表面检查装置及方法、溶液制膜方法及设备的制作方法
【专利摘要】本发明提供一种表面检查装置及方法、以及溶液制膜方法及设备。通过表面检查装置（10）检查卷绕在1对支承滚筒（12）上的流延带（11a）的表面。对卷绕在支承滚筒（12）上的部分的流延带（11a）沿宽度方向扫描激光（20）。由接收机（16）接收在流延带（11a）反射的激光（20）。接收机（16）通过具有狭缝开口（21a）的遮光板（21）遮挡不需要的光。利用定位单元（18）将扫描仪（15）及接收机（16）定位到流延带（11a）的检查位置。能够将扫描仪（15）及接收机（16）配置成与流延带（11a）的圆弧面相对，且能够高精度地检查针孔等微小缺陷。
【专利说明】表面检查装置及方法、溶液制膜方法及设备
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种流延支承体的表面检查装置及方法、以及溶液制膜方法及设备。【背景技术】
[0002]具有透光性的热塑性薄膜为轻质且易成型，因此作为光学薄膜被广泛利用。其中，利用纤维素酰化物等的纤维素酯类薄膜，以照片感光用薄膜为代表，近几年市场要求不断扩大的液晶显示装置的构成部件即光学薄膜(例如，相位差薄膜或偏光板保护薄膜等)而被使用。
[0003]这种薄膜通过溶液制膜方法进行制造。溶液制膜方法如下，即使包含聚合物和溶剂的聚合物溶液(浓液)流至支承体上来形成流延膜。接着，在流延膜固化至能够传送的程度之后，将其作为湿润薄膜从支承体剥下。然后将该湿润薄膜送至干燥室。在干燥室将湿润薄膜卷绕在辊上进行传送的同时，使溶剂从湿润薄膜蒸发而成为薄膜。另外，在通过冷却使流延膜固化的冷却流延方式的情况下，代替干燥室，送至针板拉幅机来用针板拉幅机使湿润薄膜干燥。
[0004]然而，随着近几年液晶显示器(IXD)的高清晰度和智能手机(多功能移动电话)、平板型电脑等便携型终端装置的普及，对于使用于这些显示装置中的光学薄膜，比以往进一步要求表面无微细突起或孔等。
[0005]关于这些光学薄膜的表面上的微细突起或孔等缺陷，如日本专利公开平6-207910号公报所记载，对连续行走的薄膜沿该宽度方向扫描光束，使透过薄膜或反射的检查光具有光束直径以下的狭缝宽度，且通过与光束的行走方向平行配置的受光窗之后入射至受光器，通过来自该受光器的光电转换输出检查被检查体的表面缺陷。另外，日本专利公开平8-261949号公报中，将狭缝开口宽度设为检查光的射束直径的(1/10)以上(2/3)以下的范围来高精度地检查表面缺陷。
[0006]但是，上述日本专利公开平6-207910号公报及日本专利公开平8-261949号公报的检查装置检查作为产品的薄膜的缺陷。而且，根据缺陷检查数据来特定薄膜上的缺陷部分，并且在显示装置等中显示，以免使用该缺陷部分。进行产品化时，排除缺陷部分来使用。因此，上述日本专利公开平6-207910号公报及日本专利公开平8-261949号公报的检查装置虽然能够避免使用缺陷部分，但是并没有实现彻底地解决减少薄膜本身的缺陷部分。
[0007]溶液制膜方法中，由于将流延于流延支承体上的流延膜剥下并进行干燥而作为薄膜的关系，薄膜的表面状态取决于流延支承体的表面状态。因此，流延支承体的制造阶段中，检查该表面状态，若发现微细凹凸，当其为凸出时研磨该部分，其为凹陷时进行点焊之后进行研磨，进行消除微细凹凸的表面精加工，以免作为产品的薄膜上产生微细缺陷。
[0008]以往，这种流延支承体的检查通过熟练的检查员目视观察表面来发现微细凹凸缺陷。然而，随着LCD的高清晰度和智能手机、平板型电脑等便携型终端装置的普及，用于这些装置的光学薄膜的品质要求等级日益提高。因此，至今由熟练者进行的表面状态保证所要求的缺陷尺寸逐渐变得小于目视等级。因此，通过熟练者进行的检查开始受限，而要求新的流延支承体的检查方法。
[0009]并且，因近几年IXD的大屏幕化要求，对于溶液制膜中的流延支承体也要求宽幅。但是，作为流延支承体材料的带钢的宽度受到制造带钢的生产线设备宽度的限制，不易对应宽幅化。因此，如韩国专利公开公报第2009-110082号公报所记载，还提出有在以往的流延支承体的两侧沿长边方向焊接(纵焊接)新的侧板来加宽侧板对应量的纵焊接带。并且，即使为以往的流延带，在制造环状带时，在宽度方向上焊接(横焊接)带钢的两端部连结成环状。因此，即使为以往的流延带，也存在沿宽度方向延伸的横焊接线。在包含这种纵焊接线或横焊接线等焊接部的流延带中，交纳流延带时，由熟练者进行严格的表面缺陷检查。而且，通过严格的检查发现焊接部的针孔或龟裂，该被发现的缺陷通过点焊或之后的研磨等的精加工处理消除。因此，作为流延带刚导入到溶液制膜设备之后，作为薄膜的缺陷面而转印的尺寸的缺陷被排除，所得到的薄膜中不会出现微细凹凸缺陷。
[0010]但是，若通过溶液制膜后的研磨补修等对流延带进行研磨，则交纳流延带时为微小而没有被判定为缺陷的例如壶状的针孔等时，针孔有时因研磨较大地开口而发展为缺陷。因此，交纳流延带时的表面缺陷的检查中，还需要考虑之后的研磨补修，也需要将研磨后发展为缺陷的壶状的微细针孔判定为缺陷，而期待开发代替由熟练者进行的目视检查的检测精度较高的检查方法及检查装置。
[0011]因此，也可以将如上述日本专利公开平6-207910号公报及日本专利公开平8-261949号公报的薄膜作为对象的缺陷检查方法应用于流延支承体表面的缺陷检查中。但是，流延带或流延滚筒等流延支承体已进行镜面精加工，存在即使直接应用对薄膜的缺陷检测方法，也无法高精度地检测表面缺陷的问题。
【发明内容】
[0012]本发明的目的在于，提供一种能够高精度地检查因流延支承体的微细凹凸而产生的缺陷的流延支承体的表面检查装置及方法、溶液制膜方法及设备。
[0013]本发明的流延支承体的表面检查装置具备扫描仪、接收机、遮光板及缺陷判定部。扫描仪对连续行走的流延支承体沿流延支承体的宽度方向扫描激光。在流延支承体上的激光的光斑直径为20 μ m以上50 μ m以下。接收机对在流延支承体反射的激光进行光电转换。遮光板设置于接收机并具有狭缝开口。狭缝开口沿着在流延支承体反射的激光的扫描线配设。狭缝开口的狭缝宽度为光斑直径的30倍以上200倍以下。缺陷判定部对来自接收机的光电转换信号进行二进制化来生成二进制信号。缺陷判定部根据二进制信号检测缺陷候选。缺陷判定部将大于预先设定的值的缺陷候选判定为缺陷。
[0014]优选流延支承体为流延滚筒和卷绕在I对支承滚筒的环状流延带中的任一方。基于激光的扫描线形成于流延滚筒的周面和卷绕在支承滚筒的流延带部分中的任一方。优选被形成扫描线的流延支承体的曲率半径为IOOmm以上4000mm以下。此时，由于对通过支承滚筒支承的流延带或流延滚筒照射激光，因此流延带振动的情况减少，且能够进行高精度的缺陷检测。
[0015]优选具备将扫描仪和接收机相对于流延支承体定位的定位单元。
[0016]优选定位单元具有框架、扫描仪保持部及接收机保持部。框架配设成与流延支承体相对。扫描仪保持部使扫描仪围绕与流延支承体上的激光的扫描线平行的X轴转动而在任意转动位置固定扫描仪。接收机保持部使接收机围绕X轴转动而在任意转动位置固定接收机，以便由狭缝开口接收从流延支承体反射的激光。此时，相对于检查对象即流延支承体，能够快速地对扫描仪及接收机进行定位。
[0017]优选扫描仪保持部使扫描仪以流延支承体上的设计时扫描线为中心转动。优选接收机保持部使接收机以设计时扫描线为中心转动。另外，设计时扫描线是指来自扫描仪的激光在流延支承体的表面反射，该反射光到达接收机的标准位置的扫描线。通过定位单元将该设计时扫描线对准到检查对象即流延支承体的表面，从而将扫描仪及接收机高精度地设定于标准检查位置。
[0018]优选具有扫描仪及接收机的转动保持部。扫描仪及接收机的转动保持部沿着与X轴正交的Y轴排列扫描仪及接收机，使扫描仪保持部及接收机保持部成一体化。扫描仪及接收机的转动保持部使成一体化的扫描仪保持部及接收机保持部围绕与包含X轴及Y轴的XY面正交的Z轴转动，在任意转动位置将扫描仪保持部及接收机保持部固定于框架。此时，能够相对于Y轴倾斜地配置扫描仪及接收机，能够检测由沿着流延支承体的行走方向的条纹(以下成为纵条纹)构成的微细凹凸。由该纵条纹构成的微细凹凸根据其形状而被称为条痕(stria)。认为是该条痕在被认为由流延带的材料本身的晶体结构导致的硬度差的分布中通过研磨，硬度较低的部分被较深研磨，而坚固的部分被较浅研磨而产生。以往只是通过检查员目视确认，而没有得到成为基准的指标的状态。通过相对于Y轴倾斜配置扫描仪及接收机，可以将微细纵条纹即条痕作为图像捕捉，或者也可以由各像素的亮度等级来显示各条痕的深度，也能够制成作为基准的指标。
[0019]优选具有Y轴滑动部、框架X轴转动保持部及Z轴滑动部。Y轴滑动部将扫描仪及接收机的转动保持部保持成在Y轴方向相对于框架移动自如。框架X轴转动保持部使框架围绕X轴转动而在任意转动位置固定框架。Z轴滑动部将框架X轴转动保持部保持成在Z轴方向上移动自如。通过具有这些滑动部和转动保持部，能够根据流延支承体的弯曲程度，进行该适当位置上的表面检查。
[0020]优选具有将Z轴滑动部保持成在X轴方向上移动自如的X轴滑动部。此时，基于扫描仪的扫描线长度短于流延支承体的宽度时，通过向流延支承体的宽度方向即X轴方向移动扫描仪及接收机，能够对流延支承体的整个表面进行表面检查。
[0021]优选具有对在流延支承体上分开的两点进行聚光照射来决定激光的扫描方向的激光指示器。此时，对定位单元的各部分进行微调，以使扫描仪的扫描光位于由该激光指示器照射的聚光上，由此不接触被检查面就能够高精度地进行扫描仪或接收机的对位。
[0022]优选相对于扫描线，在流延支承体的行走方向上游侧具有对流延支承体进行除尘的除尘装置。此时，防止微细灰尘附着在流延支承体上，能够消除因这些附着的灰尘导致的错误判定。
[0023]本发明的流延支承体的表面检查方法具备扫描步骤(A步骤)、遮光步骤(B步骤)、受光步骤(C步骤)、二进制化步骤(D步骤)、检测步骤(E步骤)及判定步骤(F步骤)。A步骤中，对连续行走的流延支承体沿该流延支承体的宽度方向扫描激光。流延支承体上的激光的光斑直径为20 μ m以上50 μ m以下。B步骤中，通过遮光板遮挡激光，所述遮光板具有沿着在流延支承体反射的激光的扫描方向配设的狭缝开口。狭缝开口的狭缝宽度Ws为光斑直径的30倍以上200倍以下。C步骤中，经由狭缝开口接收在流延支承体反射的激光。D步骤中，对接收的激光进行光电转换来对该光电转换信号进行二进制化。E步骤中，根据在D步骤中生成的二进制信号检测缺陷候选。F步骤中，将大于预先设定的值的缺陷候选判定为缺陷。
[0024]优选流延支承体为流延滚筒和卷绕在I对支承滚筒上的环状流延带中的任一方。基于激光的扫描线形成于流延滚筒的周面与卷绕在支承滚筒上的流延带部分中的任一方，被形成扫描线的流延支承体的曲率半径为IOOmm以上4000mm以下。
[0025]优选还具备扫描保持步骤(G步骤)和接收机保持步骤(H步骤)。G步骤中，使扫描仪围绕与流延支承体上的激光的扫描线平行的X轴转动而在任意转动位置固定扫描仪。H步骤中，使接收机围绕X轴转动而在任意转动位置固定接收机，以便由狭缝开口接收从流延支承体反射的激光。
[0026]优选还具备扫描仪及接收机的转动保持步骤(I步骤)。I步骤中，沿着与X轴正交的Y轴排列扫描仪及接收机，以使扫描仪及接收机成一体化，使成一体化的扫描仪及接收机在包含X轴及Y轴的XY面上转动，以连结扫描仪和接收机的中心线相对于Y轴成为任意倾斜角度的方式保持扫描仪及接收机。
[0027]优选还具备Y轴滑动步骤(J步骤)、框架X轴转动保持步骤(K步骤)及Z轴滑动步骤(L步骤)。J步骤中，在I步骤之后将扫描仪及接收机保持成在Y轴方向移动自如。K步骤中，使经过J步骤的扫描仪及接收机围绕X轴转动之后，在任意转动位置进行固定。L步骤中，将经过K步骤的扫描仪及接收机保持成在与XY面交叉的Z轴方向上移动自如。
[0028]本发明的溶液制膜方法具备扫描步骤(A步骤)、遮光步骤(B步骤)、受光步骤(C步骤)、二进制化步骤(D步骤)、检测步骤(E步骤)、判定步骤(F步骤)、流延膜形成步骤(M步骤)及剥取步骤(N步骤)。A步骤中，对连续行走的流延支承体沿该宽度方向扫描激光。在流延支承体上的激光的光斑直径为20 μ m以上50 μ m以下。B步骤中，通过遮光板遮挡激光，所述遮光板具有沿着在流延支承体反射的激光的扫描方向配设的狭缝开口。狭缝开口的狭缝宽度Ws为光斑直径的30倍以上200倍以下。C步骤中，经由狭缝开口接收在流延支承体反射的激光。D步骤中，对接收的激光进行光电转换来对该光电转换信号进行二进制化。E步骤中，根据在D步骤中生成的二进制信号检测缺陷候选。F步骤中，将大于预先设定的值的缺陷候选判定为缺陷。M步骤中，从流延模使浓液流出至经过F步骤而被评价为适宜的流延支承体上来形成流延膜。浓液包含聚合物及溶剂。N步骤中，从流延膜使溶剂蒸发而作为湿润薄膜进行剥取。
[0029]本发明的溶液制膜设备具备流延支承体、驱动源、流延模、膜固化机及剥离辊。驱动源使流延支承体旋转来使流延支承面行走。流延模朝向通过驱动源行走的流延支承体流出浓液。浓液包含聚合物及溶剂。膜固化机使由流出至流延支承体上的浓液构成的流延膜固化。剥离辊从流延支承体剥下流延膜。流延支承体为通过表面检查方法检查而被评价为适宜的流延支承体，表面检查方法具有扫描步骤(A步骤)、遮光步骤(B步骤)、受光步骤(C步骤)、二进制化步骤(D步骤)、检测步骤(E步骤)及判定步骤(F步骤)。A步骤中，对连续行走的流延支承体沿该宽度方向扫描激光。流延支承体上的激光的光斑直径为20 μ m以上50 μ m以下。B步骤中，通过遮光板遮挡激光，所述遮光板具有沿着在流延支承体反射的激光的扫描方向配设的狭缝开口。狭缝开口的狭缝宽度Ws为光斑直径的30倍以上200倍以下。C步骤中，经由狭缝开口接收在流延支承体反射的激光。D步骤中，对接收的激光进行光电转换来对该光电转换信号进行二进制化。E步骤中，根据在D步骤中生成的二进制信号检测缺陷候选。F步骤中，将大于预先设定的值的缺陷候选判定为缺陷。
【专利附图】
【附图说明】
[0030]图1是表示本发明的表面检查装置的使用状态的侧视图。
[0031]图2A是说明检查原理的侧视图。
[0032]图2B是图2A中的区域Al的前视图。
[0033]图3是表示定位单元的概要结构的侧视图。
[0034]图4是表示定位单元的概要结构的前视图。
[0035]图5是表示定位单元的概要结构的后视图。
[0036]图6是表示定位单元的概要结构的流程图。
[0037]图7是表示溶液制膜设备的概要结构的侧视图。
【具体实施方式】
[0038]如图1所示，流延支承体的表面检查装置10检查流延支承体11，例如卷绕在I对支承滚筒12之间的环状(endless)的流延带Ila的表面(流延支承面)，发现微细针孔或条痕等缺陷。因此，表面检查装置10具备扫描仪15、接收机16、缺陷判定部17 (参考图2A)及定位单元18，构成为可搬运型。因此，移动到测定场所，能够在适当的时刻进行缺陷检查。例如，除了溶液制膜设备的流延室以外，能够在流延支承体制造商的工厂等适当场所进行测定。
[0039]如图2A所示，扫描仪15对连续行走的流延支承体11沿该宽度方向扫描激光20。接收机16接收在流延支承体11反射的激光20并进行光电转换。来自接收机16的光电转换信号通过电缆22送至缺陷判定部17。缺陷判定部17对光电转换信号进行二进制化来生成二进制信号。缺陷判定部17根据该二进制信号检测缺陷候选。而且，当检测出的缺陷候选大于预先设定的阈值(基准值)时判定为缺陷。即，大于阈值的缺陷候选判定为缺陷。例如，缺陷为针孔，关于针孔的直径设定阈值时，将大于所设定的阈值的缺陷候选判定为缺陷。被判定的缺陷与该位置数据一同存储于存储器。该缺陷位置数据能够由操作员从存储器读出。此时，显示器17a—同显示流延支承体11的位置数据和将缺陷图像或该缺陷图像部的亮度差信号图表化的信息。
[0040]本实施方式中，将缺陷检查位置设为卷绕在支承滚筒12上的部位的流延带11a。即，激光20照射于卷绕在支承滚筒12的部位的流延带11a。由此，以紧贴于支承滚筒12的状态保持流延带11a。因此，流延支承体11不会在厚度方向(Z轴方向)摆动(振动)，就能够进行高精度的缺陷检查(表面检查)。另外，本实施方式中，将缺陷检查位置的与基于激光20的扫描线SL平行的水平轴设为X轴，将与此交叉的铅垂轴设为Y轴，与包含这些X轴及Y轴的XY面正交的轴设为Z轴，对定位单元18的结构进行说明。
[0041]本实施方式的扫描仪15、接收机16、缺陷判定部17等的详细结构与日本专利公开平6-207910号公报、日本专利公开平8-261949号公报等中记载的以往的结构基本相同。只是，缺陷检查对象物为由经过镜面精加工的金属(例如SUS316)制流延带Ila构成的流延支承体11，由于这一点接收机16的遮光板21的结构与以往的结构不同，而成为本申请独立的结构。
[0042]如众所周知，扫描仪15具有激光振荡器、透镜组、多角反射镜、光路折曲用镜等。从激光振荡器放射的激光入射至透镜组，该光斑直径被调节。之后，经由镜入射至高速旋转的多角反射镜，在此反射。该反射的激光20成为与流延带Ila的行走方向正交的方向(X轴)的检查光，向流延带Ila的宽度方向扫描。
[0043]如图2B所示，从扫描仪15照射的激光20在流延带Ila上成为恒定斑点。如图1所示，扫描仪15相对于从扫描线SL的宽度方向中心，相对于在流延带Ila垂直延伸的法线(扫描中心线)CL1以倾斜角度(以下称为入射角度)Θ 1，从流延带Ila的行走方向上游照射激光20，相对于扫描中心线CLl以倾斜角度(以下称为射出角度)Θ 2，在流延带Ila的行走方向下游使激光20反射。因此，若将图2A的聚光所照射的流延带Ila上的区域Al放大并从正面观察，成为如图2B的状态，沿Y轴方向成为长椭圆。本发明中所说的流延带Ila上的光斑直径Ds是指在X方向不变的短轴直径。该流延带Ila上的激光20的光斑直径Ds为20 μ m以上50 μ m以下。若光斑直径Ds不到20 μ m，则检查范围变窄，因此不优选。并且，若光斑直径Ds超过50 μ m,则缺陷检测精度下降，因此不优选。
[0044]由于扫描仪15及接收机16沿Y轴方向排列配置在一直线上，因此扫描线SL的基于激光20的光斑直径Ds较大的情况下，通过柱面凸面镜向Y轴方向反射时，光斑根据圆弧面的曲率量而细长地扩散。因此，光斑在接收机16的受光面成为大致椭圆状。但是，光斑直径Ds为20 μ m以上50 μ m以下而微小，因此光斑所照射的流延带的部分为大致平面状，作为凸面镜的作用微小而能够忽略不计。
[0045]在流延带Ila反射的激光20进入接收机16。接收机16具有遮光板21。遮光板21上形成有狭缝开口 21a。该狭缝开口 21a与在流延带Ila反射的激光20的扫描线SL平行配设。
[0046]狭缝开口 21a的宽度(以下有时还称为狭缝宽度)Ws根据支承滚筒12的半径Rd、从流延带Ila到接收机16的遮光板21为止的距离Lr、或光斑直径Ds决定。例如，支承滚筒12的半径Rd为IOOmm以上4000mm以下，且从流延带Ila到接收机16的遮光板21为止的距离Lr为40mm以上IOOmm以下时，优选宽度Ws为光斑直径Ds的30倍以上200倍以下。优选为支承滚筒12的半径Rd为800mm以上3000mm以下时，宽度Ws为光斑直径Ds的50倍以上150倍以下。另外，由于流延带Ila较薄，因此可以视为流延带Ila的曲率半径与支承滚筒12的半径Rd相同。
[0047]若狭缝开口 21a的狭缝宽度Ws不到光斑直径Ds的30倍，则有时在流延支承体11反射的激光20不进入狭缝开口 21a，缺陷检测的精度下降。并且，若狭缝宽度Ws超过光斑直径Ds的200倍，则对比度下降，同样缺陷检测的精度下降，因此不优选。
[0048]如图1所示，定位单元18构成为相对于卷绕在支承滚筒12上的部位的流延带Ila和流延滚筒(未图示)等任意检查对象面，能够对扫描仪15及接收机16准确地进行定位。因此，如图3所示，定位单元18具有框架31、安装在该框架31上的扫描仪保持部32、接收机保持部33、Z轴转动保持部(扫描仪及接收机的转动保持部)34、Y轴滑动部35、X轴转动保持部36、Z轴滑动部37、X轴滑动部38及激光指示器39 (参考图1)。由于定位单元18具备框架31、扫描仪保持部32及接收机保持部33，因此相对于流延支承体11能够快速地对扫描仪15及接收机进行定位。[0049]如图4、图5所示,框架31形成为矩形框,如图1所示,配设成与流延带Ila相对。如图3所示，框架31上配设有扫描仪保持部32、接收机保持部33、Z轴转动保持部34及Y轴滑动部35。而且，扫描仪15通过描仪保持部32、Z轴转动保持部34及Y轴滑动部35安装在框架31上。同样，接收机16通过接收机保持部33、Z轴转动保持部34及Y轴滑动部35安装在框架31上。
[0050]如图4所示，扫描仪保持部32具有I对侧板40和I对支承板41。侧板40从两侧挟持固定扫描仪15。支承板41从两侧支承侧板40，因此以向Z轴方向延伸的方式从背板42突出形成。
[0051]如图1所示，支承板41上形成有2个圆弧状长孔43。圆弧状长孔43为设置于缺陷检查位置的检查状态时，形成于以流延带Ila上的扫描线SL (以下简称为扫描线SL)为中心的圆上。这些圆弧状长孔43在圆上分开形成。另外，图1中，扫描线SL为与纸面正交的方向，因此描绘成点。
[0052]侧板40上安装有安装螺钉44。安装螺钉44拧入到各长孔43并在该长孔43内移动。而且，通过在长孔43内变更安装螺钉44的位置，能够变更来自扫描仪15的激光20对流延支承体11的入射角度Θ1。长孔43例如以15°角度量的长度形成。由此，能够在以扫描线SL为中心的15°角度范围内变更来自扫描仪15的激光20的入射角度Θ1。变更安装角度之后，通过向拧紧方向转动安装螺钉44，能够将侧板40固定在支承板41上。
[0053]同样，如图3所示，接收机16通过接收机保持部33、Z轴转动保持部34及Y轴滑动部35安装在框架31。如图4所示，接收机保持部33为与扫描仪保持部32相同的结构，具有固定接收机16的I对侧板45和安装该侧板45的I对支承板46。支承板46以向Z轴方向突出的方式安装在背板42上。
[0054]如图1所示，支承板46上形成有2个圆弧状长孔47。该些圆弧状长孔47为设置于缺陷检查位置的检查状态时，形成于以流延带Ila上的扫描线SL为中心的同心圆上，且分开形成有2个。
[0055]侧板45上安装有安装螺钉48。安装螺钉48拧入各长孔47并在该长孔47内移动。而且，通过在长孔47内变更安装螺钉48的位置，能够变更在流延带Ila反射的激光20的射出角度Θ2。长孔47以15°角度量的长度形成，能够在以扫描线SL为中心的15°角度范围内变更接收机16的安装角度。变更安装角度之后，通过向拧紧方向转动安装螺钉48，能够将侧板45固定在支承板46上。
[0056]两侧板45的外侧面安装有激光指示器39。激光指示器39朝向扫描线SL的两端部照射激光20，决定激光20的扫描方向。调节各部件32、33、34、35的固定位置来进行对位，以使通过该激光指示器39投影到流延带Ila上的点与扫描仪15的扫描线重合。通过使两者在流延带Ila重合，基于扫描仪15的扫描线SL与基于接收机16的受光线在流延带Ila上成为相同位置，完成扫描仪15及接收机16的定位。
[0057]如图5所示，背板42上设置有2个安装螺钉52。通过该安装螺钉52，背板42安装在Y轴滑动部35的支承板54上。支承板54上形成有2个圆弧状长孔55。2个圆弧状长孔55沿着以与通过扫描线SL的宽度方向中间位置的Z轴平行的扫描中心线CLl为中心的圆形成。安装螺钉52拧入该圆弧状长孔55内，背板42能够以扫描中心线CLl为中心，在长孔55的长度量的90度的角度内转动。而且，通过将安装螺钉52转动拧紧，能够围绕扫描中心线CLl在90°角度范围内以任意的安装角度将背板42固定在支承板54上。
[0058]Z轴转动保持部34由这些背板42、支承板54、2个圆弧状长孔55及安装螺钉52构成。
[0059]支承板54的2个圆弧状长孔55的两侧形成有沿Y轴方向较长的长孔60，安装螺钉61拧入在其中。框架31的内侧的两侧安装有基板62。该基板62的与支承板54的长孔60对应的位置形成有螺孔63。安装螺钉61插入到长孔60内之后，被安装到螺孔63。如上，支承板54通过长孔60及安装螺钉61而被安装到框架31的基板62上，因此能够使支承板54在Y轴方向上滑动长孔55的长度量。因此，在使扫描仪15及接收机16成一体化的状态下能够使其沿Y轴方向移动。Y轴滑动部35 (参考图3)由这些支承板54、长孔60、安装螺钉61、基板62、螺孔63构成。
[0060]如图1所示，框架31的下端部通过X轴方向的安装轴66围绕X轴转动自如地安装在基台65的一端部。基台65由沿水平方向较长的矩形框构成。
[0061]在基台65与框架31之间倾斜安装有摆动限制杆67。摆动限制杆67的一端部通过安装轴68能够摆动地安装在基台65的一端附近。并且，摆动限制杆67的另一端部上沿长边方向形成有长孔69。安装螺钉70拧入到该长孔69内。安装螺钉70紧固在框架31上。因此，松开安装螺钉70以安装轴68为中心使框架31转动，能够围绕X轴以任意倾斜状态安装框架31。X轴转动保持部36 (参考图3)由这些安装轴68及摆动限制杆67及安装螺钉70构成。
[0062]基台65的下面设置有Z轴滑动部37。Z轴滑动部37通过未图示的导轨向Z轴方向移动引导基台65。
[0063]Z轴滑动部37的底板上安装有活动脚轮75。并且Z轴滑动部37的Z轴方向前端部上配设有导向部件76。该导向部件76沿X轴方向延伸，在支承滚筒12的下方位置与支承滚筒12的轴平行地安装。导向部件76上卡合Z轴滑动部37的前端。因此，Z轴滑动部37通过导向部件76沿X方向被引导并通过活动脚轮75移动。由此，基于扫描仪的扫描线的长度短于流延支承体的宽度时，沿X轴方向移动扫描仪及接收机，能够对流延支承体整个表面进行表面检查。
[0064]在Z轴滑动部37上经由支柱80安装有除尘装置81。除尘装置81具备具有电离器的送风机，吹散附着在流延带Ila上的灰尘。另外，除尘装置81经由支柱80安装在Z轴滑动部37，但除此以外，也可安装在框架31的上下端部。此时，流延带Ila的行走方向为图1所示的逆时针方向时，安装在框架31的下端部附近，而行走方向为顺时针方向时，安装在框架31的上端部附近。
[0065]接着，一边参考图6所示的流程图，一边对本实施方式的作用进行说明。使用时，将表面检查装置10搬入到设置有检查对象物即流延带Ila的设备中。本实施方式中，对从制造商接收新的流延带Ila之前实施最终检查的情况进行说明。另外，除此以外，将流延带Ila安装在溶液流延设备(参考图7)来进行溶液制膜，进行定期修理时，检查流延带Ila的表面缺陷时，也可使用本装置。
[0066]首先，沿X轴方向将导向部件76安装在检查对象物附近。将Z轴滑动部37安装在该导向部件76上，使Z轴滑动部37在X轴方向移动自如。
[0067]使Z轴滑动部37和Y轴滑动部35滑动，将扫描仪15及接收机16相对于流延带Ila的扫描线SL定位。此时，由激光指示器39对扫描线SL上的例如两端部附近的两点照射激光来形成光斑。接着，打开扫描仪15，进行作为激光20的例如红色激光的扫描，则在流延带Ila的表面显示出基于红色激光的扫描线SL。对Y轴滑动部35、Z轴滑动部37及X轴转动保持部36等进行微调，以便该扫描线SL与基于激光指示器39的例如红色聚光重合。这样，通过使用激光指示器39对定位单元18的各部分进行微调，从而不接触被检查面就可高精度地进行扫描仪15或接收机16的定位。
[0068]扫描仪保持部32及接收机保持部33设定为对准设计时扫描线使入射角度Θ I和射出角度Θ 2相对于相对流延带面的扫描中心线CLl分配成45°。因此，若对X轴转动保持部36、Y轴滑动部35、Z轴滑动部37进行微调，其成为如图1所示的位置关系，则自动判定入射到接收机16的信号等级成为能够检查的等级，而通过显示器17a或警报等通知操作员完成定位。因此，缺陷判定部17能够选择判定用于定位的受光信号等级是否适宜的定位判定模式。另外，通过定位单元18将设计时扫描线对准到流延支承体11的表面，将扫描仪15及接收机16高精度地设定在标准检查位置。并且，通过Y轴滑动部35、X轴转动保持部36、Z轴滑动部37，根据流延支承体11的表面的弯曲程度，能够在其适当位置进行表面检查。
[0069]并且，改变除尘装置81的朝向和位置进行吹散，以免流延带Ila上的灰尘等到达扫描线SL的位置。由此，防止流延支承体11上附着微细灰尘，消除因附着的灰尘导致的错误判定。另外，也可在除尘装置81附近设置吸入吹散灰尘的吸入机。
[0070]当支承流延带Ila的支承滚筒12的直径发生变化和进行特殊缺陷检查时等，需要变更入射角度Θ I或射出角度Θ 2时，变更扫描仪保持部32和接收机保持部33的安装位置来进行微调。此时，分别松开各安装螺钉44、48，变更各保持部32、33的安装角度。
[0071]如上，通过激光指示器39的聚光将设计时扫描线对准到流延带Ila上的所希望的扫描线来完成定位，从而进行缺陷检查。该缺陷检查中，能够使流延带在0.5m/min以上
5.0m/min以下的范围内以恒定速度,例如l.0m/min行走。
[0072]从扫描仪15照射作为激光20的例如红色激光，该红色激光在流延带Ila的表面反射，入射到接收机16。此时，使遮光板21的狭缝开口 21a与流延带Ila上的光斑直径Ds对应而设定成30倍以上200倍以下，因此能够得到缺陷检查所需的充分的受光量，能够进行高精度的检查。
[0073]根据受光信号进行的缺陷检查利用周知的方法。例如，缺陷判定部17中，经由AGC电路(自动增益控制器电路)和二进制化电路将来自接收机16的光电转换信号送至缺陷检测部27，判定有无缺陷。而且，当判定为缺陷时，将该缺陷信号和其位置数据送至数据处理部。该缺陷信号和位置数据存储到数据处理部内的存储器中，进行各种数据加工。并且，根据需要显示在显示器17a中并且利用打印机(未图示)进行打印。而且，根据该缺陷信息，进行精加工处理以消除缺陷。例如，其为凸状缺陷时进行研磨处理，而其为针孔或龟裂等凹状缺陷时进行点焊之后进行研磨处理等，进行消除缺陷的处理。而且，进行这种精加工处理之后，通过再一次进行缺陷检查，判定有无缺陷。这样，进行检查处理，直到缺陷消失为止。
[0074]另外，作为流延带11a，如以往，存在只具有横焊接线的通常宽度尺寸的流延带和通过纵焊接对中央部件和侧部件进行接合而沿宽度方向变宽的宽幅尺寸的流延带等，其可为任意一方。尤其，如纵焊接带，焊接线具有带周长2倍的长度时，能够减轻检查员的负担。[0075]上述实施方式中，通过改变长孔内的安装螺钉的固定位置，变更对扫描线SL的扫描仪15及接收机16的安装角度和变更X轴、Y轴、Z轴方向的滑动位置，但除了通过长孔或安装螺钉进行定位以外，也可通过安装轴调整摆动角度等来进行。并且，进行微调时，也可使用通过螺纹的螺合将旋转运动转换成直线运动的调整机构等。并且，也可通过马达使这些调整机构旋转来进行自动定位。
[0076]另外，如图1所示，在接收机保持部33的侧板45的外周面设置激光指示器39，但也可将其与表面检查装置10分开设置。
[0077](溶液制膜设备)
[0078]如上述在缺陷检查中合格的流延带Ila设置于溶液制膜设备100中进行溶液制膜。如图7所示，溶液制膜设备100从上游侧依次串联流延装置101、第I拉幅机102、辊干燥装置103、第2拉幅机104、分切机105及卷取装置106而构成。聚合物的种类没有特别限定，可使用能够由溶液制膜成为薄膜的公知的聚合物。以下的实施方式中，以作为聚合物使用纤维素酰化物的情况为例进行说明。
[0079]流延装置101具备挂绕在第I滚筒111、第2滚筒112上的流延带I la、流延模114、导管(膜固化机)115、减压腔室116及剥离辊117。流延带Ila为形成为环状的环状金属制流延支承体，挂绕在第I滚筒111和第2滚筒112的周面。该流延带Ila通过上述表面检查装置10而被评价为没有缺陷的流延带。第I滚筒111通过马达(驱动源)110而被旋转驱动，由此流延带Ila沿箭头A所示的第I方向行走。
[0080]第I滚筒111的上方配置有流延模114。流延模114对行走的流延带Ila连续流出浓液120。由此，在流延带Ila上形成流延膜121。浓液120例如为将纤维素酰化物溶解在溶剂中的溶液，在未图示的浓液生产线制造出来并供给到流延模114。
[0081]针对来自流延模114的液珠124，在流延带Ila的行走方向的上游设置有减压腔室116。该减压腔室116吸引液珠124的上游侧区域的气氛来对该区域进行减压，减少液珠124的振动。
[0082]为了提高制造速度，朝向剥离辊117的流延膜121通过第2滚筒112及流延带Ila被加热。并且，在流延位置，通过第I滚筒111冷却流延带11a，以免流延带Ila过度升温。因此，各滚筒111、112具有未图示的温度调节装置。
[0083]导管115沿着流延带Ila的行走路排列设置有多个。各导管115分别连接于具有送风机的暖风控制器(均未图示)，从流出口吹出干燥风。暖风控制器独立控制干燥风的温度、湿度及流量。通过干燥风的温度及流量的控制和基于第I滚筒111及第2滚筒112自身的温度调节装置进行的温度控制，调节流延膜121的温度，进行流延膜121的干燥。而且，流延膜121被固化至能够在第I拉幅机102中传送的程度，从而被赋予自支承性。另外，也可代替导管115或在此基础上通过其他加热器等构成膜固化机。
[0084]第I滚筒111的流延模114的行走方向上游侧设置有剥离辊117。剥离辊117在从流延带Ila剥下已进行包含溶剂的状态的干燥的流延膜121时，支承流延膜121。被剥取的流延膜121即湿润的薄膜122引导至第I拉幅机102。
[0085]第I拉幅机102中，一边用夹子123把持薄膜122的两侧缘部传送薄膜122，一边赋予向薄膜宽度方向的张力，加宽薄膜122的宽度。在第I拉幅机102上从上游侧依次形成预热区、延伸区及缓和区。另外，缓和区根据需要设置。[0086]第I拉幅机102具有I对导轨及链条(均未图示)。导轨在薄膜122的传送路的两侦牝以预定间隔分开配设。该导轨的间隔在预热区恒定，而在延伸区随着朝向下游逐渐变宽，而在缓和区恒定，或者朝向下游逐渐变窄。链条上以恒定间隔安装有夹子123。
[0087]预热区、延伸区、缓和区通过来自导管125的干燥风的送出而形成为空间，因此这些各区域之间没有明确的界限。从导管125的狭缝朝向薄膜122送出调整为预定温度和湿度的干燥风。
[0088]辊干燥装置103中，薄膜122挂绕在多个卷126上进行传送。辊干燥装置103的内部气氛的温度或湿度等通过未图示的调温机进行调节，在薄膜122被传送的期间，溶剂从薄膜122蒸发。
[0089]第2拉幅机 104为与第I拉幅机102相同的结构，具有夹子128及导管129。第2拉幅机104通过夹子128保持薄膜122并进行延伸。通过该延伸，成为具有所希望的光学特性的薄膜122。所得到的薄膜122例如能够用作液晶显示器用相位差薄膜。另外，根据薄膜122的光学特性，可无需使用第2拉幅机104。
[0090]分切机105切除包含因第I拉幅机102和第2拉幅机104的各夹子123、128导致的保持痕迹的侧部。被切除侧部的薄膜122通过卷取装置106卷取成卷状。通过本发明得到的薄膜卷130尤其能够用于相位差薄膜和偏光板保护薄膜。
[0091]另外，优选流延带Ila的宽度为例如浓液120的流延宽度的1.1倍以上2.0倍以下。优选流延带Ila的长度为例如20m以上200m以下。优选流延带Ila的厚度为例如0.5mm以上2.5mm以下。优选使用流延带Ila的厚度不均相对于整个厚度在0.5%以下的流延带。并且，优选形成流延膜121的表面的表面粗糙度为0.05 μ m以下。
[0092]优选作为产品的薄膜的宽度为600mm以上，更优选1400mm以上2500mm以下。并且，本发明在薄膜的宽度大于2500mm时也有效果。并且，优选薄膜的膜厚为10 μ m以上80 μ m以下。
[0093](聚合物)
[0094]能够用于本发明的聚合物只要为热塑性树脂则没有特别限定，例如能够举出纤维素酰化物、含内酯环聚合体、环状烯烃、聚碳酸酯等。其中优选纤维素酰化物、环状烯烃、其中优选含醋酸基、丙酸酯基的纤维素酰化物、通过加成聚合得到的环状烯烃。
[0095](纤维素酰化物)
[0096]用于本发明的纤维素酰化物的酰基可仅为I种，或者也可使用2种以上的酰基。使用2种以上酰基时，优选其中I个为乙酰基。优选用羧酸酯化纤维素的羟基的比例，即酰基的取代度满足所有下述公式(I)~(III)。另外，以下公式(I)~(III)中，A及B表示酰基的取代度，A为乙酰基的取代度，并且B为碳原子数为3~22的酰基的取代度。另外，优选三醋酸纤维素(TAC)的90质量％以上为0.1mm~4mm的颗粒。
[0097](I) 2.0≤ A+B ≤ 3.0
[0098](II) 1.0 ≤ A ≤3.0
[0099](III) O ≤ B ≤ 2.9
[0100]更优选酰基的总取代度A+B为2.20以上2.90以下，尤其优选为2.40以上2.88以下。并且，更优选碳原子数3~22的酰基的取代度B为0.30以上，尤其优选0.5以上。
[0101]另外，在日本专利公开2005-104148号的从[0140]段落到[0195]段落中记载有纤维素酰化物的详细内容。该些记载内容也能够适用于本发明中。并且，在相同的日本专利公开2005-104148号的从[0196]段落到[0516]段落中详细记载有溶剂及增塑剂、劣化抑制剂、紫外线吸收剂(UV剂)、光学各向异性控制剂、延迟抑制剂、染料、去光剂、剥离剂、剥离促进剂等添加剂。并且，作为纤维素酰化物的原料的纤维素可由棉绒纤维、浆料中的任一种得到。
[0102]上述实施形态中，作为流延支承体，对流延带进行了说明，但也可将滚筒作为流延支承体来代替流延带。此时，利用上述表面检查装置10对滚筒进行表面检查。并且，对卷绕在支承滚筒12上的流延带Ila或流延滚筒进行表面检查，除此以外，也可对支承滚筒12之间的流延带I Ia进行表面检查。
【权利要求】
1.一种流延支承体的表面检查装置，其特征在于，具备: 扫描仪，对连续行走的流延支承体沿所述流延支承体的宽度方向扫描激光，在所述流延支承体上的所述激光的光斑直径为20μπι以上50μπι以下； 接收机，对在所述流延支承体反射的所述激光进行光电转换； 遮光板，设置于所述接收机且具有狭缝开口，所述狭缝开口沿着在所述流延支承体反射的所述激光的扫描线配设，所述狭缝开口的狭缝宽度为所述光斑直径的30倍以上200倍以下；及 缺陷判定部，所述缺陷判定部对来自所述接收机的光电转换信号进行二进制化而生成二进制信号，所述缺陷判定部根据所述二进制信号检测缺陷候选，所述缺陷判定部将大于预先设定的值的缺陷候选判定为缺陷。
2.根据权利要求1所述的流延支承体的表面检查装置，其中， 所述流延支承体为流延滚筒与卷绕在I对支承滚筒上的环状流延带中的任一方，基于所述激光的扫描线形成于所述流延滚筒的周面与卷绕在所述支承滚筒上的流延带部分中的任一方，被形成所述扫描线的所述流延支承体的曲率半径为IOOmm以上4000mm以下。
3.根据权利要求1或2所述的流延支承体的表面检查装置，其中， 所述表面检查装置具备定位单元，所述定位单元将所述扫描仪和所述接收机相对于所述流延支承体定位。
4.根据权利要求3所述的流延支承体的表面检查装置，其中， 所述定位单元具有框架、`扫描仪保持部及接收机保持部，所述框架配设成与所述流延支承体相对，所述扫描仪保持部使所述扫描仪围绕与所述流延支承体上的所述激光的扫描线平行的X轴转动而在任意转动位置固定所述扫描仪，所述接收机保持部使所述接收机围绕X轴转动而在任意转动位置固定所述接收机，以便由所述狭缝开口接收从所述流延支承体反射的所述激光。
5.根据权利要求4所述的流延支承体的表面检查装置，其中， 所述扫描仪保持部使所述扫描仪以所述流延支承体上的设计时扫描线为中心转动，所述接收机保持部使所述接收机以所述设计时扫描线为中心转动。
6.根据权利要求4所述的流延支承体的表面检查装置，其中， 所述表面检查装置具有扫描仪及接收机的转动保持部，所述扫描仪及接收机的转动保持部沿着与X轴正交的Y轴排列所述扫描仪及所述接收机，使所述扫描仪保持部及所述接收机保持部成一体化，使成一体化的所述扫描仪保持部及所述接收机保持部围绕与包含X轴及Y轴的XY面正交的Z轴转动，在任意转动位置将所述扫描仪保持部及所述接收机保持部固定于所述框架上。
7.根据权利要求6所述的流延支承体的表面检查装置，其中， 所述表面检查装置具有Y轴滑动部、框架X轴转动保持部及Z轴滑动部，所述Y轴滑动部将所述扫描仪及接收机的转动保持部保持成在所述Y轴方向上相对于所述框架移动自如，所述框架X轴转动保持部使所述框架围绕X轴转动而在任意转动位置固定所述框架，所述Z轴滑动部将所述框架X轴转动保持部保持成在Z轴方向移动自如。
8.根据权利要求7所述的流延支承体的表面检查装置，其中， 所述表面检查装置具有X轴滑动部，所述X轴滑动部将所述Z轴滑动部保持成在X轴方向移动自如。
9.根据权利要求1所述的流延支承体的表面检查装置，其中， 所述表面检查装置具有激光指示器，对在所述流延支承体上分开的两点进行聚光照射，决定所述激光的扫描方向。
10.根据权利要求1所述的流延支承体的表面检查装置，其中， 所述表面检查装置相对于所述扫描线在所述流延支承体的行走方向上游侧具有对所述流延支承体进行除尘的除尘装置。
11.一种流延支承体的表面检查方法，其特征在于，具备如下步骤: (A)对连续行走的流延支承体沿该宽度方向扫描激光，在所述流延支承体上的所述激光的光斑直径为20 μ m以上50 μ m以下； (B)通过遮光板遮挡所述激光，所述遮光板具有沿着在所述流延支承体反射的所述激光的扫描方向配设的狭缝开口，所述狭缝开口的狭缝宽度Ws为所述光斑直径的30倍以上200倍以下； (C)经由所述狭缝开口接收在所述流延支承体反射的所述激光； (D)对接收的所述激光进行光电转换来对该光`电转换信号进行二进制化； (E)根据在所述D步骤中生成的二进制信号检测缺陷候选'及 (F)将大于预先设定的值的所述缺陷候选判定为缺陷。
12.根据权利要求11所述的流延支承体的表面检查方法，其中， 所述流延支承体为流延滚筒与卷绕在I对支承滚筒上的环状流延带中的任一方，基于所述激光的扫描线形成于所述流延滚筒的周面与卷绕在所述支承滚筒上的流延带部分中的任一方，被形成所述扫描线的所述流延支承体的曲率半径为IOOmm以上4000mm以下。
13.根据权利要求12所述的流延支承体的表面检查方法，其中，还具备如下步骤: (G)使所述扫描仪围绕与所述流延支承体上的所述激光的所述扫描线平行的X轴转动而在任意转动位置固定所述扫描仪；及 (H)使所述接收机围绕X轴转动而在任意转动位置固定所述接收机，以便由所述狭缝开口接收从所述流延支承体反射的所述激光。
14.根据权利要求13所述的流延支承体的表面检查方法，其中，还具备如下步骤: (I)沿着与X轴正交的Y轴排列所述扫描仪及所述接收机，使所述扫描仪及所述接收机成一体化，使成一体化的扫描仪及接收机在包含X轴及Y轴的XY面上转动，以连结所述扫描仪与所述接收机的中心线相对于Y轴成为任意倾斜角度的方式保持所述扫描仪及所述接收机。
15.根据权利要求14所述的流延支承体的表面检查方法，其中，还具备如下步骤: (J)在I步骤之后将所述扫描仪及接收机保持成在Y轴方向移动自如； (K)使经过J步骤的所述扫描仪及接收机围绕X轴转动之后在任意转动位置进行固定；及 (L)将经过K步骤的所述扫描仪及接收机保持成在与XY面交叉的Z轴方向上移动自如。
16.一种溶液制膜方法，其特征在于，具备如下步骤: (A)对连续行走的流延支承体沿该宽度方向扫描激光，在所述流延支承体上的所述激光的光斑直径为20 μ m以上50 μ m以下； (B)通过遮光板遮挡所述激光，所述遮光板具有沿着在所述流延支承体反射的所述激光的扫描方向配设的狭缝开口，所述狭缝开口的狭缝宽度Ws为所述光斑直径的30倍以上200倍以下； (C)经由所述狭缝开口接收在所述流延支承体反射的所述激光； (D)对接收的所述激光进行光电转换来对该光电转换信号进行二进制化； (E)根据在所述D步骤中生成的二进制信号检测缺陷候选； (F)将大于预先设定的值的所述缺陷候选判定为缺陷； (M)从流延模使浓液流出至经过所述F步骤而被评价为适宜的所述流延支承体上而形成流延膜，所述浓液包含聚合物及溶剂 '及 (N)使所述溶剂从所述流延膜蒸发而作为湿润薄膜进行剥取。
17.一种溶液制膜设备，其特征在于，具备: 流延支承体； 驱动源，使所述流延支承体旋转来使流延支承面行走； 流延模，朝向通过所述驱动源而行走的所述流延支承体流出浓液，所述浓液包含聚合物及溶剂； 膜固化机，使由流出至所述流延支承体上的浓液构成的流延膜固化；及 剥离辊，从所述流延支承体剥下所述流延膜，以及 其中，所述流延支承体为通过表面检查方法进行检查而被评价为适宜的流延支承体，所述表面检查方法具有如下步骤: (A) 对连续行走的流延支承体沿该宽度方向扫描激光，在所述流延支承体上的所述激光的光斑直径为20 μ m以上50 μ m以下； (B)通过遮光板遮挡所述激光，所述遮光板具有沿着在所述流延支承体反射的所述激光的扫描方向配设的狭缝开口，所述狭缝开口的狭缝宽度Ws为所述光斑直径的30倍以上200倍以下； (C)经由所述狭缝开口接收在所述流延支承体反射的所述激光； (D)对接收的所述激光进行光电转换来对该光电转换信号进行二进制化； (E)根据在所述D步骤中生成的二进制信号检测缺陷候选'及 (F)将大于预先设定的值的所述缺陷候选判定为缺陷。
【文档编号】G01N21/892GK103529052SQ201310276962
【公开日】2014年1月22日 申请日期:2013年7月3日 优先权日:2012年7月4日
【发明者】柏木研二, 大野清一, 武田亮 申请人:富士胶片株式会社