可保留径向高阶模式的封装型光微流微腔生化传感器的制作方法

文档序号:11404775阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明属传感器技术领域,具体为一种可保留径向高阶模式的封装型光微流微腔生物化学传感器。本发明包括:一段熔锥光纤,一个光微流微泡腔,一块盖玻片,以及封装固定用紫外胶和低折射率的聚合物;光微流微腔主要成分为二氧化硅,直径为100‑500微米,壁厚为2‑20微米;熔锥光纤主要成分为二氧化硅,直径为2‑5微米,用于激发微腔中的回音壁模式;低折射率聚合物的折射率在1‑1.4之间,用于固定熔锥光纤两端以及防止光泄露。该器件通过监测光学模式谐振波长的位移情况来进行传感,具有结构紧凑、尺寸小、抗干扰性强、稳定性好、制作工艺简单以及成本低等优点。此外,本器件能够保留耦合微腔中的径向高阶模式,因此具有极低探测极限以及超高灵敏度,在生物化学传感领域有良好的应用前景。

技术研发人员:吴翔;汤婷;李子豪;王伯文;孙弘毅;徐雷;刘丽英
受保护的技术使用者:复旦大学
技术研发日:2017.04.03
技术公布日:2017.09.01
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