用于PET检测器的光导阵列的制造方法和设备与流程

文档序号:11132350阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于装配光子检测器的方法,所述光子检测器包含定位在光学透明板和光电二极管阵列之间的光学光导阵列,所述方法包括:

在所述光学透明板和所述光电二极管阵列中的至少一个的至少一个相对表面上沉积非润湿薄膜;

变更在光电二极管元件的区域中的沉积的非润湿薄膜;

将光学耦合器粘合剂分发到所述光学透明板和所述光电二极管阵列中的至少一个上以在所述光学透明板或所述光电二极管元件上形成光学耦合器粘合剂珠;

将所述光学透明板和所述光电二极管阵列的所述相对表面对齐;

装配所述光学透明板和所述光电二极管阵列的所述相对表面,使得所述光学耦合器粘合剂珠接触所述相对表面;以及

固化所述光学耦合器粘合剂以形成在所述光学透明板和个别光电二极管元件之间具有光学光导元件的结构上合并的光子检测器。

2.根据权利要求1所述的方法,变更所述沉积的非润湿薄膜包含移除和化学改性所述非润湿薄膜中的至少一个。

3.根据权利要求1所述的方法,变更所述沉积的非润湿薄膜在所述光电二极管元件的中心周围处进行。

4.根据权利要求1所述的方法,沉积所述非润湿薄膜包含利用掩膜和剥离制程中的一个来施加所述非润湿薄膜。

5.根据权利要求1所述的方法,其中所述光学耦合器粘合剂珠具有大约相同的形状和体积,并且每个光学耦合器粘合剂珠大约集中在光电二极管元件上。

6.根据权利要求1所述的方法,其中,如通过由所述光学耦合粘合剂的表面张力引起的力所确定的,所述光学透明板相对于所述光电二极管阵列的对齐被允许包含对所述光学透明板和所述光电二极管阵列中的任一个或二者进行平移和旋转中的至少一个的运动。

7.根据权利要求1所述的方法,其中所述光学透明板是闪烁体。

8.根据权利要求7所述的方法,其中所述闪烁体具有元件,并且分发步骤包含分发所述光学耦合器粘合剂以在对应的闪烁体元件和光电二极管元件上形成光学耦合器粘合剂珠。

9.根据权利要求8所述的方法,对齐所述相对表面包含将光学耦合器粘合剂的对应的珠定位成彼此相对。

10.根据权利要求1所述的方法,其中所述光学透明板是玻璃板。

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