基板检测装置的制作方法

本实用新型涉及基板检测领域，特别是涉及一种基板检测装置。

背景技术：

在平板显示等行业中，化学气相沉积(CVD)机台为高温真空设备，因此机台内部环境要求严格，如若出现基板(例如玻璃基板)在腔室破片，会造成机台宕机，且持续时间较长，例如达到3-4天，严重影响机台的产能需求。

为了实现对破片的监控，防止已破损基板进入机台中，目前使用中的一种基板检测系统主要是通过光线扫描基板边缘，利用光的反射原理，当光照射在基板表面时基板会改变光线的强度，监控扫描时间内反射光强度变化，以此检测基板是否存在破片。这种基板检测系统尚不完善，同时会受到图像的影响而误检。

并且，现有的基板检测系统仅仅只能扫描基板边缘的较小区域，无法扫描和监控基板中心区域的破片状况，这使得中心处破片的基板常常误进高温腔室而造成腔室的二次破片，给机台和产能带来损失。

因此，需要一种更为强大的检测系统，更好的发现破片情况，以降低机台风险率，提高产能。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于，提供一种基板检测装置，提高基板检测的可靠性。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种基板检测装置，包括：

支撑架；

设置在所述支撑架上的重力感应模块；

信号转换模块，与所述重力感应模块连接，获得所述重力感应模块的压力信息并将其转换为电信号；

控制模块，与所述信号转换模块连接，根据所述电信号判断所述基板的状态。

可选的，对于所述的基板检测装置，所述支撑架的数量为多个，每个所述支撑架皆包括一横杆和多个竖杆，每个竖杆的一端连接在所述横杆上。

可选的，对于所述的基板检测装置，所述多个竖杆均匀排布。

可选的，对于所述的基板检测装置，所述横杆和所述竖杆一体成型。

可选的，对于所述的基板检测装置，所述横杆和所述竖杆可拆卸的组装在一起。

可选的，对于所述的基板检测装置，所述重力感应模块设置在所述竖杆的另一端。

可选的，对于所述的基板检测装置，所述重力感应模块通过一信号线与所述信号转换模块相连接。

可选的，对于所述的基板检测装置，所述支撑架为中空结构，所述信号线穿设在所述支撑架中。

可选的，对于所述的基板检测装置，所述支撑架为实心结构，所述信号线贴附在所述支撑架表面。

可选的，对于所述的基板检测装置，所述重力感应模块通过无线信号与所述信号转换模块相通讯。

在本实用新型技术方案提供的基板检测装置中，在支撑架上设置重力感应模块，由信号转换模块获得所述重力感应模块的压力信息并转换为电信号，再由控制模块接收所述电信号并判断所述基板的状态。可以有效检测基板的中心和边缘角落的情况，实现整面监控；同时可检测基板上表面是否有叠片、破片等异常，并可根据异常点判断异常点的位置，实用性强；而且，本实用新型技术方案的基板检测装置，只跟压力相关，并不会受到基板上图形、透明度等因素的影响，因此可靠性强，能够有效避免误判；本实用新型的装置简单，成本低。

附图说明

图1为实用新型的基板检测装置的结构示意图；

图2-图3本实用新型的基板检测装置中重力感应模块设置在支撑架上的示意图；

图4-图6为本实用新型的基板检测装置中检测基板时示意图。

具体实施方式

下面将结合示意图对本实用新型的基板检测装置进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型，而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。

在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本实用新型。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

本实用新型的核心思想是，提供一种基板检测装置，包括：

支撑架；

设置在所述支撑架上的重力感应模块；

信号转换模块，与所述重力感应模块连接，获得所述重力感应模块的压力信息并将其转换为电信号；

控制模块，与所述信号转换模块连接，根据所述电信号判断所述基板的状态。

以下列举所述基板检测装置的较优实施例，以清楚的说明本实用新型的内容，应当明确的是，本实用新型的内容并不限制于以下实施例，其他通过本领域普通技术人员的常规技术手段的改进亦在本实用新型的思想范围之内。

下面结合图1-图6对本实用新型的基板检测装置进行详细说明。

如图1所示，本实用新型的基板检测装置，包括：

支撑架10；

设置在所述支撑架10上的重力感应模块20；

信号转换模块30，与所述重力感应模块20连接，获得所述重力感应模块20的压力信息并将其转换为电信号；

控制模块40，与所述信号转换模块30连接，根据所述电信号判断所述基板的状态。

由图1可见，所述基板检测装置具有多个支撑架10，具体的，这些支撑架10均匀排布，当然，本实用新型并不限定所述支撑架10的排布方式，所述支撑架10可以相互平行设置，亦可以采用其它排布方式例如交错排布，并且，所述支撑架10数量可以依据实际需要进行设计。例如，所述支撑架10可以是现有的化学气相沉积(CVD)设备的装载室(Load Lock)中的支撑结构。

每个支撑架10皆包括一横杆11和多个竖杆12，每个竖杆12的一端连接在所述横杆11上。在较佳选择中，所述多个竖杆12均匀排布，从而能够较为均匀的支撑住基板，这样也能够实现对基板的正面检测，降低漏判的几率。

所述横杆11和所述竖杆12可以是一体成型，以便于制作；也可以是可拆卸的组装在一起，便于更换，清洁等操作。

所述重力感应模块20设置在所述竖杆12的另一端。

在一个实施例中，所述重力感应模块20可以通过一信号线与所述信号转换模块30相连接，如图1中具有的n个重力感应模块20，皆可以是通过各自对应的信号线与所述信号转换模块30相连接。

请结合图2，所述支撑架10可以为中空结构，所述信号线21穿设在所述支撑架中，依次经过所述竖杆12和所述横杆11。这种结构能够较好的实现对信号线的保护。

请结合图3，所述支撑架10也可以为实心结构，所述信号线21贴附在所述支撑架10表面，具体的，可以用固定模块22将所述信号线21紧固在所述支撑架10的表面。

在其他选择中，所述重力感应模块20还可以是通过无线信号与所述信号转换模块30相通讯。

所述控制模块可以采用现有的微控制器，例如PLC(可编程控制器)控制单元等。当然，根据本实用新型的思想，本领域技术人员可以选择合适的控制模块，本实用新型对此并不限定。

下面对本实用新型的基板检测装置实现基本的检测进行详细说明。

当基板装载在支撑架10上后，如图1中S1-Sn这n个重力感应模块20会与所述基板相接触，当基本为正常状态时，由于基板是水平放置在支撑架10上，因此每个重力感应模块20所受到的压力基本一致，因此输出的压力信息也基本一致，在经过信号转换模块30将压力信息转换为电信号后，控制模块40就可以判断所述基板的状态，对于基本正常状态的情况，控制模块40判断出的即为每个接触点压力基本相同，因此认定基板完好。

考虑到每个重力感应模块20侦测到的压力不可能完全一致，因此可以设定一个许可范围，这可以依据实际情况和经验进行设定。举例而言，可以为各点的压力信息与平均值的差的绝对值小于等于平均值的10％，即可认为基板完好；若存在至少一个点，各个点的压力信息平均值与该至少一个点的压力信息的差大于平均值的10％，则认为存在破片的情况；若存在至少一个点，该至少一个点的压力信息与各个点的压力信息平均值的差的大于平均值的10％，则认为存在叠片的情况。

可结合图4，示出了在多个时间段(T1-T6)控制模块40获得的判断结果，例如在T1时每个重力感应模块20侦测到的压力为A，表示空载。在T2时间段时放置了基板，故产生了压力，且每个重力感应模块20侦测到的压力皆为B(即未超出所述许可范围)，并不存在异常的点，表示基本完好。在T3-T6时间段为重复性实验，同样可知基板完好。

请结合图5，示出了在多个时间段(T1-T6)控制模块40获得的判断结果，例如在T1时每个重力感应模块20侦测到的压力为A，表示空载。在T2时间段时放置了基板，故产生了压力，但是例如在重力感应模块S1所在的点，其侦测到的压力为C，且C＜B，超出了所述许可范围，其他重力感应模块20侦测到的压力则未出现这种情况，表明在重力感应模块S1所在的点存在了破片，需要停止传送，避免进入机台内部引起宕机。在T3-T6时间段为取出这一破片的基板后，以完好的基板进行的实验，并未出现异常，可见本实用新型的基板检测装置能够检测到破片的情况。

请结合图6，示出了在多个时间段(T1-T6)控制模块40获得的判断结果，例如在T1时每个重力感应模块20侦测到的压力为A，表示空载。在T2时间段时放置了基板，故产生了压力，但是例如在重力感应模块S1所在的点，其侦测到的压力为D，且D＞B，超出了所述许可范围，其他重力感应模块20侦测到的压力则未出现这种情况，表明在重力感应模块S1所在的点存在了叠片，需要停止传送，避免进入机台内部引起宕机。在T3-T6时间段为取出这一叠片的基板后，以完好的基板进行的实验，并未出现异常，可见本实用新型的基板检测装置能够检测到叠片的情况。

需要说明的是，本实用新型的基板检测装置，不仅仅可以实现玻璃基板的检测，其他基板，例如硅基板等也可以由本实用新型的基板检测装置来检测。

由上文可知，本实用新型的基板检测装置，可以有效检测基板的中心和边缘角落的情况，实现整面监控；同时可检测基板上表面是否有叠片、破片等异常，并可根据异常点判断异常点的位置，实用性强。

而且，本实用新型的基板检测装置，只跟压力相关，并不会受到基板上图形、透明度等因素的影响，因此可靠性强，能够有效避免误判。

此外，相比现有技术中的光学检测结构，有着结构简单，成本低的优势。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。