压力传感器的制作方法与工艺

文档序号:12971032阅读:来源:国知局
技术总结
在膜片上形成有应变片的压力传感器中,要抑制应变片的位置偏移所致的传感器特性的变化,并且抑制因温度变化所致的传感器输出的变化。上述压力传感器在具有长边和短边的膜片上配置形成有构成电桥电路的特性相等的四个应变片的传感器芯片,由电桥电路检测与施加于膜片的压力成比例的电压输出,四个应变片中两个沿着短边,另外两个沿着长边,靠近膜片的中央附近配置,从传感器芯片看,在长边方向上具有膜片的厚度较薄的部分。

技术研发人员:风间敦;小野塚准二;小贯洋;飞田美帆;日尾真之
受保护的技术使用者:日立汽车系统株式会社
文档号码:201480063526
技术研发日:2014.11.12
技术公布日:2017.11.24

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