基于机器视觉色差法在线检测CdS薄膜厚度的系统及方法与流程

文档序号:14686296发布日期:2018-06-15 00:26阅读:来源:国知局
技术特征:

1.基于机器视觉色差法在线检测CdS薄膜厚度的系统,其特征在于,包括CdS薄膜传动系统、计算机及设于上述传动系统上方的光源和拍摄像机;所述计算机内设置有图像采集卡,并具有将CdS薄膜颜色信息转换为厚度信息的功能;当传动系统将CdS薄膜传送至拍摄相机正下方时,拍摄相机采集CdS薄膜的图像,并传送至计算机,计算机获得相应厚度信息。

2.应用如权利要求1所述的系统进行基于机器视觉色差法在线检测CdS薄膜厚度的方法,其特征在于,包括以下步骤:

(1)建立CdS薄膜颜色与厚度对应关系数据库:

A.采集一系列不同厚度的CdS标准样品的图像;

B.计算机提取上述样品图像的RGB值、饱和度值、色度值;

C.建立CdS薄膜厚度与RGB值、饱和度值及色度值之间的关系算法;

(2)实时拍摄在线生长的CdS薄膜的图像,并将拍摄的图像传输至计算机;

(3)计算机提取步骤(2)采集的图像的RGB值、饱和度值、色度值,通过CdS薄膜颜色与厚度对应关系数据库的算法,将图像颜色信息转换为CdS薄膜厚度信息。

3.如权利要求2所述的基于机器视觉色差法在线检测CdS薄膜厚度的方法,其特征在于,在实时拍摄范围内除CdS标准样品或待测CdS薄膜样品外,还设有一固定CdS薄膜参比样品;将首次拍摄时的参比样品图像灰度平均值作为标准值,每次拍摄后将参比样品的图像灰度平均值与该标准值进行比较校正,获得光强补偿系数,将被测样品的图像灰度平均值自动乘以光强补偿系数。

4.如权利要求1所述的基于机器视觉色差法在线检测CdS薄膜厚度的系统,其特征在于,设置一套拍摄相机与光源,两者可以同步移动,以检测多个位置的CdS薄膜厚度。

5.如权利要求1所述的基于机器视觉色差法在线检测CdS薄膜厚度的系统,其特征在于,设置多套摄相机与光源,分别固定在不同位置,独立检测不同位置的CdS薄膜厚度。

6.如权利要求1所述的基于机器视觉色差法在线检测CdS薄膜厚度的系统,其特征在于,所述的光源采用人工七色光源。

7.如权利要求1所述的基于机器视觉色差法在线检测CdS薄膜厚度的系统,其特征在于,所述的光源采用单色光源,波长550~610nm。

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