没有固定电极具有驱动装置的OMM‑转速的制作方法

本发明从按照权利要求1前序部分的转速传感器出发。

背景技术：

这样的转速传感器是普遍已知的。这些转速传感器通常包括基体固定的、与第一或第二驱动装置这样交互作用的驱动装置，使得第一结构和第二结构分别从其静止位置偏转出来。这里，第一结构和第二结构可以激励基本上与驱动方向平行的、基本上反相的振动。由现有技术已知的转速传感器往往还包括第一结构和第二结构之间的耦合结构，以保证第一结构相对于第二结构的反相振动。

技术实现要素：

与现有技术相比，按照本发明的转速传感器有下列优点，该转速传感器能够在相对于现有技术而言小的基体面积上以简单、在机械上稳健和成本低廉的方法实现，因为对于微机械结构只需要相对于现有技术而言小的基体面积来探测转速。这里，省去了基体固定的驱动梳的应用。这一点由此实现，为了通过第一驱动装置和第二驱动装置之间的交互作用使

●不仅第一结构从第一结构的基本上与驱动方向平行的静止位置中

●而且第二结构从第二结构的基本上与驱动方向平行的静止位置中

共同偏转出来，第一驱动装置和第二驱动装置这样布置，使得第一结构和第二结构能够激励基本上反相的、分别具有基本上与驱动方向平行的运动分量的振动。在该按照本发明的转速传感器中，通过所述驱动装置这样进行该第一结构和该第二结构之间的耦合，使得所述结构能够被置于反相的振动中。因此，与系统中驱动和减振的强度有关，可以略去第一结构和第二结构之间的耦合结构。按照本发明的转速传感器的在这里提出的紧凑结构方式还使更好地减少干扰模(Stoermoden)以及改善振动和电压敏感性的优化成为可能。

本发明有利的构型和扩展可由从属权利要求以及参照附图的描述中得知。

按照优选的扩展方案设置，该第一结构包括第一框架结构，其中，第一结构包括第一框架结构，其中，第一框架结构基本上在基本上与主延伸平面平行的第一平面中延伸，其中，第一结构具有在第一平面中至少部分地被第一框架结构包围的第一探测结构，用于沿着基本上垂直于驱动方向的探测方向基于转速传感器的围绕基本上垂直于驱动方向并基本上垂直于探测方向的轴线的转速来探测作用到第一结构上的力作用，其中，第二结构包括第二框架结构，其中，第二框架结构基本上在第一平面中延伸，其中，第二结构具有在第一平面中至少部分地被第二框架结构包围的第二探测结构，用于沿着基本上垂直于驱动方向的探测方向基于转速传感器的围绕基本上垂直于驱动方向并基本上垂直于探测方向的轴线的转速来探测作用到第二结构上的力作用。由此，有利地提出一种转速传感器，其中，在所施加的物理量的测量中，可以在施加在转速传感器上的转速和施加在转速传感器上的线性加速度之间加以区分。

按照优选的扩展方案设置，转速传感器包括至少一个布置在基体上的第一电极和/或至少一个布置在基体上的第二电极，其中，第一电极基本上沿着与主延伸平面平行的平面延伸，其中，第一电极至少部分地布置在第一结构和基体之间，其中，第二电极基本上沿着与主延伸平面平行的平面延伸，其中，第二电极至少部分地布置在第二结构和基体之间。由此，有利地使施加在转速传感器上的转速能够以电容方式求出成为可能。

按照优选的扩展方案设置，该第一驱动装置包括至少一个第一梳状结构，其中，该第二驱动装置包括至少一个第二梳状结构。由此，优选使以简单的、成本低廉的和在机械上稳健的方法提供该第一驱动装置和该第二驱动装置成为可能。另外，由此还使在第一结构和第二结构的与现有技术可比的偏转下该驱动装置的梳状结构两倍深地相互插入并因此在相同的驱动电压下提供相对于现有技术基本上两倍的能量成为可能。此外，通过该第一梳状结构和该第二梳状结构之间的、用于驱动该第一结构和该第二结构而起作用的交互作用，使得与现有技术可比的驱动力可以通过专用集成电路(application specific integrated circuit，ASIC)中的电荷泵产生的、与现有技术相比基本上一半的电压差借助于极性翻转(Umpolung)达到。

按照优选的扩展方案设置，第一梳状结构与该第一框架结构和/或与该第一探测结构连接，其中，该第二梳状结构与该第二框架结构和/或与该第二探测结构连接。因此，有利地，通过该第一框架结构和/或通过该第一探测结构驱动该第一结构以及通过该第二框架结构和/或通过该第二探测结构驱动该第二结构成为可能。

按照优选的扩展方案设置，该第一梳状结构基本上在电气上与该第一框架结构绝缘和/或基本上在电气上与该第一探测结构绝缘，其中，该第二梳状结构基本上在电气上与该第二框架结构绝缘和/或基本上在电气上与该第二探测结构绝缘。由此，有利地，使得能够使用对于本领域技术人员来说已知的电气布线。

按照优选的扩展方案设置，该第一梳状结构基本上在电气上与该第一框架结构导通连接和/或基本上在电气上与该第一探测结构导通连接，其中，该第二梳状结构基本上在电气上与该第二框架结构导通连接和/或基本上在电气上与该第二探测结构导通连接。由此，有利地，使得多路驱动中的驱动和探测成为可能和/或能够作为分析评估和驱动信号的适当叠加来进行。

按照优选的扩展方案设置，该第一结构包括第一驱动探测装置，其中，该第二结构包括第二驱动探测装置，其中，该第一驱动探测装置和该第二驱动探测装置布置为用于探测通过该第一驱动探测装置和该第二驱动探测装置之间的交互作用引起的

●不仅第一结构从该第一结构的基本上与驱动方向平行的静止位置中

●而且第二结构从该第二结构的基本上与驱动方向平行的静止位置中的共同偏转。由此，有利地，使得按照本发明的转速传感器在小的基体面积上提供驱动探测成为可能。此外。由此使得能够将相位不准确度和/或与位置有关的振幅差最小化。

按照优选的扩展方案设置，该第一驱动探测装置包括至少一个第一探测梳状结构，其中，该第二驱动探测装置包括一个至少第二探测梳状结构。由此，有利地，提供一种简单的、在机械上稳健的和成本低廉的驱动探测。

按照优选的扩展方案设置，该转速传感器包括电接头，其中，该电接头设置为用于第一驱动装置和用于该第二驱动装置，和/或，其中，该电接头设置为用于该第一探测结构和用于该第二探测结构。由此，有利地提供一种转速传感器，它以简单的方式既被驱动而且也基于施加在转速传感器上的物理量提供测量信号。

按照本发明的转速传感器设置用于探测绕轴线的转速，然而尤其还应用于这里显示的多轴线转速传感器的特征，即，针对用于测量绕多达三个彼此垂直走向的轴线的转速。优选设置，相对于基体和相对于彼此可运动的结构的各方驱动。优选还设置用于传递驱动运动用的耦合结构。

附图说明

图1以示意图表示按照本发明示例性实施方式的转速传感器；

图2a表示按照图1的转速传感器的示意图放大的局部；

图2b表示按照图2a的转速传感器的沿着图2a中I-I线剖切的剖面中的剖面图；

图3以示意图表示按照本发明示例性实施方式的转速传感器。

具体实施方式

在不同的附图中相同的部件总是标以相同的参考标记，并且因此一般也仅分别指出或说明一次。

图1中显示按照本发明示例性实施方式的转速传感器1的示意图，其中，转速传感器1包括具有主延伸平面100的基体3、可相对于基体3运动的第一结构5和可相对于基体3和可相对于第一结构5运动的第二结构7。这里，第一结构5包括第一驱动装置9，而第二结构7包括第二驱动装置11。例如如图1所示，第一驱动装置9和第二驱动装置11包括第一梳状结构31或第二梳状结构33，并且为了通过第一驱动装置9和第二驱动装置11之间的交互作用使不仅第一结构5而且第二结构7从各结构5，7的分别基本上与驱动方向13平行的静止位置中共同偏转出来，第一驱动装置和第二驱动装置这样布置，使得第一结构5和第二结构7能够激励基本上反相的、分别具有基本上与驱动方向13平行的运动分量的振动。

在图1所示的转速传感器1中，第一结构5包括第一框架结构15以及第一探测结构19，而第二结构7包括第二框架结构21以及第二探测结构23。这里，第一探测结构19和第二探测结构23分别布置用于沿着探测方向25基于转速传感器1的围绕基本上与方向35平行的轴线的转速来探测作用到第一结构5上的力作用和探测作用到第二结构7上的力作用。在图1中所示的实施例中，第一梳状结构31与第一框架结构15连接，而第二梳状结构33与第二框架结构21连接。然而，可以设想并且也优选的是，替代或附加地设置，第一梳状结构31与第一探测结构19连接，和/或，第二梳状结构33与第二探测结构23连接。

在图2a中显示按照图1的转速传感器的示意图的放大局部。在图2b中显示转速传感器在沿着图2a中I-I线剖切的剖切面上的剖面图。图2b表示布置在基体3上的第一电极27，它沿着基本上与主延伸平面100平行的平面延伸并至少部分地布置在第一结构5和基体3之间。图1中所示的转速传感器包括布置在基体上的第二电极29，它沿着基本上与主延伸平面100平行的平面延伸并至少部分地布置在第二结构7和基体3之间。

优选，图1、图2a和图2b中所示的转速传感器的第一结构5和第二结构7附加地和可选地包括未示出的并优选包括第一探测梳状结构的第一驱动探测装置或未示出的并优选包括第二探测梳状结构的第二驱动探测装置。在此，第一驱动探测装置和第二驱动探测装置布置为用于探测通过该第一驱动探测装置和该第二驱动探测装置之间的交互作用引起的、不仅第一结构5而且第二结构7从结构5，7的基本上与驱动方向13平行的各自静止位置中的共同偏转。

此外，转速传感器1包括未示出的电接头。优选，该电接头设置为不仅用于第一驱动装置9而且用于第二驱动装置11和/或设置为不仅用于第一探测结构19而且用于第二探测结构23。

图3中显示按照本发明另一示例性实施方式的转速传感器1，其中，图3中所示的转速传感器1基本上相应于图1、图2a和图2b中显示的转速传感器1，然而其中，在图3中显示的转速传感器1中，第一梳状结构31基本上在电气上与第一框架结构15和基本上在电气上与第一探测结构19绝缘。同样地，第二梳状结构33也基本上在电气上与第二框架结构21和基本上在电气上与第二探测结构23绝缘。在电气上的绝缘在图3中显示是借助于电绝缘区域37。