一种无尘布磷含量荧光测试装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种无尘布磷含量荧光测试装置，包括暗箱，所述暗箱设置有安全门；所述暗箱顶部还设置有至少两个布夹，所述暗箱侧板设置有365nm紫外灯以对应所述布夹上的无尘布；所述暗箱内还设置有对应所述布夹上的无尘布的影像采集器，所述影像采集器通过数据线连接至外置显示器。该实用新型在暗箱内采用波长为365nm的紫外灯照射无尘布，无尘布通过暗箱顶部的布夹夹住以充分展开，并通过影像采集器采集磷光源并将影像传送至外接的显示器以方便测试者观察，因此，该实用新型可以实时监控每个LOT的无尘布的磷含量是否满足要求，检测结果及时、有效且测试过程安全可控。
【专利说明】一种无尘布磷含量荧光测试装置
【技术领域】
[0001 ] 本实用新型涉及一种无尘布磷含量荧光测试装置。
【背景技术】
[0002]无尘擦拭布广泛运用于半导体产业、面板产业、TP产业以及太阳能产业，在上述的产业中无尘布是直接用于擦拭生产设备或者产品，且上述产业中对磷的要求非常高，甚至要求测试为ND，所以为满足客户对于无尘布磷含量的要求，目前国际上是利用气相或者液相色普法来测试磷的定量含量，或者用荧光灯照射做定性分析，上述方法有如下缺点:
[0003]①测试设备价位高，维护费用高，且需要委外测试；
[0004]②测试时效性差，不能及时测试并及时掌控无尘布中是否含有磷；
[0005]③如果用荧光灯直接照射的话，对人体具有一定的危害性。
实用新型内容
[0006]为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种无尘布磷含量荧光测试装置，以实现无尘布上憐兀素的实时、闻效检测，提闻生广效率及广品质量。
[0007]为达到上述目的，本实用新型的技术方案如下:
[0008]一种无尘布磷含量荧光测试装置，包括暗箱，所述暗箱设置有安全门；所述暗箱顶部还设置有至少两个布夹，所述暗箱侧板设置有365nm紫外灯以对应所述布夹上的无尘布；所述暗箱内还设置有对应所述布夹上的无尘布的影像采集器，所述影像采集器通过数据线连接至外置显示器。
[0009]其中，所述紫外灯有三根，分别对应所述布夹上无尘布的上中下部位置，以确保能够对无尘布进行完整测试。
[0010]其中，所述暗箱侧壁还设置有除尘器，以确保在磷含量测试前为无尘布提供洁净空间，确保检测精度及内部设施的使用寿命。
[0011]通过上述技术方案，本实用新型提供的一种无尘布磷含量荧光测试装置，其采用波长为365nm的紫外灯照射无尘布，同时把紫外灯安装在一个不透光的暗箱内，确保不受其他光源的影响，并可同时保护测试者不受内部紫外线的影响，无尘布通过暗箱顶部的布夹夹住以充分展开，并通过影像采集器采集磷光源并将影像传送至外接的显示器以方便测试者观察，因此，该实用新型可以实时监控每个LOT的无尘布的磷含量是否满足要求，检测结果及时、有效且测试过程安全可控。
【专利附图】
【附图说明】
[0012]为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
[0013]图1为本实用新型实施例所公开的一种无尘布磷含量荧光测试装置结构示意图。
[0014]图中数字表示:[0015]11.暗箱 12.布夹 13.紫外灯
[0016]14.无尘布 15.除尘器
【具体实施方式】
[0017]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0018]参考图1，本实用新型提供的无尘布磷含量荧光测试装置，包括暗箱11，暗箱11设置有安全门以方便测试者进行无尘布14取放操作；暗箱11顶部还设置有至少两个布夹12，暗箱11侧板设置有三根365nm的紫外灯13以对应布夹12上的无尘布14的上中下部位置，以确保能够对无尘布14进行完整测试；暗箱11内还设置有对应布夹12上的无尘布14的影像采集器(图中未示出)，影像采集器通过数据线连接至外置显示器(图中未示出);暗箱11侧壁还设置有除尘器15，以确保在磷含量测试前为无尘布14提供洁净空间，确保检测精度及内部设施的使用寿命。
[0019]本实用新型的工作原理:
[0020]首先打开暗箱11的安全门，将无尘布14平整的夹在暗箱11顶部的布夹12上，然后关上安全门；
[0021]打开除尘器15以确保暗箱11内部测试环境洁净，然后关闭除尘器15 ；
[0022]开启紫外灯13对无尘布14进行充分全面的照射；
[0023]开启影像采集器，通过影像采集器采集无尘布14上的磷光源，并通过外接的显示器显示影像采集结果，测试者通过显示结果可以方便、及时的或者检测结果；
[0024]重复上述步骤以实现暗箱11内不同批次不同无尘布14的高效、及时、安全可控的检测。
[0025]对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对上述实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
【权利要求】
1.一种无尘布磷含量荧光测试装置，其特征在于，包括暗箱，所述暗箱设置有安全门；所述暗箱顶部还设置有至少两个布夹，所述暗箱侧板设置有365nm紫外灯以对应所述布夹上的无尘布；所述暗箱内还设置有对应所述布夹上的无尘布的影像采集器，所述影像采集器通过数据线连接至外置显示器。
2.根据权利要求1所述的一种无尘布磷含量荧光测试装置，其特征在于，所述紫外灯有三根，分别对应所述布夹上无尘布的上中下部位置。
3.根据权利要求1所述的一种无尘布磷含量荧光测试装置，其特征在于，所述暗箱侧壁还设置有除尘器。
【文档编号】G01N21/64GK203811542SQ201420195841
【公开日】2014年9月3日 申请日期:2014年4月22日 优先权日:2014年4月22日
【发明者】段俊丽 申请人:龙钜超洁净科技（苏州）有限公司