；
图5为图4中两个测试指之一进一步位于另一之上之示意图6为导光单元及一照相机之局部剖视与一光侦测装置之示意图7为图6中之装置之局部剖视仰视图8为一具有导光单元及一照相机之较高光侦测装置之局部剖视侧视图； 图9为图8中之装置之局部剖视仰视图10为一具有导光单元及一照相机之较高光侦测装置之又一实施例之局 部剖视仰视图，此光侦测装置具有一附属光单元； 图11为图10中之装置之局部剖视侧视图；以及
图12为图IO及第图11中之装置之横截面图，此横截面穿过位于附属光单 元区域中之导光单元。主要元件符号说明
1测试指 2测试针
3探针微晶片 4控制杆5致动装置
5a致动装置前侧
6固定装置
7支撑臂
7a长L形腿
7b短L形腿
7c自由端
8 致动臂
8a自由端
9顶轨道
9a自由端
10探针微晶片基座
10a自由端
10b 长L形腿
10c短L形腿
11、 12、 13、 14薄膜铰链
15致动杆
16横向螺栓
20侦测装置
21保持装置
22照相机模组
23导光单元
25前侧面
26管体
27导光单元头
28自由端
29孔
30偏转元件/镜片
31物镜
32箭头
35加宽部份36开口 /窗口 37管
38腔室
39发光二极体
40内壁
41侧内壁
42镜片
具体实施例方式
以下在实施方式中详细叙述本发明之详细特征以及优点，其内容足以使任 何熟习相关技艺者了解本发明之技术内容并据以实施，且根据本说明书所 揭露之内容、申请专利范围及图式，任何熟习相关技艺者可轻易地理解本 发明相关之目的及优点。
本发明测试指1具有一用作测试探针之测试针2，测试针2固定于一配设 于一探针微晶片3上之控制杆(lever arrangement) 4上。此探针微晶片可 分别由欧洲专利案第1 451 594B1号及美国专利案第2005-001639Al号中 获知。这些文献之全部内容可用作参考。依次地，控制杆4固定于一致动 装置5上，致动装置5具有一用以固定一滑块之固定装置6。 此滑块为指状测试机之一部份，例如欧洲专利案第0 468 153Al号中所揭 露。各测试指均具有一滑块，滑块可沿一横杆移动，横杆跨越于一固定有 待测试电路板之测试阵列上。
控制杆4为一自备全套之控制杆4，其具有一 L形第一支撑臂7、 一致动 臂8、 一顶轨道9以及一探针微晶片基座10。
支撑臂7藉由其长L形腿7a固定于致动装置5之下侧，并且自此处延伸。 短L形腿7b自长L形腿7a向下延伸，而一致动臂8大致沿平行于长L形 腿7a于远离短L形腿7b之方向上延伸。致动臂8藉由薄膜铰链11连结 至短L形腿7b上。致动臂8大致为三角形，其与支撑臂7之长L形腿7a 相对并且更宽且于短L形腿7b相对处形成自由端8a。致动臂8超出致动 装置5且越过长L形腿7a向外延伸。具有薄膜铰链12之顶轨道9位于相 对在支撑臂7之自由端7c处之短L形腿7b。顶轨道9平行于长L形腿7a 及致动臂8向外延伸，并且其自由端9a超出致动臂8之自由端8a —些向 外延伸。探针微晶片基座10大致为L形，藉由一薄膜铰链13连接长L形
10腿10b之自由端10a与顶轨道，长L形腿10b平行于支撑臂7之短L形腿 7b。短L形腿10c平行于顶轨道9向致动臂8延伸且藉由一薄膜铰链14 连接至致动臂8上。支撑臂7、致动臂8、顶轨道9及探针微晶片基座10 形成一完备的(self-contained)控制杆4。探针微晶片3配设于探针微晶片 基座10之短L形腿10c之下侧。
致动杆15自致动装置5穿越支撑臂7之长L形腿7a延伸出，致动杆15 藉由一横向螺栓16而附于致动臂8上。横向螺栓16在致动臂8之区域内 穿越致动杆15。当致动杆15向致动装置5运动时，致动臂8围绕薄膜铰 链ll作轴旋转，使得探针微晶片基座10围绕薄膜铰链13及14，与致动 臂8旋转方向相反而向下运动，使得测试针2可停驻于一电路板位置上。 此连接中，控制杆4或组成此控制杆之臂及轨道符合一定的设计，使得测 试针2之接触尖端执行一纯粹的垂直运动，而不是一水平或横向运动。总 而言之，当致动杆15被致动装置5拉紧时，探针微晶片基座10执行一俯 仰运动，此种方式下，测试针2之接触尖端向下运动。 光侦测装置20固定于测试指、探针微晶片基座10及顶轨道9之上。 光侦测装置20具有一配设于致动装置前侧5a上之保持装置21 。自保持装 置21开始，侦测装置20分别沿着平行于顶轨道9及致动臂8之方向延伸。 侦测装置20于邻近于保持装置21处具有一照相机模组22，自照相机模组 22开始，导光单元23沿着平行于顶轨道9之方向延伸至位于测试针2上 面一位置处。
如上所述，侦测装置20 (如图6至图12所示)具有照相机模组22及导光 单元23，照相机模组22为习知之照相机模组22，而导光单元23自照相机 模组22之一前侧面25向外延伸。导光单元23为一充分管状且具有一自照 相机模组22向外延伸之管体26，并且一导光单元头27安装于管体26之 自由端。导光单元头27类似于一管体，其在一自由端28朝向下方具有一 孔29。举例而言，孔29为正方形或矩形，即面向一测试针2。偏转镜片 30配设于导光单元头27中孔29之上方，偏转镜片30将穿过孔29之光线 偏转为水平光线，并且将光线导引至一物镜31，物镜31邻近于管体26且 固定于导光单元头27中。自测试针2之区域照射出之光线穿过孔29照射 至偏转镜片30上，并且被偏转镜片30偏转为水平方向且被导引至物镜31 上，然后光线聚焦至照相机模组22之一感光层或感光面积上。照相机模组 22通常包含有一具有光侦测表面及一附属物镜之光学感测器(CCD元件)。 测试针尖之影像藉由物镜31形成于光学感测器上，并且照相机模组22之附属物镜应用于此处。光线之路径分别由图8及图1中之箭头32表示。由 此可见，在偏转镜片30之支援下，位于待扫描电路板上方之照相机模组 22之视野方向与电路板表面成一直角，并且与可具有一电路板之测试阵列 成一直角。
这里使用了两个测试探针(如图4所示)，由于侦测装置20之第一测试探 针(如图4左侧所示)位于邻近测试探针2的第一平面区域中，而第二测 试探针(如图4右侧所示)的侦测装置20固定于一较高平面中，因而两个 侦测装置20具有足够的分隔距离，因此彼此不会发生碰撞。 因为要将自一电路板表面(图未示)至一照相机模组22之光侦测表面(图 未示)之光线路径保持为同样长度，对相距测试针2之探针尖端距离较近 之侦测装置20 (如图6及图7所示)而言，相距测试针2之探针尖端较大 距离之侦测装置20 (如图8及图9所示)设计为具有一导光单元头27。导 光单元头27致使偏转镜片30或者光线之偏转点更靠近于物镜31。透过此 种方式，对一指状测试机之所有测试指而言，自测试针2之尖端至光侦测 表面之光线路径保持固定。
为了补偿导光单元头27之变短，当然需要侦测装置20于测试针2之方向 上进一步靠近于致动装置5。侦测装置20及其偏转镜片30与各自相关测 试针2之尖端垂直排列。
在侦测装置20的优点中(如图10至图12所示)，导光单元头27具有一邻 近于孔29且平行于孔29两侧之加宽部份35，加宽部份35具有向下面对 一电路板之开口或窗口36。腔室38固定于开口或窗口36中或其后面。管 37之两侧保持有物镜且界定了孔29。各腔室38均具有一个或多个发光二 极体39。发光二极体39固定于例如一内壁40上，内壁40固定于邻近于 管37之侧壁上。镜片42固定于腔室38之相对侧内壁41上或前面，镜片 42具有粗糙或无光泽表面。同时，镜片42之定位应符合发光二极体39发 射之光线可向下导向至一电路板上之要求，因而可由于粗糙或无光泽表面 而获得一漫射光。自电路板表面反射之光线穿过孔29，然后被偏转镜片30 反射且穿过物镜31被导向至照相机模组22之合适层或合适区域。这种改 变是有利的，由于光线自一邻近于光线路径点之处发出并漫射，使得装置 评估及测试之可靠性得以大幅提高。
在上述实施例中， 一镜片30用作光偏转元件。在本发明之范围内，亦可利
用一棱镜或一弯曲光纤束以替代镜片30来偏转光线。
在指状测试机中，每个横杆通常具有两个或多个测试指(举例而言，请参阅世界专利案第03/096037A1号)。一指定测试指与同一横杆上之邻近测试 指或与一邻近横杆上之测试指发生碰撞是可能的。举例而言，假如一横杆 具有恰好两个测试指的话，如果侦测装置20以四个不同高度排列，其中一 横杆上之两个测试指为不同高度，而另一邻近横杆之两个测试指依次为更 不相同之高度，那么任何测试指间的碰撞可以可靠地避免。别的横杆上之 侦测装置可再次与其余横杆之侦测装置以同一高度排列，只要不与邻近横 杆上之侦测装置以同一高度排列。因此，对一横杆上有两个测试指之电路 板测试点而言，即使指状测试机在一侧具有复数个测试指，例如分布于五 个横杆上之十个测试指，四个高度就足够了。亦即，具有双倍于各横杆测 试指之高度数目就足够了。
本发明之方法适用于测试针2测试一电路板(图未示)上之彼此相邻近测 试点之情况，并且较高侦测装置20 (如「第4图」右侧所示)之导光单元 23被较低侦测装置20 (如「第4图」左侧所示)之导光单元23所遮挡之 情况。此外，控制系统配置成如果发现较低侦测装置20之影像被遮挡，较 高侦测装置20之测试指1也被用以控制较高侦测装置20。 如果使用多于两个的测试探针且多于两个的侦测装置及导光单元被遮挡 时，控制操作继续，直到所有被遮挡的侦测装置在各自控制的特殊情况下 使用最低侦测装置之影像为止。
本发明指状测试机具有能与电路板成直角之视角方向扫描待测试电路板表 面之优点。此特点之结果，与垂直方向成一角度的视角方向扫描电路板相 较，电路板表面之记录影像失真程度得以大幅减少。这样就简化了记录影 像之分析。以此种方式设计之侦测装置一方面允许与电路板测试点相接触 之测试针位置的控制，另一方面可保留的整个电路板之记录影像，用以进 一步分析，举例而言，可以用以与待测试电路板电脑辅助设计资料之合成 影像相比较。请参阅德国专利案第102006 005 800.3号。 本发明提出了世界专利案第03/096037Al号中之方法及装置之发展，此专 利之全部内容可用作参考。
本发明指状测试机可以以一种简单且具有成本效益之方式使用多个测试探 针用以对未设置零件的印刷电路板进行测试，而具有无需改变各目镜之焦 距之优点。
本方法可以使用多个感测器及多个测试指，具有即使在遮挡之情况下可以 进行迅速测试之优点，同时尽管受到遮挡，所有测试指均可使用。 虽然本发明以前述之实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明。在离本发明之精神和范围内，所为之更动与润饰，均属本发明之专利保护范 围。关于本发明所界定之保护范围请参考所附之申请专利范围。
权利要求
1. 一种指状测试机，用以测试未设置零件的印刷电路板，该指状测试机使用至少两个测试指(1)，各测试指具有一测试探针(2)，其中各测试探针(2)之上配设有一侦测装置(20)，用以光学地侦测该至少一测试探针(2)之接触尖端之位置，其中具有两个或多个该测试指(1)之该侦测装置(20)排列于垂直间隔之不同平面中，以使位于该测试探针(2)上之该侦测装置(20)之至少一些区域可被定位于其他区域之上，取垂直排列但并不发生接触。
2. 如权利要求1所述之指状测试机，其中各该侦测装置具有一导光单元 (23)，该导光单元具有一偏转元件(30)，其用以将自待测试电路板表面之光线偏转至一侦测表面，对不同侦测装置而言，其中该待测试电路板表 面至各该侦测表面之距离是固定的。
3. 如权利要求2所述之指状测试机，其中该各侦测装置(20)具有一照相 机模组(22)，该照相机模组具有一侦测表面，各该导光单元(23)具有一 孔(29)，用作测试探针(2)区域中自该电路板表面之反射光线之入口， 在该偏转元件(30)偏转的光线路径上配设有一物镜(31)，用以将光线聚 焦于照相机之一光侦测表面上，其中，与该电路板上之导光单元(23)之 高度无关，自该电路板至该偏转元件(30)及自该偏转元件(30)至该侦 测表面之光线路径保持为固定，并且相应于一较高高度，为了补偿该较高 高度，该导光单元(23)与/或自该偏转元件(30)至该侦测表面之距离 变得较短。
4. 如权利要求2或3所述之指状测试机，其中该偏转元件为一镜片、棱镜 或导光块。
5. 如权利要求1至4任意一项所述之指状测试机，其中于该侦测装置(20) 上配设有至少一发光装置(39)，该发光装置向一待测试电路板发射漫射光 线，并且照亮该待测试电路板上与该测试探针(2)相接触之区域。
6. 如权利要求5所述之指状测试机，其中该侦测装置(20)具有一带有孔 (29)之外壳，该孔用作自该待测试电路板表面发射之光线之入口，并且该发光装置配置于邻近该孔(29)处。
7. 如权利要求5或6所述之指状测试机，其中该发光装置具有一于侧面发 射光线之光源及一镜片(42 ),该镜片用以向 一待测试电路板表面偏转光线， 该镜片具有一无光泽或粗糙表面。
8. 如权利要求5至7任意一项所述之指状测试机，其中该发光装置具有一 或多个发光二极体(39)作为光源。
9. 如权利要求2至8任意一项所述之指状测试机，其中该导光单元(23) 自该照相机模组(22)之前侧面(25)向外延伸，该导光单元(23)为一 管状且具有一自该照相机模组(22)向外延伸之一第一管体(26)， 一导光 单元头(27)配设于该管体(26)之一自由端，该导光单元头也为一管体， 并且其中安装有一偏转元件(30)及一物镜(31)。
10. 如前述任意一项权利要求所述之指状测试机，其中该测试探针(20)安 装于一控制杆(4)上，其中该控制杆藉由一探针微晶片(3)固定至一致 动装置(5)上。
11. 如权利要求10所述之指状测试机，其中该控制杆(4)为一完备之控制 杆，其具有一大致上为L形之第一支撑臂(7)、 一致动臂(8)、 一顶轨道(9) 及一探针微晶片基座(10)，以形成一大致上为矩形之控制杆(4)， 该支撑臂(7)及该致动臂(8)间、该支撑臂(7)及该顶轨道(9)间、 该致动臂(8)及该探针微晶片基座(10)间、或该顶轨道(9)及该探针 微晶片基座(10)间用一铰链连结(11、 12、 13、 14)。
12. 如权利要求11所述之指状测试机，其中该控制杆(4)大致为伸长形 状且为矩形，其中一致动杆(15)穿过该L形支撑臂(7)之一长L形腿(7a)连结至一致动臂(8)上，该致动臂配设于该支撑臂(7)之该长L 形腿(7a)之下侧，此种方式下，当该致动杆(15)及该致动臂(8)上升 之时，该致动臂(8)围绕该薄膜铰链(11)旋转，使得该探针微晶片基座(10) 可在相反方向上围绕该薄膜铰链(13、 14)向下旋转，以使该测试 探针(2)可驻留于一电路板上。
13. 如权利要求1至12任意一项所述之指状测试机，其中该光侦测装置(20) 于与一测试阵列成直角视角之方向上排列，以侦测一待测试之未设置零件 的印刷电路板。
14. 如权利要求1至13任意一项所述之指状测试机，其中该指状测试机具 有复数个横杆，该横杆上安装有可运动之测试指，其中该测试指(1)之该 侦测装置(20)排列于垂直分隔的不同平面中，其数目双倍于每横杆测试 指之数目。
15. —种使用一指状测试机测试电路板之方法，其具有两个或多个测试指(1)，各该测试指具有一用于与电路板测试点连续接触 之测试探针(2)，其中该测试探针(2)可藉由一运动装置沿一待测试之电 路板之表面运动，其中具有一光侦测装置(20)用以光侦测测试指(1)之 该测试探针(2)之接触尖端之位置，其中该测试指(1)之多个该侦测装 置(20)排列于相距该电路板表面不同平面或不同高度处，并且如果该测 试探针(2)在该侦测装置(20)垂直覆盖范围内的定位过程中，至少一距 离该待测试电路板较远之一第一侦测装置(20)被一距离该电路板较近之 一第二侦测装置(20)遮挡，然后使用该第二侦测装置(20)所决定之该 光学数据以用于用该第一侦测装置(20)定位该测试指(1)之该测试探针 (2)。
16. 如权利要求15所述之方法，其中自一电路板表面至各侦测装置(20) 侦测表面之光线路径保持于同样长度，而与该侦测装置(20)相距该电路 板上之高度无关，由于一源自于电路板之光线被一镜片(30)偏转且导引 至一物镜(31)上，为了补偿相距该电路板较高之一侦测表面之高度，透 过减少该镜片(30)及该物镜(31)间之距离，距离减量与透过该电路板 至该镜片(30)增加之距离而导致之光线路径增量相当。
17. 如权利要求15或16所述之方法，其中使用根据权利要求1至14任意 一项之指状测试机。
全文摘要
本发明涉及一种使用至少两个测试指(1)以测试未设置零件的印刷电路板之指状测试机，各测试指具有一测试探针(2)，其中各测试探针(2)上方具有一侦测装置(20)，侦测装置用以光学侦测的方式侦测至少一测试探针(2)之尖端位置。具有两个或多个测试指(1)之侦测装置(20)排列于具有间隔之不同的垂直平面中，使得位于测试指(1)上方之侦测装置(20)之至少一些区域位于另一个之上，并且垂直排列但不发生接触。
文档编号G01R1/067GK101479610SQ200680045368
公开日2009年7月8日 申请日期2006年11月15日 优先权日2006年2月10日
发明者维克特·罗曼诺夫 申请人:Atg路德迈股份有限公司