技术总结
本发明公开了一种超低粗糙度钨探针的制备装置及方法，包括减震平台，减震平台上连接有L型固定支架，L型固定支架上连接有用于带动钨丝运动的运动控制系统，减震平台上还设置有装有腐蚀溶液的容器，且装有腐蚀溶液的容器位于钨丝的正下方，装有腐蚀溶液的容器中设置铜环对电极，装有腐蚀溶液的容器中还设有用于将铜环对电极和钨丝隔离的对电极隔离系统，且铜环对电极和钨丝分别连接至数控直流电源的负极和正极。本发明基于动态电化学腐蚀原理，在有效控制针尖轮廓和长‑径比的前提下，制备出超低粗糙度纳尺度钨探针。
技术研发人员：成永红;董承业;门闯;孟国栋;王科镜;高新宇
受保护的技术使用者：西安交通大学
文档号码：201611091240
技术研发日：2016.12.01
技术公布日：2017.03.15